一种抛光载体及飞片检测方法技术

本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光载体，包括：载体本体，所述载体本体包括：第一座，所述第一座上具有第一气道；第二座，所述第二座与所述第一座叠置且位于所述第一座的正下方，所述第二座与所述第一座之间形成第一腔，所述第一腔与所述第一气道连通；所述第二座与所述第一座之间活动连接，使得所述第一腔的容积可变；检测组件，所述检测组件包括：压力传感器，所述压力传感器容置于所述第一腔内，所述压力传感器用于监测所述第一腔内的气压变化。解决了抛光过程中无法对飞片情况的准确识别和及时应对的技术问题，达到对飞片情况的准确识别和及时应对的技术效果。情况的准确识别和及时应对的技术效果。情况的准确识别和及时应对的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光载体及飞片检测方法


[0001]本申请涉及半导体抛光
，尤其是涉及一种抛光载体及飞片检测方法。

技术介绍

[0002]抛光在半导体加工工艺里发挥着重要作用，抛光可以实现抛片的镜面化，同时也可以提高抛片的平坦度；可以一定程度去除上一工艺步骤对抛片表面造成的损伤。
[0003]现有技术中，抛片在抛光过程中由于受到压力不均匀或自身性质问题，容易产生抛片的裂片或碎片的问题，一旦发生裂片或碎片，抛头和抛片之间的吸附效果被破坏，抛片碎片随抛头旋转过程中由于离心力容易被甩出，即抛片碎片发生飞片的情况，被甩出的碎片滞留在抛光盘上，容置对其他抛头造成损伤，需要及时停机取出抛片碎片；目前针对此类飞片情况，需要人工定时观察或视觉模块实时监控，造成人力依赖程度较高或视觉模块容易判断错误，都不利于对飞片情况的准确识别和及时应对。
[0004]因此，现有技术的技术问题在于：抛光过程中无法对飞片情况的准确识别和及时应对。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种抛光载体及飞片检测方法，解决了抛光过程中无法对飞片情况的准确识别和及时应对的技术问题，达到对飞片情况的准确识别和及时应对的技术效果。
[0006]一方面，本申请提供的一种抛光载体，采用如下的技术方案：
[0007]一种抛光载体，包括：载体本体，所述载体本体包括：第一座，所述第一座上具有第一气道；第二座，所述第二座与所述第一座叠置且位于所述第一座的正下方，所述第二座与所述第一座之间形成第一腔，所述第一腔与所述第一气道连通；所述第二座与所述第一座之间活动连接，使得所述第一腔的容积可变；检测组件，所述检测组件包括：压力传感器，所述压力传感器容置于所述第一腔内，所述压力传感器用于监测所述第一腔内的气压变化。
[0008]作为优选，所述第一座的外圈具有第一连接部，所述第二座的外圈具有第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部之间设置有密封组件，所述密封组件包括：密封圈，所述密封圈嵌设于所述第一连接部内，且所述密封圈抵触于所述第二连接部上，使得所述第一腔密闭；或，所述密封组件包括：密封圈，所述密封圈嵌设于所述第二连接部内，且所述密封圈抵触于所述第一连接部上，使得所述第一腔密闭。
[0009]作为优选，所述第二座滑移连接于所述第一座上，所述滑移方向与待抛片所在平面相垂直。
[0010]作为优选，所述第一座的底面上设置有限位槽，所述第一座和第二座之间设置有限位组件，所述限位组件包括：限位部，所述限位部固定连接于第二座上，所述限位部容置于所述限位槽中，所述限位部用于与所述限位槽抵触配合，使得所述第二座移动受限，且所述限位槽中具有使所述限位部在垂直于待抛片所在平面方向上移动的活动空间；或，所述第二座的顶面设置有限位槽，所述第一座和第二座至今设置有限位组件，所述限位组件包
括：限位部，所述限位部固定连接于第一座上，所述限位部容置于所述限位槽中，所述限位部用于与所述限位槽抵触配合，使得所述第二座移动受限，且所述限位槽中具有使所述限位部在垂直于待抛片所在平面方向上移动的活动空间。
[0011]作为优选，所述第一座与所述第二座之间连接有直线轴承，所述直线轴承的布置方向与待抛片所在平面相垂直。
[0012]作为优选，所述直线轴承具有多个，所述直线轴承关于载体的旋转中心呈中心对称分布。
[0013]作为优选，所述第二座上具有检测部，所述检测部位于所述第一座的外侧；所述检测组件还包括：激光传感器，激光传感器位于所述载体的外侧，所述激光传感器位于所述检测部上方，所述激光传感器用于监测检测部位置变化。
[0014]作为优选，所述检测部和所述检测组件均具有多个，所述检测部和所述检测组件一一对应，且关于载体的旋转中心呈中心对称分布。
[0015]作为优选，所述第二座包括：第二座主体，所述第二座主体的底面具有一凹面，所述第二座主体的外圈具有固定环；软基垫，所述软基垫包覆于所述第二座主体的凹面，使得在所述凹面与所述软基垫之间形成第二腔；以及压板，压板位于所述固定环的内圈，且所述压板位于所述软基垫的下方；其中，所述第二座主体上开设有第二气道，所述第二气道与所述第二腔连通，所述第二腔内充压时，所述软基垫抵触于所述压板。
[0016]另一方面，本申请提供的一种抛光载体的飞片检测方法，采用如下的技术方案：
[0017]一种抛光载体的飞片检测方法，用于检测所述的抛光载体在抛光过程中是否存在飞片情况，包括：设定第一腔内的气压波动最大值P
