基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法，涉及半导体制造技术领域，检测装置包括检测室，检测室内设置检测平台，检测平台上表面左右两侧对称设置三轴滑台，三轴滑台设置Z轴滑台，Z轴滑台前端设置第一安装板，第一安装板下表面固定设置第一工业相机，第一工业相机下方设置真空吸台，真空吸台与检测平台上表面固定连接，检测室内设置控制组件，控制组件包括处理器、存储器、控制器，处理器分别与第一工业相机、存储器电性连接，控制器分别与三轴滑台、第一工业相机及处理器电性连接。本发明专利技术中，通过第一工业相机对油墨印刷尺寸进行自动检测，代替了人工检测，提高了检测精度与检测效率，便于进行半导体的批量生产。批量生产。批量生产。

【技术实现步骤摘要】
基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法。

技术介绍

[0002]导电油墨是用导电材料制成的油墨，具有导电性质，可作为印刷导电点或导电线路之用。用于印刷电路、电子纸、薄膜开关、手机、太阳能电池、电极、电镀底层、键盘接点、印制电阻等材料。
[0003]将导电油墨采用现有印刷方法印刷至基底固化后便能制得导电层，在基底上印刷导电油墨时会根据不同需求选取不同的印刷尺寸，印刷尺寸通常包括固化后导电油墨的长度、宽度及厚度，导电油墨的印刷尺寸直接影响导电层的导电性，为了保证导电层的导电性，通常需要人工对固化后的导电油墨印刷尺寸进行检测，但由于导电油墨印刷尺寸较小，人工检测误差较大且效率较低，不利于批量生产。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置及检测方法，用以解决目前导电油墨印刷尺寸较小，人工检测误差较大且效率较低，不利于批量生产的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术公开了基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置，包括：检测室，检测室内设置检测平台，检测平台上表面左右两侧对称设置三轴滑台，三轴滑台设置Z轴滑台，Z轴滑台前端设置第一安装板，第一安装板下表面固定设置第一工业相机，第一工业相机下方设置真空吸台，真空吸台与检测平台上表面固定连接，检测室内设置控制组件，控制组件包括处理器、存储器、控制器，处理器分别与第一工业相机、存储器电性连接，控制器分别与三轴滑台、第一工业相机及处理器电性连接。
[0006]优选的，检测平台下方设置真空发生器，真空发生器与控制器电性连接，真空发生器输出端通过第一连接管与真空吸台内部连通。
[0007]优选的，检测室前方设置上料台，上料台上表面设置传送带与机械手，传送带外侧设置若干条形光源，机械手输出端设置转动轴，转动轴下端固定设置吸盘安装架，吸盘安装架上设置若干缓冲支杆，缓冲支杆下端连通设置真空吸盘，真空吸盘位于传送带上方，缓冲支杆上端通过第二连接管与真空发生器输出端连通，吸盘安装架一侧设置第二安装板，第二安装板上设置第二工业相机，第二工业相机输出端对准传送带上表面，第二工业相机及机械手均与控制器电性连接。
[0008]优选的，真空吸台外周设置转动环，转动环与真空吸台同心设置，转动环内圈与真空吸台外侧壁转动连接，转动环上表面固定设置竖板，竖板前端设置电控旋转台，电控旋转台前侧设置第三安装板，第三安装板靠近真空吸台一端设置第三工业相机，第三工业相机输出端朝向真空吸台上表面，转动环外周设置棘轮齿，转动环后方设置滑板，滑板下表面与检测平台上表面左右滑动连接，滑板前端设置第一套筒，第一套筒内滑动设置限位柱，限位
柱远离转动环一端设置第一弹簧，第一弹簧一端与限位柱后端固定连接，第一弹簧另一端与第一套筒内壁固定连接，限位柱靠近转动环一端设置斜面端，斜面端与棘轮齿相适配并与棘轮齿外壁抵接，两个滑板之间设置驱动组件，驱动组件用于驱动两个滑板同步左右滑动。
[0009]优选的，驱动组件包括驱动电机，驱动电机固定设置在检测平台上表面，驱动电机上端设置输出轴，输出轴上固定设置转盘，转盘上方设置条形框架，条形框架前后内壁的距离大于转盘的直径，条形框架内设置随动柱，随动柱与条形框架内壁前后滑动连接，随动柱下端与转盘上表面偏心位置转动连接，条形框架左右两侧固定设置连接杆，连接杆平行于滑板，连接杆远离条形框架一端与滑板一端固定连接。
[0010]优选的，转动环下表面设置若干卡孔，若干卡孔关于转动环下表面圆心呈环形阵列分布，卡孔竖直截面呈半圆形，卡孔与棘轮齿一一对应，卡孔下方设置第二套筒，第二套筒下端与检测平台上表面固定连接，第二套筒内滑动设置卡柱，卡柱下端设置第二弹簧，卡柱上端延伸至第二套筒上方并与卡孔相适配。
[0011]优选的，检测室内设置UPS电源，UPS电源分别与处理器、存储器、控制器、三轴滑台、第一工业相机、驱动电机及第三工业相机电性连接。
[0012]优选的，检测室上端外壁设置风机，真空吸台左右两侧对称设置照明灯组件，照明灯组件与检测平台上表面固定连接，风机及照明灯组件均与控制器电性连接。
[0013]优选的，检测室外壁设置显示器，显示器与处理器电性连接。
[0014]本专利技术还提供了基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测方法，采用上述基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置进行检测，包括以下步骤：
