一种惰性气体密封箱制造技术

本实用新型专利技术提供一种惰性气体密封箱，包括密封箱体、净化系统，两者间通过两条管道相连接，两条管道上分别设置有补气阀门与泄压阀门，所述密封箱体设置有观察窗、手套孔、传递舱，以及多种气体传感器，所述净化系统设置有相连接的循环风机和气体处理部件，所述气体处理部件采用物理过滤部件或者化学吸附部件。本实用新型专利技术能够提供一个惰性气体环境的处理装置，并通过各传感器监测密封箱体的气体含量，通过与密封箱体相连接的净化系统对湿度、含氧、含氢进行处理，从而使得密封箱体的惰性气体符合实验要求。本实用新型专利技术操作简单，处理方便。便。便。

【技术实现步骤摘要】
一种惰性气体密封箱


[0001]本技术涉及一种密封箱，尤其是涉及一种惰性气体密封箱。

技术介绍

[0002]随着新型材料应用，精密半导体制造等科研应用的需求，越来越多的对实验环境与生产环境的要求提高，要求实验与生产环境是无水，无氧，无外界干扰的情况下进行，这样就产生了在真空环境中，与在惰性气体环境中进行实验与生产的要求。但是，人类虽然可以很容易的实现真空环境，但是在真空中是不能人为的去操作真空室内部的物品的，这就是真空密封舱没有普及应用的原因。所以为了实验人员既可以有无水无氧的环境，又可以在环境中操作，对其实验的内容进行操作，就产生了惰性气体密封箱这么一个实验平台。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种惰性气体密封箱，解决了在惰性气体的环境中进行实验的装置问题，其技术方案如下所述：
[0004]一种惰性气体密封箱，包括密封箱体、净化系统，两者间通过两条管道相连接，两条管道上分别设置有补气阀门与泄压阀门，所述密封箱体设置有观察窗、手套孔、传递舱，以及多种气体传感器，所述净化系统设置有相连接的循环风机和气体处理部件，所述气体处理部件采用物理过滤部件或者化学吸附部件。
[0005]所述多种气体传感器包括湿度传感器、氧传感器、氢传感器，所述净化系统的气体处理部件对应设置有依次连接的除水净化柱、除氧净化柱、除氢净化柱。
[0006]所述多种气体传感器还包括微压压差传感器，根据微压压差传感器的信号，控制模块控制控制补气阀门与泄压阀门的开启。
[0007]所述多种气体传感器还包括温度传感器。
[0008]所述净化系统连接两条管道的部位设置有过滤器。
[0009]还包括控制模块和监控系统，所述多种传感器与控制模块相连接，所述控制模块与监控系统相连接，所述监控系统采用触摸屏，用于实时显示各传感器探测监控到的数据。
[0010]所述密封箱体的左侧设置有检修门。
[0011]所述手套孔上安装的是耐腐蚀的手套，对应材料为丁基橡胶。
[0012]所述密封箱体的材料选用耐腐蚀的304不锈钢或316不锈钢。
[0013]所述惰性气体密封箱，能够提供一个惰性气体环境的处理装置，并通过各传感器监测密封箱体的气体含量，通过与密封箱体相连接的净化系统对湿度、含氧、含氢进行处理，从而使得密封箱体的惰性气体符合实验要求。本技术操作简单，处理方便。
附图说明
[0014]图1是所述惰性气体密封箱的结构示意图；
[0015]1‑
密封箱体；2
‑
观察窗；3
‑
手套孔；4
‑
传递舱；5
‑
检修门；6
‑
微压压差传感器；7
‑
湿
度传感器；8
‑
氧传感器；9
‑
温度传感器；10
‑
氢传感器；11
‑
净化系统；12
‑
除水净化柱；13
‑
除氧净化柱；14
‑
除氢净化柱；15
‑
循环风机；16
‑
控制模块；17
‑
过滤器；18
‑
补气阀门；19
‑
泄压阀门；20
‑
监控系统。
具体实施方式
[0016]如图1所示，所述惰性气体密封箱，包括密封箱体1和与其通过管道相连接的净化系统11。所述密封箱体1的材料选用耐腐蚀的304不锈钢或316不锈钢，采用焊接的方式或者拼接的方式，使其达到完全密封的状态，所述密封箱体1的尺寸、外形可以根据客户实际设备定制。
[0017]所述密封箱体1的前端设置有观察窗2、手套孔3，操作员可通过观察窗2观看密封箱体1内的具体使用情况，所述手套孔3上安装的是耐腐蚀的手套，对应材料为丁基橡胶，操作员可通过手套孔3连接的手套进行对箱体内部实验设备的操作及维护。