max
；实时监测第一腔内气压值P；判断监测到的所述气压值P与所述气压波动最大值P
max
：若P＞P
max
，判断为抛片出现飞片情况。
[0018]作为优选，还包括：设定检测部在垂直于待抛片所在平面方向上位移波动最大值H
max
；实时监测检测部在垂直于待抛片所在平面方向上位移值H；判断监测到的所述位移值H与所述位移波动最大值H
max
：若H＞H
max
，且P＞P
max
，判断为抛片出现飞片情况。
[0019]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0020]1、本申请中抛光载体的第一座和第二座之间活动连接且两者之间形成第一腔，通过向第一腔内充压并作用在第二座上，第一座和第二座之间的活动连接结构，吸收抛光过程中产生的波动，且使得抛片受稳定压力而减小出现飞片的情况；通过检测组件对第一腔内的气压波动情况进行监测，在判断为出现飞片的情况下及时反馈，作出对应停机措施，解决了抛光过程中无法对飞片情况的准确识别和及时应对的技术问题，达到对飞片情况的准确识别和及时应对的技术效果。
[0021]2、第一座和第二座之间通过直线轴承实现垂直于待抛片所在平面的方向上滑移，不仅能够吸收在抛光过程中产生的波动，提高抛片的抛光品质，而且对第二座的位移方向进行导向，使得第二座仅可在竖直方向上位移，无法在水平方向上位移而产生倾斜，如此，第二座具有较大的刚性来抵抗抛光垫对第二座施加的倾覆力矩，减小第二座与抛光垫之间形成夹角，降低抛片从第二座和抛光垫之间飞出的可能。
[0022]3、检测组件通过对第一腔中气压的监测和对检测部的位移进行监测，通过上述两组监测指标综合判断抛片是否飞出，提高对抛片飞出情况检测的准确性。
[0023]4、第二座中的压板通过软基垫抵触，通过向第二腔内充压，软基垫鼓气后可均匀
施压于压板的上表面，压力由压板传递给抛片，且压力分布均匀，无偏载，提高抛片的平坦度。
附图说明
[0024]图1是本申请所述抛光载体的示意图；
[0025]图2、3是图1的剖视图；
[0026]图4是图3中A的放大图；
[0027]图5是图3中B的放大图；
[0028]图6是本申请所述抛光载体的飞片检测方法的第一种流程示意图；
[0029]图7是本申请所述抛光载体的飞片检测方法的第二种流程示意图。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抛光载体，其特征在于，包括：载体本体，所述载体本体包括：第一座(100)，所述第一座(100)上具有第一气道(110)；第二座(200)，所述第二座(200)与所述第一座(100)叠置且位于所述第一座(100)的正下方，所述第二座(200)与所述第一座(100)之间形成第一腔(120)，所述第一腔(120)与所述第一气道(110)连通；所述第二座(200)与所述第一座(100)之间活动连接，使得所述第一腔(120)的容积可变；检测组件(600)，所述检测组件(600)包括：压力传感器，所述压力传感器容置于所述第一腔(120)内，所述压力传感器用于监测所述第一腔(120)内的气压变化。2.根据权利要求1所述的一种抛光载体，其特征在于，所述第一座(100)的外圈具有第一连接部(130)，所述第二座(200)的外圈具有第二连接部(250)，所述第一连接部(130)与所述第二连接部(250)之间设置有密封组件(400)，所述密封组件(400)包括：密封圈(410)，所述密封圈(410)嵌设于所述第一连接部(130)内，且所述密封圈(410)抵触于所述第二连接部(250)上，使得所述第一腔(120)密闭；或，所述密封组件(400)包括：密封圈(410)，所述密封圈(410)嵌设于所述第二连接部(250)内，且所述密封圈(410)抵触于所述第一连接部(130)上，使得所述第一腔(120)密闭。3.根据权利要求2所述的一种抛光载体，其特征在于，所述第二座(200)滑移连接于所述第一座(100)上，所述滑移方向与待抛片所在平面相垂直。4.根据权利要求3中任意一项所述的一种抛光载体，其特征在于，所述第一座(100)的底面上设置有限位槽(140)，所述第一座(100)和第二座(200)之间设置有限位组件(500)，所述限位组件(500)包括：限位部(510)，所述限位部(510)固定连接于第二座(200)上，所述限位部(510)容置于所述限位槽(140)中，所述限位部(510)用于与所述限位槽(140)抵触配合，使得所述第二座(200)移动受限，且所述限位槽(140)中具有使所述限位部(510)在垂直于待抛片所在平面方向上移动的活动空间；或，所述第二座(200)的顶面设置有限位槽(140)，所述第一座(100)和第二座(200)至今设置有限位组件(500)，所述限位组件(500)包括：限位部(510)，所述限位部(510)固定连接于第一座(100)上，所述限位部(510)容置于所述限位槽(140)中，所述限位部(510)用于与所述限位槽(140)抵触配合，使得所述第二座(200)移动受限，且所述限位槽(140)中具有使所述限位部(51...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，李阳健，郑猛，韩鹏飞，黄金涛，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：