具有限制特征的边缘耦合器制造技术

本发明专利技术涉及具有限制特征的边缘耦合器，提供包括边缘耦合器的结构以及制造包括边缘耦合器的结构的方法。该结构包括具有第一倒锥的第一波导芯、具有第二倒锥的第二波导芯，以及具有横向设置于该第一倒锥与该第二倒锥间的第三倒锥的第三波导芯。该结构还包括具有经设置以与该第一倒锥重叠的第四倒锥的第四波导芯，以及具有经设置以与该第二倒锥重叠的第五倒锥的第五波导芯。倒锥的第五波导芯。倒锥的第五波导芯。

【技术实现步骤摘要】
具有限制特征的边缘耦合器


[0001]本专利技术涉及光子芯片(photonics chip)，尤其涉及边缘耦合器(edge coupler)的结构以及制造边缘耦合器的结构的方法。

技术介绍

[0002]光子芯片用于许多应用及系统中，包括但不限于数据通信系统及数据计算系统。光子芯片将芯片上(on
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chip)光学组件(例如波导、光检测器、调制器，以及光功率分配器)与芯片上电子组件(例如场效应晶体管)集成于统一的平台中。除其它因素以外，布局面积、成本以及操作开销可通过在同一芯片上集成两种类型的组件来减小。
[0003]边缘耦合器(也称为光斑尺寸转换器)通常用于将来自激光器(laser)的给定模式的光耦合至该光子芯片上的光学组件。该边缘耦合器可包括定义倒锥(inverse taper)的波导芯段(waveguide core section)。在该边缘耦合器构造中，该倒锥的窄端定义邻近该激光器布置的端面，且该倒锥的宽端与另一个波导芯段连接，以将光路由至该光子芯片上的光学组件。
[0004]当从激光器接收光时，倒锥的逐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边缘耦合器的结构，其特征在于，该结构包括：第一波导芯，包括第一倒锥；第二波导芯，包括第二倒锥；第三波导芯，包括横向设置于该第一倒锥与该第二倒锥间的第三倒锥；第四波导芯，包括经设置以与该第一倒锥重叠的第四倒锥；以及第五波导芯，包括经设置以与该第二倒锥重叠的第五倒锥。2.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括：操作衬底，包括定义边缘的腔体；其中，该第四波导芯及该第五波导芯分别包括邻近该腔体的该边缘设置的端部，该第四波导芯的该端部终止该第四倒锥，且该第五波导芯的该端部终止该第五倒锥。3.如权利要求2所述的结构，其特征在于，还包括：激光器，邻近该腔体的该边缘设置于该腔体中。4.如权利要求2所述的结构，其特征在于，该第一波导芯、该第二波导芯、以及该第三波导芯分别包括邻近该腔体的该边缘设置的端部，该第一波导芯的该端部终止该第一倒锥，该第二波导芯的该端部终止该第二倒锥，该第三波导芯的该端部终止该第三倒锥，且终止该第三倒锥的该端部沿远离该腔体的该边缘的方向相对于终止该第一倒锥的该端部以及终止该第二倒锥的该端部纵向偏移。5.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括：第六波导芯，包括横向设置于该第四倒锥与该第五倒锥间的第六倒锥。6.如权利要求5所述的结构，其特征在于，该第六倒锥经设置以与该第三倒锥重叠。7.如权利要求6所述的结构，其特征在于，该第一波导芯、该第二波导芯、以及该第三波导芯包括单晶硅，且该第四波导芯、该第五波导芯、以及该第六波导芯包括氮化硅。8.如权利要求6所述的结构，其特征在于，该第四波导芯、该第五波导芯、以及该第六波导芯分别包括端部，该第四波导芯的该端部终止该第四倒锥，该第五波导芯的该端部终止该第五倒锥，该第六波导芯的该端部终止该第六倒锥，且终止该第六倒锥的该端部相对于终止该第四倒锥的该端部以及终止该第五倒锥的该端部纵向偏移。9.如权利要求7所述的结构，其特征在于，该第一波导芯、该第二波导芯、以及该第三波导芯分别包括端部，该第一波导芯的该端部终止该第一倒锥，该第二波导芯的该端部终止该第二倒锥，该第三波导芯的该端部终止该第三倒锥，且终止该第三倒锥的该端部相对于终止该第一倒锥的该端部以及终止该第二倒锥的该端部纵向偏移。10.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞宇生，
申请(专利权)人：格芯美国集成电路科技有限公司，
类型：发明
国别省市：