一种可控制膜厚精度的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域，包括真空镀膜机本体和膜厚控制机构，所述真空镀膜机本体顶部左侧固定安装有蒸发控制器，且真空镀膜机本体顶部右侧固定安装有监控显示屏，所述真空镀膜机本体内部右侧开设有工件仓，所述工件仓右侧内壁固定安装有电动升降组件，用于监控镀层厚度的所述膜厚控制机构滑动安装于电动升降组件末端。本申请提供一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，镀膜过程中，将振荡器采样头所采集的振荡频率变化，通过同轴电缆传导至6MH平面石英测厚芯片得到处理，并通过单片机反馈至真空镀膜机本体外部的监控显示屏上，使得生产者通过实时反馈的数据把控真空镀膜的厚度。厚度。厚度。

【技术实现步骤摘要】
一种可控制膜厚精度的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种可控制膜厚精度的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要是在高度真空环境下为镀件进行镀膜的设备，在真空镀膜工作中，通常需要控制真空镀膜的厚度，即为镀层的厚度，从而改变镀件的表面品质。
[0003]如申请号为CN201621384007.9的专利文件公开了一种膜厚测试仪。该技术膜厚测试仪，其可以实现六路实时测量，通过液晶显示能够连续获取完整的镀膜数据，并提供较高的测量灵敏度，以适应镀膜重复性技术要求所需的精度，但是如对比文件所示的便携式膜厚测试仪并不适合安装于真空镀膜机内部，即在实际应用中镀层厚度难以测定，且无法实时反馈于设备终端上，使得生产者难以把控真空镀膜的厚度。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种可控制膜厚精度的真空镀膜机。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括真空镀膜机本体和膜厚控制机构，所述真空镀膜机本体顶部左侧固定安装有蒸发控制器，且真空镀膜机本体顶部右侧固定安装有监控显示屏，所述真空镀膜机本体内部右侧开设有工件仓，且工件仓底部固定安装有转盘，所述工件仓右侧内壁固定安装有电动升降组件，用于监控镀层厚度的所述膜厚控制机构滑动安装于电动升降组件末端，所述膜厚控制机构包括机体、陶封和振荡器采样头，所述机体底部固定安装有陶封，且陶封中部向外延伸有振荡器采样头。
[0007]进一步的，所述膜厚控制机构还包括同轴电缆和测厚芯片，所述振荡器采样头位于机体内部连接有同轴电缆，且同轴电缆末端电性连接有测厚芯片。
[0008]进一步的，所述膜厚控制机构还包括单片机，所述测厚芯片背面锡焊固定有单片机，且单片机通过线束与监控显示屏电性连接。
[0009]进一步的，所述真空镀膜机本体内部左侧开设有蒸发仓，且蒸发仓中部固定安装有与蒸发控制器电性连接的电弧蒸发器。
[0010]进一步的，所述蒸发仓底部固定安装有用于隔绝蒸发源与产品的防护机构，所述防护机构包括基座和滑槽，所述基座顶部凹陷处承接有电弧蒸发器，且基座右侧纵向贯穿开设有滑槽。
[0011]进一步的，所述防护机构还包括转杆和电机，所述基座内部左侧转动安装有转杆，且转杆底部输入端传动连接有电机，所述电机固定安装于真空镀膜机本体底部外侧。
[0012]进一步的，所述防护机构还包括坡度块和隔断板，所述转杆中部同轴固定有坡度
块，且坡度块右侧圆周贴合设置有滑动于滑槽内部的隔断板。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本申请提供一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，镀膜过程中，将振荡器采样头所采集的振荡频率变化，通过同轴电缆传导至6MH平面石英测厚芯片得到处理，并通过单片机反馈至真空镀膜机本体外部的监控显示屏上，使得生产者通过实时反馈的数据把控真空镀膜的厚度。
[0014]1.本技术通过膜厚控制机构的设置，镀膜过程中，将振荡器采样头所采集的振荡频率变化，通过同轴电缆传导至6MH平面石英测厚芯片得到处理，随着工件表面膜层变厚，振荡频率不断降低，以此控制膜厚精度；
[0015]2.本技术通过监控显示屏的设置，测厚芯片数据通过单片机反馈至本体外部的监控显示屏上，通过实时反馈的数据有利于把控真空镀膜的厚度；
[0016]3.本技术通过防护机构的设置，在镀膜之前的预热过程中，未达到蒸发物的蒸发温度前如果蒸发仓与工件仓是连通的，会因蒸发物释放的气体和杂质污染工件，防护机构的设置就是在预热过程中阻止蒸发仓与工件仓的连通，保证了真空镀膜工件仓内的洁净状态，从而保障了待蒸镀膜层不会发生污染及变质，使镀膜层厚度更均匀，成分更纯净，性能更稳定。
