振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺制造方法及图纸

本发明专利技术提供微镜，包括基板，微镜与基板键合固定；电容检测机构，所述电容检测机构包括：检测电极，所述检测电极位于基板上；屏蔽电极，所述屏蔽电极位于基板上，且所述屏蔽电极套设于所述检测电极外部；其中，检测电极与屏蔽电极均与基板电性连接。一种封装工艺，包括从晶圆上切割取下微镜；设置与所述微镜的背面通过键合金属层键合固定的基板；在所述基板上，且位于所述微镜的背腔中形成检测电极；在所述基板上，且位于所述微镜的背腔中形成屏蔽电极。本发明专利技术通过检测振膜与检测电极之间的电容，可推定出振膜与检测电极的间距，从而反馈振膜的偏转状态，同时可屏蔽电容检测过程中产生的杂散信号，提高了检测的精度。提高了检测的精度。提高了检测的精度。

【技术实现步骤摘要】
振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺


[0001]本说明书一个或多个实施例涉及微镜检测
，尤其涉及振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺。

技术介绍

[0002]目前，微镜是一类可以有效实现光路调控的微纳芯片，广泛应用于投影、成像、激光导航等领域。目前应用最多的微镜包括静电式、电磁式、压电式以及电热式等几种。目前应用的微镜中大部分都采用电容检测的方式进行微镜角度反馈，缺点是检测电极在检测的过程中会产生大量的杂散信号，进而影响电容检测的精度，从而导致后续的反馈不及时。
[0003]综上所述，本申请现提出振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺解决上述出现的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在解决
技术介绍
中提出的问题，本说明书一个或多个实施例的目的在于提出振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺，消除杂散信号，提高检测精度，为后续的补偿提供了良好的条件。
[0005]基于上述目的，本说明书一个或多个实施例提供了一种基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，包括：基板；电容检测机构，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，其特征在于，包括：基板(5)；电容检测机构(4)，所述电容检测机构(4)包括：检测电极(41)，所述检测电极(41)位于基板(5)上；屏蔽电极(42)，所述屏蔽电极(42)位于基板(5)上，且所述屏蔽电极(42)套设于所述检测电极(41)外部；其中，检测电极(41)与屏蔽电极(42)均与基板(5)电性连接。2.根据权利要求1所述的基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，其特征在于，所述电容检测机构(4)还包括：第一支撑件(43)和第二支撑件(44)，所述第一支撑件(43)与所述第二支撑件(44)均设置在基板(5)上，所述检测电极(41)设置在第二支撑件(44)远离所述基板(5)的一端，所述屏蔽电极(42)设置在第一支撑件(43)远离所述基板(5)的一端。3.根据权利要求2所述的基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，其特征在于，所述第一支撑件(43)与第二支撑件(44)高度相同。4.根据权利要求2或3所述的基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，其特征在于，所述第一支撑件(43)或第二支撑件(44)均为低阻硅柱。5.根据权利要求1所述的基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，其特征在于，所述电容检测机构(4)还包括：金属框(2)，所述金属框(2)套设于所述基板(5)外侧壁，所述金属框(2)与所述基板(5)电连接；金属屏蔽壳(1)，所述金属屏蔽壳(1)具有相对的正面及背面，所述背面开设有容纳腔，所述金属屏蔽壳(1)的背面与金属框(2)固定连接。6.一种微镜，带有权利要求1
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5中任一项所述的基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，其特征在于，所述微镜(3)具有相对的正面和背面，所述背面具有背腔，所述微镜(3)的背面与基板(5)键合，所述检测电极(41)与屏蔽电极(42)均位于所述背腔内部。7.根据权利要求6所述的微镜，其特征在于，所述微镜(3)的背面与基板(5)之间设置有隔离层(7)。8.一种封装工艺，用于形成权利要求6
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7中任一项所述的微镜(3)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：慈伟杰，储清清，
申请(专利权)人：合肥领航微系统集成有限公司，
类型：发明
国别省市：