【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及设置有包括发热电阻层的电热变换元件的电路基板、液体排出头和它们的制造方法，特别涉及把电能变换成热能、利用该热能排出液体的液体排出头用的电路基板的制造方法。
技术介绍
喷墨记录装置通过把油墨作为微小的液滴从排出口排出到被记录构件上，来记录高精细的图像。此时，喷墨记录装置把电能变换成热能，利用热能使油墨产生气泡。利用气泡的作用从位于液体排出头前端部的排出口排出液滴。从排出口喷出的液滴附着在被记录构件上，记录图像。这样的液体排出头一般包括设置有多个把电能变换成热能的电热变换元件的电路基板。电热电阻体是对电能进行变换而产生热能的热变换体。图5为示出现有的液体排出头用的电路基板的电热变换元件的平面图。参照图5，在表面上形成有作为绝缘膜的氧化硅膜的基板11上，排列有多个电热变换元件20。在形成电极布线13以后，把发热电阻体膜14形成为覆盖该电极布线13，由此，作成电热变换元件20。图6是沿着图5的线6-6的剖面图，又是用于说明现有液体排出头用的电路基板的制造方法的剖面图。此外，图7A、7B、7C、7D和7E为用于说明该电路基板制造方法的平面图。使用这些图，说明...
【技术保护点】
一种电路基板的制造方法，该电路基板具有：在基板的表面部上形成的电极布线；以及在该电极布线上形成的、具有用于产生热能的发热电阻体膜的多个电热变换元件，其特征在于包含以下工序：形成用于形成上述电极布线的导电层，形成上述发热电阻体膜，然后对上述导电层和发热电阻体膜一并进行蚀刻。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：上市真人，佐佐木圭一，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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