一种可控制膜厚精度的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域，包括真空镀膜机本体和膜厚控制机构，所述真空镀膜机本体顶部左侧固定安装有蒸发控制器，且真空镀膜机本体顶部右侧固定安装有监控显示屏，所述真空镀膜机本体内部右侧开设有工件仓，所述工件仓右侧内壁固定安装有电动升降组件，用于监控镀层厚度的所述膜厚控制机构滑动安装于电动升降组件末端。本申请提供一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，镀膜过程中，将振荡器采样头所采集的振荡频率变化，通过同轴电缆传导至6MH平面石英测厚芯片得到处理，并通过单片机反馈至真空镀膜机本体外部的监控显示屏上，使得生产者通过实时反馈的数据把控真空镀膜的厚度。厚度。厚度。

【技术实现步骤摘要】
一种可控制膜厚精度的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种可控制膜厚精度的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要是在高度真空环境下为镀件进行镀膜的设备，在真空镀膜工作中，通常需要控制真空镀膜的厚度，即为镀层的厚度，从而改变镀件的表面品质。
[0003]如申请号为CN201621384007.9的专利文件公开了一种膜厚测试仪。该技术膜厚测试仪，其可以实现六路实时测量，通过液晶显示能够连续获取完整的镀膜数据，并提供较高的测量灵敏度，以适应镀膜重复性技术要求所需的精度，但是如对比文件所示的便携式膜厚测试仪并不适合安装于真空镀膜机内部，即在实际应用中镀层厚度难以测定，且无法实时反馈于设备终端上，使得生产者难以把控真空镀膜的厚度。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种可控制膜厚精度的真空镀膜机。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，其特征在于，包括真空镀膜机本体(1)和膜厚控制机构(7)，所述真空镀膜机本体(1)顶部左侧固定安装有蒸发控制器(2)，且真空镀膜机本体(1)顶部右侧固定安装有监控显示屏(3)，所述真空镀膜机本体(1)内部右侧开设有工件仓(4)，且工件仓(4)底部固定安装有转盘(5)，所述工件仓(4)右侧内壁固定安装有电动升降组件(6)，用于监控镀层厚度的所述膜厚控制机构(7)滑动安装于电动升降组件(6)末端，所述膜厚控制机构(7)包括机体(701)、陶封(702)和振荡器采样头(703)，所述机体(701)底部固定安装有陶封(702)，且陶封(702)中部向外延伸有振荡器采样头(703)。2.根据权利要求1所述的一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，其特征在于，所述膜厚控制机构(7)还包括同轴电缆(704)和测厚芯片(705)，所述振荡器采样头(703)位于机体(701)内部连接有同轴电缆(704)，且同轴电缆(704)末端电性连接有测厚芯片(705)。3.根据权利要求2所述的一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，其特征在于，所述膜厚控制机构(7)还包括单片机(706)，所述测厚芯片(705)背面锡焊固定有单片机(706)，且单片机(706)通过线束与监控显示屏(3)电性...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙飞，邓小辉，
申请(专利权)人：东莞市龙铮真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：