[0018]所述密封箱体1的右侧设置有传递舱4，操作人员通过传递舱4进行密封箱体1的内部物品与箱体外界物品的进出，该传递过程不破坏箱体内部的气氛环境。所述密封箱体1的左侧设置有检修门5，操作员可以在密封箱体1内设备需要维护检修的情况下，通过检修门5进入密封箱体1内，对其检修。
[0019]所述密封箱体1设置有多种气体传感器，对密封箱体1内部的气氛进行监控，所述传感器类型包括微压压差传感器6、湿度传感器7、氧传感器8、温度传感器9、氢传感器10。所述微压压差传感器6用于探测密封箱体1内部的压力，从而通过控制模块16进行调节，该箱体内部的压力为相对压力，一般为
±
10mbar；所述湿度传感器7用于探测密封箱体1内部的湿度；所述氧传感器8用于探测密封箱体1内部的氧气浓度；所述温度传感器9用于探测密封箱体1内部的温度；所述氢传感器10用于探测密封箱体1内部的氢气浓度。
[0020]所述密封箱体1和净化系统11通过两条管道相连接，其中一条管道设置有补气阀门18，用于控制向密封箱体1内补气，另一条管道设置有泄压阀门19，用于密封箱体1的泄压。
[0021]所述补气阀门18和泄压阀门19均为三通阀，其中两个接口分别通过管道连接密封箱体1和净化系统11，所述补气阀门18的第三个接口连接到惰性气体输送管，所述泄压阀门19的第三个接口通过管道连接到密封舱。实验完成后，对密封舱的气体使用净化系统11进行处理，处理方式是密封舱的气体通过补气阀门18，经过第一个过滤器17，再依次经过除水净化柱12、除氧净化柱13、除氢净化柱14，进行湿度、含氧、含氢的处理，气体流动通过循环风机15控制方向，气体最后经过第二个过滤器17以及泄压阀门19排出，防止污染空气。
[0022]所述微压压差传感器监测箱体内部压力，控制这两个阀门，实现箱体内部的压力平衡与调节。
[0023]所述净化系统11内针对需要控制的气氛的材料，设置有依次连接的除水净化柱12、除氧净化柱13、除氢净化柱14和循环风机15，所述除水净化柱12与补气阀门18相连接，所述循环风机15与泄压阀门19相连接，进一步的，所述除水净化柱12与补气阀门18之间、循环风机15与泄压阀门19之间都设置有过滤器17。所述净化系统11通过物理过滤或者化学吸附，采用循环风机驱动密封箱体1内的气体流动。所述补气阀门18与泄压阀门19，调节箱体内部压力使用。
[0024]所述惰性气体密封箱还包括控制模块16和监控系统20。所述各传感器与控制模块16相连接，所述控制模块16与监控系统20相连接，所述监控系统20采用触摸屏，用于实时显示各传感器探测监控到的数据。所述控制模块16根据各传感器的数据，实时监控密封箱体1内气氛的成分含量，所述控制模块16控制循环风机15的运行，以及补气阀门18、泄压阀门19的开启和关停。所述控制模块16采用STM32F101C8芯片。
[0025]使用时，通过各传感器监控密封箱体1的气体成分，发现湿度、含氧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种惰性气体密封箱，其特征在于：包括密封箱体、净化系统，两者间通过两条管道相连接，两条管道上分别设置有补气阀门与泄压阀门，所述密封箱体设置有观察窗、手套孔、传递舱，以及多种气体传感器，所述净化系统设置有相连接的循环风机和气体处理部件，所述气体处理部件采用物理过滤部件或者化学吸附部件。2.根据权利要求1所述的惰性气体密封箱，其特征在于：所述多种气体传感器包括湿度传感器、氧传感器、氢传感器，所述净化系统的气体处理部件对应设置有依次连接的除水净化柱、除氧净化柱、除氢净化柱。3.根据权利要求1所述的惰性气体密封箱，其特征在于：所述多种气体传感器还包括微压压差传感器，根据微压压差传感器的信号，控制模块控制控制补气阀门与泄压阀门的开启。4.根据权利要求1所述的惰性气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永红，
申请(专利权)人：北京艾谱瑞斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：