【技术实现步骤摘要】
一种气路高纯工艺系统
[0001]本专利技术涉及气路高纯工艺系统领域,特别涉及一种气路高纯工艺系统。
技术介绍
[0002]高纯行业的工艺需要用到高纯净的特种气体,例如硅烷、氯气、氨气、笑气、磷烷、硼烷、四氟化碳、三氟甲烷、氦气、氩气和六氟化硫等,气路的高纯工艺需要使用高纯气路工艺系统,高纯气路工艺系统包括供气装置、输气管道、控制阀门、减压阀门以及气压表等,其中输气管道上还设有若干支管道,在支管道上分别设有气阀和终端气压表,支管道分别与用户端相连,实现能够对各个实验室或工程以及设备进行集中供气。
[0003]气路高纯工艺系统的输气管道通常需要安装在指定位置,输气管道使用安装座进行安装,安装座与墙面或指定位置相安装,安装座上通常设置四个夹持片,两个输气管道位于两个夹持片之间,然后夹持片之间使用两个螺栓和螺母进行锁紧,在螺母的转动下,使两个夹持片形变相靠近,然后对输气管道进行夹持固定。
[0004]但在对多个输气管道进行安装时,这种手动转动多个螺母的方式会相应的增加工作人员的劳动强度,不便于对输气管道进行固定。< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气路高纯工艺系统,其特征在于,包括:两个输气管道(1),其背面设置有两个安装座(2),所述安装座(2)的正面固定连接有多个夹持片(3),所述输气管道(1)位于相邻两个夹持片(3)之间,相邻两个所述夹持片(3)之间设置有螺栓(4);固定机构(5),其包括电机(51)、转轴(52)、第一换向齿轮(53)、第二换向齿轮(54)、转动柱(55)、两个连接杆(56)、两个支撑板(57)、两个转动筒(58)和承载板(59),所述第一换向齿轮(53)与第二换向齿轮(54)相啮合,所述螺栓(4)的一端与转动筒(58)的内腔螺纹穿插连接。2.根据权利要求1所述的一种气路高纯工艺系统,其特征在于,所述电机(51)的输出端与转轴(52)传动连接,所述转轴(52)的一端与第一换向齿轮(53)固定连接,所述转动柱(55)的外壁与第二换向齿轮(54)的中部固定穿插连接,所述连接杆(56)的一端与转动柱(55)固定连接,所述连接杆(56)的另一端与转动筒(58)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种气路高纯工艺系统,其特征在于,所述支撑板(57)的一侧开设有第一圆槽,所述连接杆(56)与第一圆槽的内腔转动穿插连接,所述承载板(59)的一侧开设有第二圆槽,所述转动柱(55)与第二圆槽的内腔转动穿插连接,所述转动柱(55)的外壁固定穿插连接有两个固定环(11)。4.根据权利要求1所述的一种气路高纯工艺系统,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴昊,邓金金,王凯,
申请(专利权)人:江苏三鑫特殊金属材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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