一种晶圆旋干机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆旋干机，包括传动机构和甩干机构，传动机构与甩干机构相连，传动机构能够带动甩干机构转动；甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，支撑柱为多个且沿甩干盘的周向设置，多个支撑柱围成与晶圆仿形的结构，卡柱设置于支撑柱上用于卡接晶圆。和现有技术相比，本实用新型专利技术实施例所公开的晶圆旋干机，由于甩干机构中采用了支撑柱的结构，通过支撑柱即可对晶圆进行定位，无需将晶圆放置于整个甩干盘上，大大减小了晶圆与甩干机构的接触面积，有效提升了晶圆的洁净度。有效提升了晶圆的洁净度。有效提升了晶圆的洁净度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆旋干机


[0001]本技术涉及旋干机
，特别涉及一种晶圆旋干机。

技术介绍

[0002]晶圆(晶片)是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的加工过程中，首先需要对晶圆进行湿法清洗，去除晶圆表面的杂质，然后再对清洗后的晶圆进行甩干处理。
[0003]现有技术中的晶圆旋干机中，晶圆一般放置于旋干盘上，通过旋干盘的旋转以实现对晶圆的甩干，但是晶圆与旋干盘的接触面积过大，导致晶圆的洁净度达不到要求。
[0004]因此，如何提供一种晶圆旋干机，能够提升晶圆的洁净度是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种晶圆旋干机，能够提升晶圆的洁净度。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种晶圆旋干机，包括传动机构和甩干机构，所述传动机构与所述甩干机构相连，所述传动机构能够带动所述甩干机构转动；
[0008]所述甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，所述支撑柱为多个且沿所述甩干盘的周向设置，所述卡柱设置于所述支撑柱上用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆旋干机，其特征在于，包括传动机构和甩干机构，所述传动机构与所述甩干机构相连，所述传动机构能够带动所述甩干机构转动；所述甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，所述支撑柱为多个且沿所述甩干盘的周向设置，所述卡柱设置于所述支撑柱上用于卡接所述晶圆。2.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述支撑柱上用于与所述晶圆接触的端面为锥面。3.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述甩干盘为环形的盘状结构，所述支撑柱设置于所述甩干盘的端面上。4.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，还包括甩干箱体和支撑箱体，所述甩干机构设置于所述甩干箱体内，所述传动机构设置于所述支撑箱体内；所述甩干箱体的底板为斜板，所述斜板的较低一侧设置有用于废水排出的排水口。5.根据权利要求4所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述甩干箱体的底板上设置有环形凸起，所述甩干盘上设置有用于与所述环形凸起相配合的环形凹槽。6.根据权利要求4所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述传动机构包括驱动机构、齿轮传动机构和转动机构，所述驱动机构通过所述齿轮传动机构与所述转动机构相连。7.根据权利要求6所述的晶圆旋干...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱文金，罗家明，汤灿东，吴伟平，
申请(专利权)人：广东长信精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：