本实用新型专利技术公开了一种石英坩埚外形尺寸检测装置,包括检测室、设置于检测室上方的内夹持组件和设置于检测室一侧内壁上的平行光组,检测室内还设置有光幕,检测室内与平行光组相对的内壁上固定有取景相机,检测室的外部固定有智能控制器,平行光组和取景相机均与智能控制器电性连接,能自动实现坩埚的运输和提取,且通过光影的效果,实现对坩埚外形的检测,检测效率高,且过程中可无需人员参与,降低了工作人员检测的劳动强度。工作人员检测的劳动强度。工作人员检测的劳动强度。
【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚外形尺寸检测装置
[0001]本技术涉及坩埚外形检测
,特别涉及一种石英坩埚外形尺寸检测装置。
技术介绍
[0002]熔融石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。其生产需经过高纯石英砂、高纯石墨模具、真空装料成型;真空电弧熔制;自然冷却脱模;石英坩埚初步检测;冷加工喷砂、切断、倒角;石英坩埚二次检测;超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干;加温烘烤;喷涂;石英坩埚三次检验;真空包装;成品入库等工艺流程,繁琐的工艺流程使其生产速度较为低慢。
[0003]在石英坩埚完成制作后,需要对其外形尺寸进行检测,工作人员拿着测量工具,对其外形尺寸进行检测,工作人员进行检测时,容易存在较大的误差,影响外形尺寸检测的精度和准确度。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种石英坩埚外形尺寸检测装置,能自动实现坩埚的运输和提取,且通过光影的效果,实现对坩埚外形的检测,检测效率高,且过程中可无需人员参与,降低了工作人员检测的劳动强度。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
[0006]一种石英坩埚外形尺寸检测装置,包括检测室、设置于检测室上方的内夹持组件和设置于检测室一侧内壁上的平行光组,所述检测室内还设置有光幕,所述检测室内与平行光组相对的内壁上固定有取景相机,所述检测室的外部固定有智能控制器,所述平行光组和取景相机均与智能控制器电性连接。
[0007]作为优选,所述内夹持组件包括固定于检测室顶部的升降气缸、固定于升降气缸上的固定座和多个设置于固定座上且与固定座转动配合的支臂,所述固定座开设有通孔,所述通孔内滑动设置有滑块,所述滑块上转动设置有多个连接臂,所述连接臂远离滑块的一端与支臂转动连接,所述通孔的上端还固定有螺纹驱动组件。
[0008]作为优选,所述螺纹驱动组件包括固定于通孔上方的驱动电机和固定于驱动电机输出轴上的螺纹杆,所述螺纹杆穿透设置于滑块且与滑块呈螺纹配合。
[0009]作为优选,所述支臂远离固定座的一端转动设置有夹持块。
[0010]作为优选,所述夹持块为L型,且所述夹持块的一侧侧壁上固定有橡胶垫。
[0011]作为优选,所述夹持块与橡胶垫之间设置有压力传感器,且所述压力传感器与驱动电机电性连接。
[0012]作为优选,所述检测室的底部开设有移动槽,所述移动槽内滑动设置有移动块,所述移动槽的一端固定有推送气缸,所述推送气缸的伸缩杆与移动块固定连接。
[0013]作为优选,所述移动块的上端面固定有放置台。
[0014]作为优选,所述放置台的上表面固定有软垫。
[0015]在本申请实施例中,通过内夹持组件实现对坩埚的夹持,可以实现坩埚的升降,方便后续的外形检测;通过平行光组和光幕的配合,可以将坩埚的外形照映在光幕上;通过取景相机可以对光幕上的阴影部位和光亮部位进行取景,通过智能控制器对取景后的照片进行分析,进而计算和分析出阴影部位的外部尺寸等,实现坩埚外形尺寸的智能测量。
附图说明
[0016]图1为实施例的结构示意图;
[0017]图2为实施例用于展示检测室内部结构的示意图;
[0018]图3为实施例用于展示移动槽和移动块所在位置的示意图;
[0019]图4为实施例用于展示内夹持组件结构的示意图;
[0020]图5为实施例用于展示压力传感器所在位置的示意图。
[0021]附图标记:1、检测室;2、内夹持组件;3、平行光组;4、光幕;5、取景相机;6、智能控制器;7、升降气缸;8、固定座;9、支臂;10、通孔;11、滑块;12、连接臂;13、驱动电机;14、螺纹杆;15、夹持块;16、橡胶垫;17、压力传感器;18、移动槽;19、移动块;20、推送气缸;21、放置台。
具体实施方式
[0022]以下所述仅是本技术的优选实施方式,保护范围并不仅局限于该实施例,凡属于本技术思路下的技术方案应当属于本技术的保护范围。同时应当指出,对于本
