下载一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线的技术资料

文档序号:37278924

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本实用新型涉及单晶制造技术领域,具体涉及一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线。该进料对接阀包括:阀体,具有供进料管插接的阀口;抵接限位机构,设置于所述阀体上,并且所述抵接限位机构沿所述阀口的周向设置,适于与所述进料管抵接;防尘机构,设置于所述...
该专利属于三一硅能(株洲)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三一硅能(株洲)有限公司授权不得商用。

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