一种蒸镀基板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种蒸镀基板，属于OLED技术领域。本实用新型专利技术的蒸镀基板，包括玻璃基板，覆盖在玻璃基板上表面与四个侧面的保护膜，以及设在玻璃基板下方的导电层，其中：所述保护膜基材层的尺寸，长A，宽B，厚C，与玻璃基板尺寸，长L，宽D，厚T，满足以下关系：（L+3T）≥A≥（L+2T）；（D+3T）≥B≥（D+2T）。本实用新型专利技术提供的蒸镀基板在蒸镀腔体内流转过程中，由于设备异常发生碰撞时，由于保护膜的存在，蒸镀基板虽然会受到应力破损，但并不会完全裂开，然后通过机械手将破片整体取出；本实用新型专利技术既可以避免裂片产生玻璃粉污染腔体的情况，又可以节省开腔清理破片的时间，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀基板


[0001]本技术涉及一种蒸镀基板，属于电致发光
，具体来说，属于有机电致发光


技术介绍

[0002]自有机发光二极管（OLED）被发现以来，由于其重量轻、灵活性以及优异的光电性能，在显示和固态照明领域显示出巨大的潜力。
[0003] OLED器件是在基板上设置两层薄膜电极，然后在两层薄膜电极之间设置有机层，导通两层薄膜电极，从而点亮有机层，达到发光效果；
[0004]OLED器件的电极薄膜通常是溅镀形成的，而有机层薄膜通常由蒸镀形成，在蒸镀过程中，基板在真空腔体内不断传动，从而在该基板上形成不同的有机层薄膜；然而由于基板厚度很薄，加上腔体内机械机构绝大部分为钢部件，经常会出现基板在真空腔体内碰撞而破片或者破脚的情况，玻璃碎片需要及时清除，腔体环境需要重新再生；这时需要关闭加热源，打开腔体进行清理，不但影响了生产的连续性，也会造成玻璃碎屑污染腔体的情况。
[0005]中国专利202210055763.0公布了一种基板破片监测装置。该专利技术中，通过压力检测基板是否有裂痕，检测异常后及时反馈状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀基板，其特征在于，包括玻璃基板，覆盖在玻璃基板上表面与四个侧面的保护膜，以及设在玻璃基板下方的导电层，其中：所述保护膜包括保护膜基材层，所述保护膜基材层的尺寸，长A，宽B，厚C，与玻璃基板尺寸，长L，宽D，厚T，满足以下关系：（L+3T）≥A≥（L+2T）；（D+3T）≥B≥（D+2T）；所述保护膜基材层的材料选自PI、PEEK或PTFE。2.根据权利要求1所述的蒸镀基板，其特征在于，所述保护膜还包括保护膜胶材层；所述保护膜胶材层的材料选自丙烯酸或环氧树脂。3.根据权利要求1所述的蒸镀基板，其特征在于，所述保护膜基材层...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐亚晨，谢发飞，封晓猛，魏斌，叶子云，
申请(专利权)人：南京迪视泰光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：