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本发明涉及一种用于有机发光二极管的沉积设备，并且更具体地，涉及一种其中借助于辅助室独立地执行沉积材料的维护操作并且因此减少用于沉积材料的评估时间的用于有机发光二极管的沉积设备。二极管的沉积设备。二极管的沉积设备。
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该专利属于株式会社LG化学所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社LG化学授权不得商用。

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