一种颗粒硅生产尾气余热利用系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种颗粒硅生产尾气余热利用系统，包括流化床反应装置、第一尾气冷却器、过滤器、低压废锅和原料换热机构；所述流化床反应装置的进气口连接原料换热机构，所述流化床反应装置的尾气出口连接第一尾气冷却器，所述第一尾气冷却器连接过滤器；所述过滤器连接低压废锅的壳程进口，所述低压废锅的壳程出口连接原料换热机构，所述低压废锅的管程进口连接第一循环水进管，所述低压废锅的管程出口连接蒸汽管线和第一循环水出管。本实用新型专利技术尾气余热利用率高，降低了颗粒硅生产过程中的能耗，减少了颗粒物的排放，节能环保性强。节能环保性强。节能环保性强。

【技术实现步骤摘要】
一种颗粒硅生产尾气余热利用系统


[0001]本技术属于多晶硅生产
，具体涉及一种颗粒硅生产尾气余热利用系统。

技术介绍

[0002]多晶硅是硅基太阳能电池和硅基微电子器件的基础材料。目前生产多晶硅的主要方法是改良西门子法和流化床法。与改良西门子法相比，流化床法具有可连续生产、生产能耗低、生产效率高等优点，且产品为粒径在毫米尺度的粒状多晶硅。
[0003]流化床法的工艺流程是，在流化床反应器中，以小粒径颗粒状多晶硅（籽晶）为沉积载体，反应介质为硅烷与氢气，反应温度为500
‑
1200℃。籽晶在反应介质气体中的推动下在流化床内翻滚，硅烷气发生热分解反应或者还原反应生成单质硅，产生的单质硅沉积在颗粒硅籽晶表面。产生的尾气温度较高，如果直接排放会造成热能浪费和环境污染。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种颗粒硅生产尾气余热利用系统，尾气余热利用率高，降低了颗粒硅生产过程中的能耗，减少了颗粒物的排放，节能环保性强。
[0005]本技术提供了如下的技术方案：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种颗粒硅生产尾气余热利用系统，其特征在于，包括流化床反应装置、第一尾气冷却器、过滤器、低压废锅和原料换热机构；所述流化床反应装置的进气口连接原料换热机构，所述流化床反应装置的尾气出口连接第一尾气冷却器，所述第一尾气冷却器连接过滤器；所述过滤器连接低压废锅的壳程进口，所述低压废锅的壳程出口连接原料换热机构，所述低压废锅的管程进口连接第一循环水进管，所述低压废锅的管程出口连接蒸汽管线和第一循环水出管。2.根据权利要求1所述的颗粒硅生产尾气余热利用系统，其特征在于，所述流化床反应装置的尾气出口连接第一尾气冷却器的管程进口，所述第一尾气冷却器的管程出口连接过滤器；所述第一尾气冷却器的壳程进口连接第二循环水进管，壳程出口连接第二循环水出管。3.根据权利要求2所述的颗粒硅生产尾气余热利用系统，其特征在于，所述过滤器的底部设有气体进口和固体出口，所述过滤器的顶部设有气体出口，所述气体进口与第一尾气冷却器的管程出口连接，所述气体出口连接低压废锅的壳程进口，所述固体出口连接有硅粉储罐。4.根据权利要求1所述的颗粒硅生产尾气余热利用系统，其特征在于，所述流化床反应装置分别连接有进料装置和产品收集装置。5.根据权利要求1所述的颗粒硅生产尾气余热利用系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：付绪光，常露露，樊晓冬，李俊南，姜从强，陈其国，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：