下载一种气路高纯工艺系统的技术资料

文档序号:37261305

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本发明公开了一种气路高纯工艺系统,包括两个输气管道,其背面设置有两个安装座,安装座的正面固定连接有多个夹持片,输气管道位于相邻两个夹持片之间,相邻两个夹持片之间设置有螺栓,固定机构,其包括电机、转轴、第一换向齿轮、第二换向齿轮、转动柱、两个...
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