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本实用新型公开了一种晶圆旋干机，包括传动机构和甩干机构，传动机构与甩干机构相连，传动机构能够带动甩干机构转动；甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，支撑柱为多个且沿甩干盘的周向设置，多个支撑柱围成与晶圆仿形的结构，卡柱设置于支撑柱上用于卡接晶圆...
该专利属于广东长信精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东长信精密设备有限公司授权不得商用。

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