[0015]步骤1：将待检测件放置到真空吸台，控制第一工业相机移动至待检测件正上方，通过第一工业相机获取待检测件导电油墨层第一预设高度图像，截取检测段，并计算第一预设高度处检测段的实际尺寸；
[0016]步骤2：将第一工业相机移动至第二预设高度，获取待检测件导电油墨层第二预设高度图像，截取检测段，并计算第二预设高度处检测段的实际尺寸；
[0017]步骤3：将第一工业相机移动至第三预设高度，获取待检测件导电油墨层第三预设高度图像，截取检测段，并计算第三预设高度处检测段的实际尺寸；
[0018]步骤4：根据第一预设高度处检测段、第二预设高度处检测段及第三预设高度处检测段的实际尺寸计算待检测件的检测段的实际印刷尺寸。
[0019]本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术提供了基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置，包括检测室，检测室内设置检测平台，检测平台上表面左右两侧对称设置三轴滑台，三轴滑台设置Z轴滑台，Z轴滑台前端设置第一安装板，第一安装板下表面固定设置第一工业相机，第一工业相机下方设置真空吸台，真空吸台与检测平台上表面固定连接，检测室内设置控制组件，控制组件包括处理器、存储器、控制器，处理器分别与第一工业相机、存储器电性连接，控制器分别与三轴滑台、第一工业相机及处理器电性连接。本专利技术中，采用第一工业相机对油墨印刷尺寸进行自动检测，代替了人工检测，提高了检测精度，保证了导电油墨的导电性能，加快了油墨印刷尺寸的检测效率，提高了检测装置的自动化程度，便于进行半导体的批量生产。
[0020]本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变
得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及说明书附图中所特别指出的装置来实现和获得。
[0021]下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
[0022]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0023]图1为本专利技术中检测室内部结构示意图；
[0024]图2为本专利技术图1中A处放大图；
[0025]图3为本专利技术基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置整体结构示意图；
[0026]图4为本专利技术图3中B处放大图；
[0027]图5为本专利技术基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置，其特征在于，包括：检测室，检测室内设置检测平台，检测平台上表面左右两侧对称设置三轴滑台，三轴滑台设置Z轴滑台，Z轴滑台前端设置第一安装板，第一安装板下表面固定设置第一工业相机，第一工业相机下方设置真空吸台，真空吸台与检测平台上表面固定连接，检测室内设置控制组件，控制组件包括处理器、存储器、控制器，处理器分别与第一工业相机、存储器电性连接，控制器分别与三轴滑台、第一工业相机及处理器电性连接。2.根据权利要求1所述的基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置，其特征在于，检测平台下方设置真空发生器，真空发生器与控制器电性连接，真空发生器输出端通过第一连接管与真空吸台内部连通。3.根据权利要求2所述的基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置，其特征在于，检测室前方设置上料台，上料台上表面设置传送带与机械手，传送带外侧设置若干条形光源，机械手输出端设置转动轴，转动轴下端固定设置吸盘安装架，吸盘安装架上设置若干缓冲支杆，缓冲支杆下端连通设置真空吸盘，真空吸盘位于传送带上方，缓冲支杆上端通过第二连接管与真空发生器输出端连通，吸盘安装架一侧设置第二安装板，第二安装板上设置第二工业相机，第二工业相机输出端对准传送带上表面，第二工业相机及机械手均与控制器电性连接。4.根据权利要求1所述的基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置，其特征在于，真空吸台外周设置转动环，转动环与真空吸台同心设置，转动环内圈与真空吸台外侧壁转动连接，转动环上表面固定设置竖板，竖板前端设置电控旋转台，电控旋转台前侧设置第三安装板，第三安装板靠近真空吸台一端设置第三工业相机，第三工业相机输出端朝向真空吸台上表面，转动环外周设置棘轮齿，转动环后方设置滑板，滑板下表面与检测平台上表面左右滑动连接，滑板前端设置第一套筒，第一套筒内滑动设置限位柱，限位柱远离转动环一端设置第一弹簧，第一弹簧一端与限位柱后端固定连接，第一弹簧另一端与第一套筒内壁固定连接，限位柱靠近转动环一端设置斜面端，斜面端与棘轮齿相适配并与棘轮齿外壁抵接，两个滑板之间设置驱动组件，驱动组件用于驱动两个滑板同步左右滑动。5.根据权利要求4所述的基于半导体导电油墨的油墨印刷尺寸检测装置，其特征在于，驱动组件包括驱动电机，驱动电机固定设置在检测平台上表面，驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：千磊，潘宇，张磊，
申请(专利权)人：深圳市利和兴股份有限公司，
类型：发明
国别省市：