下载振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺的技术资料

文档序号:37247672

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本发明提供微镜,包括基板,微镜与基板键合固定;电容检测机构,所述电容检测机构包括:检测电极,所述检测电极位于基板上;屏蔽电极,所述屏蔽电极位于基板上,且所述屏蔽电极套设于所述检测电极外部;其中,检测电极与屏蔽电极均与基板电性连接。一种封装工...
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