一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶制造技术领域，具体涉及一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线。该进料对接阀包括：阀体，具有供进料管插接的阀口；抵接限位机构，设置于所述阀体上，并且所述抵接限位机构沿所述阀口的周向设置，适于与所述进料管抵接；防尘机构，设置于所述阀体上，适于遮盖所述阀口。本实用新型专利技术设置的抵接限位机构能够对插接于阀口内的进料管进行抵接，确保进料管插接的稳定性、避免进料过程中进料管脱落，设置的防尘机构能够在未使用时对阀口进行遮盖，起到防尘保护作用，因此，本实施例的进料对接阀能够完成对进料管的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中进料管对接的可靠性、稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线


[0001]本技术涉及单晶制造设备
，具体涉及一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线。

技术介绍

[0002]目前，单晶硅行业竞争激烈，而如何降低硅片成本成了行业的主要研发方向。单晶炉主室加料时多采用外部加料器与单晶炉加料口对接，且加料过程由人工进行对接固定。
[0003]该对接方式对接时间长、耗费人力，且其对接可靠性难以保证。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的单晶加料器对接单晶炉费时费力、可靠性差的缺陷，从而提供一种可实现快速对接、可靠性好的进料对接阀、单晶炉及单晶生产线。
[0005]为了解决上述问题，本技术提供了一种进料对接阀，包括：阀体，具有供进料管插接的阀口；抵接限位机构，设置于所述阀体上，并且所述抵接限位机构沿所述阀口的周向设置，适于与所述进料管抵接；防尘机构，设置于所述阀体上，适于遮盖所述阀口。
[0006]可选的，所述抵接限位机构包括：抵接驱动部，设置于所述阀体上；抵接部，与所述抵接驱动部传动连接，所述抵接驱动部能够本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进料对接阀，其特征在于，包括：阀体(1)，具有供进料管插接的阀口(11)；抵接限位机构(2)，设置于所述阀体(1)上，并且所述抵接限位机构(2)沿所述阀口(11)的周向设置，适于与所述进料管抵接；防尘机构(3)，设置于所述阀体(1)上，适于遮盖所述阀口(11)。2.根据权利要求1所述的进料对接阀，其特征在于，所述抵接限位机构(2)包括：抵接驱动部(21)，设置于所述阀体(1)上；抵接部(22)，与所述抵接驱动部(21)传动连接，所述抵接驱动部(21)能够驱动所述抵接部(22)靠近或远离所述阀口(11)的中心运动。3.根据权利要求2所述的进料对接阀，其特征在于，所述抵接驱动部(21)为旋转升降气缸，以驱动所述抵接部(22)靠近或远离所述阀口(11)的中心旋转以及驱动所述抵接部(22)沿垂直于所述阀体(1)的方向升降。4.根据权利要求1所述的进料对接阀，其特征在于，所述抵接限位机构(2)沿所述阀口(11)的周向间隔设置有多个。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的进料对接阀，其特征在于，所述防尘机构(3)包括：驱动组件(31)，设置于所述阀体(1)上；防尘盖(32)，与所述驱动组件(31)传动连接，所述驱动组件(31)能够驱动所述防尘盖(32)盖设于所述阀口(11)或驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王林，刘选，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：