附图说明
[0017]图1为本技术整体内部结构示意图；
[0018]图2为本技术膜厚控制组件内部结构示意图；
[0019]图3为本技术防护机构正视结构示意图。
[0020]图中：1、真空镀膜机本体；2、蒸发控制器；3、监控显示屏；4、工件仓；5、转盘；6、电动升降组件；7、膜厚控制机构；701、机体；702、陶封；703、振荡器采样头；704、同轴电缆；705、测厚芯片；706、单片机；8、蒸发仓；9、电弧蒸发器；10、防护机构；1001、基座；1002、滑槽；1003、转杆；1004、电机；1005、坡度块；1006、隔断板。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0022]如图1至图2所示，包括真空镀膜机本体1和膜厚控制机构7，真空镀膜机本体1顶部左侧固定安装有蒸发控制器2，且真空镀膜机本体1顶部右侧固定安装有监控显示屏3，真空镀膜机本体1内部右侧开设有工件仓4，且工件仓4底部固定安装有转盘5，工件仓4右侧内壁固定安装有电动升降组件6，用于监控镀层厚度的膜厚控制机构7滑动安装于电动升降组件6末端，膜厚控制机构7包括机体701、陶封702和振荡器采样头703，机体701底部固定安装有陶封702，且陶封702中部向外延伸有振荡器采样头703，膜厚控制机构7还包括同轴电缆704和测厚芯片705，振荡器采样头703位于机体701内部连接有同轴电缆704，且同轴电缆704末端电性连接有测厚芯片705，膜厚控制机构7还包括单片机706，测厚芯片705背面锡焊固定有单片机706，且单片机706通过线束与监控显示屏3电性连接，镀膜过程中，将振荡器采样头703所采集的振荡频率变化，通过同轴电缆704传导至6MH平面石英测厚芯片705得到处理，随着工件表面膜层变厚，振荡频率不断降低，以此控制膜厚精度，测厚芯片705数据通过
单片机706反馈至真空镀膜机本体1外部的监控显示屏3上，使用者通过实时反馈的数据有利于把控真空镀膜的厚度；
[0023]如图3所示，真空镀膜机本体1内部左侧开设有蒸发仓8，且蒸发仓8中部固定安装有与蒸发控制器2电性连接的电弧蒸发器9，蒸发仓8底部固定安装有用于隔绝蒸发源与产品的防护机构10，防护机构10包括基座1001和滑槽1002，基座1001顶部凹陷处承接有电弧蒸发器9，且基座1001右侧纵向贯穿开设有滑槽1002，防护机构10还包括转杆1003和电机1004，基座1001内部左侧转动安装有转杆1003，且转杆1003底部输入端传动连接有电机1004，电机1004固定安装于真空镀膜机本体1底部外侧，防护机构10还包括坡度块1005和隔断板1006，转杆1003中部同轴固定有坡度块1005，且坡度块1005右侧圆周贴合设置有滑动于滑槽1002内部的隔断板1006，电弧蒸发器9在蒸发控制器2的控制下进行蒸发物的预热，通过电机1004的启用驱动转杆1003旋转，转杆1003中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，其特征在于，包括真空镀膜机本体(1)和膜厚控制机构(7)，所述真空镀膜机本体(1)顶部左侧固定安装有蒸发控制器(2)，且真空镀膜机本体(1)顶部右侧固定安装有监控显示屏(3)，所述真空镀膜机本体(1)内部右侧开设有工件仓(4)，且工件仓(4)底部固定安装有转盘(5)，所述工件仓(4)右侧内壁固定安装有电动升降组件(6)，用于监控镀层厚度的所述膜厚控制机构(7)滑动安装于电动升降组件(6)末端，所述膜厚控制机构(7)包括机体(701)、陶封(702)和振荡器采样头(703)，所述机体(701)底部固定安装有陶封(702)，且陶封(702)中部向外延伸有振荡器采样头(703)。2.根据权利要求1所述的一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，其特征在于，所述膜厚控制机构(7)还包括同轴电缆(704)和测厚芯片(705)，所述振荡器采样头(703)位于机体(701)内部连接有同轴电缆(704)，且同轴电缆(704)末端电性连接有测厚芯片(705)。3.根据权利要求2所述的一种可控制膜厚精度的真空镀膜机，其特征在于，所述膜厚控制机构(7)还包括单片机(706)，所述测厚芯片(705)背面锡焊固定有单片机(706)，且单片机(706)通过线束与监控显示屏(3)电性...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙飞，邓小辉，
申请(专利权)人：东莞市龙铮真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：