用于有机发光二极管的沉积设备制造技术

本发明专利技术涉及一种用于有机发光二极管的沉积设备，并且更具体地，涉及一种其中借助于辅助室独立地执行沉积材料的维护操作并且因此减少用于沉积材料的评估时间的用于有机发光二极管的沉积设备。二极管的沉积设备。二极管的沉积设备。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于有机发光二极管的沉积设备


[0001]本申请要求于2020年11月18日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
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2020
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0154758的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过参引并入本文。
[0002]本公开涉及用于有机发光二极管的沉积设备，并且特别地，涉及通过辅助室独立地维护沉积材料来缩短沉积材料的评估时间的用于有机发光二极管的沉积设备。

技术介绍

[0003]有机发光二极管(OLED)是主动发光装置，在该主动发光装置中，在上下分开的两个电极之间设置有有机膜，并且，当电流流过这两个电极时，由这两个电极提供的电子和空穴在有机膜中结合以产生光。这种OLED是薄且轻的，并且具有高亮度、低功耗等性能，并且在各种领域中使用。特别地，OLED作为下一代显示器已经受到关注，并且OLED还可以用作发射白光和单色光的照明。
[0004]在制造OLED时，需要形成有机薄膜的工艺和形成导体薄膜的工艺，并且作为这种薄膜形成工艺，主要使用蒸发沉积。
[0005]有机薄膜主要以下述方式制造：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于有机发光二极管的沉积设备，所述设备包括：主室，所述主室沉积和评估材料；辅助室，所述辅助室连接至所述主室，并且待沉积的沉积材料装入所述辅助室中；以及加热单元，所述加热单元加热装入所述辅助室中的所述沉积材料。2.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，包括将所述辅助室和所述加热单元连接的波纹管。3.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述辅助室包括将所述沉积材料装入所述主室的隔室中的装载单元。4.根据权利要求3所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述装载单元还包括控制所述沉积材料的运动的闸阀。5.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑光振，申喜英，金载镒，李俊永，
申请(专利权)人：株式会社LG化学，
类型：发明
国别省市：