一种声子发射接收信号处理器件制造技术

本发明专利技术公开了一种声子发射接收信号处理器件，包括衬底，衬底上设置声子晶体包层，声子晶体包层中部依次设置发射光波导、声子晶体耦合区和接收光波导，其中，声子晶体包层作为支撑结构，发射光波导和接收光波导作为线缺陷，发射光波导激发的声波通过声子晶体耦合区传递到接收光波导；声子晶体包层、发射光波导、声子晶体耦合区和接收光波导均相对于衬底悬空设置，即均与衬底无直接接触。本发明专利技术利用硅波导中的前向布里渊散射效应将加载在光波上的信息通过声子转换在声子域内处理，解决传统集成微波光子滤波器无法同时实现高选择性、大工作带宽和高的功率处理容量的难题。作带宽和高的功率处理容量的难题。作带宽和高的功率处理容量的难题。

【技术实现步骤摘要】
一种声子发射接收信号处理器件


[0001]本专利技术属于微波光子学
，具体涉及一种声子发射接收信号处理器件。

技术介绍

[0002]随着无线通信、雷达、传感等领域的发展，对大带宽、高频的微波信号的处理变得愈发关键。传统的微电子技术已经无法满足这些需求，因此利用光子学的方法处理微波信号即微波光子学这一领域由此诞生。微波光子滤波器是微波光子系统中最重要的组成部分之一，集成微波光子滤波器有利于系统的小型化，主流的实现方法有多抽头延迟线、光学滤波、光机械效应等。
[0003]其中，多抽头延迟线方案需要多路光载波或者多路物理延迟线，系统结构较为复杂，难以实现高形状因子的滤波器；光学滤波和光机械效应的方案依赖于高品质因数的微腔器件，通常还需要级联多个微腔来提高滤波器的选择性，这也增加了系统的控制难度和功耗。同时，微腔的谐振增强特性固有地限制了系统的工作带宽，在低的注入功率下就会发生明显的非线性效应和热效应，进一步限制了功率处理容量。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于，提供一种声子发射接收信号处理器件，利用硅波导中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声子发射接收信号处理器件，其特征在于，包括衬底，衬底上设置声子晶体包层，声子晶体包层中部依次设置发射光波导、声子晶体耦合区和接收光波导，其中，声子晶体包层作为支撑结构，发射光波导和接收光波导作为线缺陷，发射光波导激发的声波通过声子晶体耦合区传递到接收光波导；声子晶体包层、发射光波导、声子晶体耦合区和接收光波导均相对于衬底悬空设置，即均与衬底无直接接触。2.根据权利要求1所述的一种声子发射接收信号处理器件，其特征在于，发射光波导和接收光波导的设置距离要求为，保证发射光波导和接收光波导传输的光波不会发生光耦合。3.根据权利要求1所述的一种声子发射接收信号处理器件，其特征在于，发射光波导和接收光波导均为脊形波导结构。4.根据权利要求3所述的一种声子发射接收信号处理器件，其特征在于，发射光波导和接收光波导的波导宽度均为0.6微米～1.5微米，脊高均为50纳米～120纳米。5.根据权利要求1所述的一种声子发射接收信号处理器件，其特征在于，发射光波导和接收光波导均为...

【专利技术属性】
技术研发人员：王康，王晨晟，龙瀚凌，吴新建，吴文昊，
申请(专利权)人：华中光电技术研究所中国船舶集团有限公司第七一七研究所，
类型：发明
国别省市：