的普通技术人员而言,在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
[0023]见图1至4,一种石英坩埚外形尺寸检测装置,包括检测室1、设置于检测室1上方的内夹持组件2和设置于检测室1一侧内壁上的平行光组3,检测室1内还设置有光幕4,检测室1内与平行光组3相对的内壁上固定有取景相机5,检测室1的外部固定有智能控制器6,平行光组3和取景相机5均与智能控制器6电性连接。
[0024]如图3所示,检测室1的底部开设有移动槽18,移动槽18内滑动设置有移动块19,移动槽18的一端固定有推送气缸20,推送气缸20的伸缩杆与移动块19固定连接,且移动块19的上端面固定有放置台21,在使用时,工作人员将待检测的石英坩埚放置在放置台21上,此时移动块19和放置台21位于检测室1的外部,随后通过智能控制器6,启动推送气缸20,推送气缸20的伸缩杆伸长,推动移动块19向检测室1内移动,直至推送气缸20的伸缩杆不在伸长,此时移动块19位于检测室1底部的中心部位,即放置台21位于检测室1底部的中心部位,此时石英坩埚的位置与内夹持组件2相对应,在放置台21的上表面固定有软垫,通过软垫可以避免石英坩埚与放置台21的硬性接触,保障石英坩埚的外部质量。
[0025]如图4所示,待石英坩埚运送到检测室1内后,通过智能控制器6启动内夹持组件2,内夹持组件2包括固定于检测室1顶部的升降气缸7、固定于升降气缸7上的固定座8和多个设置于固定座8上且与固定座8转动配合的支臂9,固定座8开设有通孔10,通孔10内滑动设置有滑块11,滑块11上转动设置有多个连接臂12,连接臂12远离滑块11的一端与支臂9转动连接,通孔10的上端还固定有螺纹驱动组件,智能控制器6控制升降气缸7的伸缩杆伸长,升
降气缸7的伸缩杆伸长,就会带动固定座8向下移动,伴随着固定座8的向下移动,支臂9也会随之向下移动,直至进入到坩埚的内部腔室内,待支臂9进入到石英坩埚的内部腔室后,升降气缸7停止运动,螺纹驱动组件启动,通过螺纹驱动组件实现支臂9的运动。
[0026]如图4所示,螺纹驱动组件包括固定于通孔10上方的驱动电机13和固定于驱动电机13输出轴上的螺纹杆14,螺纹杆14穿透设置于滑块11且与滑块11呈螺纹配合,智能控制器6控制驱动电机13启动,进而驱动电机13的输出轴正向转动,进而螺纹杆14也进行正向转动,螺纹杆14正向转动,滑块11向下移动,伴随着滑块11的向下移动,连接臂12与滑块11连接的一端也会伴随着滑块11的移动而移动,连接臂12与支臂9转动连接,伴随着连接臂12的运动,就会带动支臂9进行运动,此时支臂9逐渐向水平状态运动。
[0027]如图4和图5所示,伴随着支臂9逐渐向水平状态运动,此时支臂9远离固定座8的一端就会向靠近石英坩埚的内壁相靠近,在支臂9远离固定座8的一端转动设置有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚外形尺寸检测装置,其特征在于,包括检测室(1)、设置于检测室(1)上方的内夹持组件(2)和设置于检测室(1)一侧内壁上的平行光组(3),所述检测室(1)内还设置有光幕(4),所述检测室(1)内与平行光组(3)相对的内壁上固定有取景相机(5),所述检测室(1)的外部固定有智能控制器(6),所述平行光组(3)和取景相机(5)均与智能控制器(6)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚外形尺寸检测装置,其特征在于,所述内夹持组件(2)包括固定于检测室(1)顶部的升降气缸(7)、固定于升降气缸(7)上的固定座(8)和多个设置于固定座(8)上且与固定座(8)转动配合的支臂(9),所述固定座(8)开设有通孔(10),所述通孔(10)内滑动设置有滑块(11),所述滑块(11)上转动设置有多个连接臂(12),所述连接臂(12)远离滑块(11)的一端与支臂(9)转动连接,所述通孔(10)的上端还固定有螺纹驱动组件。3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚外形尺寸检测装置,其特征在于,所述螺纹驱动组件包括固定于通孔(10)上方的驱动电机(13)和固定于驱动电机(13)输出轴上的螺纹杆(14),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶飞,周勇,吴伟华,毛炳权,
申请(专利权)人:浙江美晶新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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