基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质制造方法及图纸

本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质。该方法包括：确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。本申请的方法，提高了工艺参数的确定精度。提高了工艺参数的确定精度。提高了工艺参数的确定精度。

【技术实现步骤摘要】
基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质


[0001]本申请涉及计算机技术，尤其涉及一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质。

技术介绍

[0002]热敏电阻是一种传感器电阻，其电阻值可以随着温度的变化而改变。热敏电阻可以应用在多种
，例如，在红外探测技术中，热敏性红外探测器是重要工具。
[0003]在生产热敏电阻时涉及多种制备的工艺参数，例如，工艺参数可以包括温度、掺杂量、退火时间、沉积温度、气体稀释程度等。工艺参数的不同取值会影响热敏电阻的性能，如何准确确定工艺参数的最优值，从而使热敏电阻性能满足使用要求成为亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质，用以提高工艺参数的确定精度。
[0005]第一方面，本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法，包括：
[0006]确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；
[0007]根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；
[0008]将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。
[0009]第二方面，本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定装置，包括：
[0010]信息确定模块，用于确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；
[0011]目标值确定模块，用于根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；
[0012]存储模块，用于将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。
[0013]第三方面，本申请提供一种电子设备，包括：处理器，以及与所述处理器通信连接的存储器；
[0014]所述存储器存储计算机执行指令；
[0015]所述处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令，以实现如本申请第一方面所
述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。
[0016]第四方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，所述计算机执行指令被处理器执行时用于实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。
[0017]第五方面，本申请提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。
[0018]本申请提供的一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质，通过确定热敏电阻的工艺参数与三种性能参数之间的相关性信息，结合三种性能参数之间的参数值条件，得到工艺参数的最优解，作为目标值。性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，电阻率、电阻温度系数与噪声参数之间有着极强的相关性，综合这三种性能参数进行工艺参数的确定，提高工艺参数的确定精度，并使得在采用工艺参数制备热敏电阻时能同时满足这三种性能参数的使用要求，保证热敏电阻的使用效果。
附图说明
[0019]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
[0020]图1为本申请实施例提供的一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法的流程示意图；
[0021]图2为本申请实施例提供的一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法的流程示意图；
[0022]图3为本申请实施例提供的一种基于热敏电阻的工艺参数确定装置的结构框图；
[0023]图4为本申请实施例提供的一种基于热敏电阻的工艺参数确定装置的结构框图；
[0024]图5为本申请实施例提供的一种电子设备的结构框图；
[0025]图6为本申请实施例提供的一种电子设备的结构框图。
[0026]通过上述附图，已示出本申请明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本申请构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本申请的概念。
具体实施方式
[0027]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施例方式作进一步地详细描述。
[0028]应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0029]下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0030]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区别类
似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。此外，在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0031]需要注意的是，由于篇幅所限，本申请说明书没有穷举所有可选的实施方式，本领域技术人员在阅读本申请说明书后，应该能够想到，只要技术特征不互相矛盾，那么技术特征的任意组合均可以构成可选的实施方式。下面对各实施例进行详细说明。
[0032]热敏电阻是一种传感器电阻，可以应用在多种
，例如，热敏性红外探测器是红外探测技术中的核心组成部分。
[0033]在生产热敏电阻时涉及多种制备的工艺参数，例如，工艺参数可以包括温度、掺杂量、退火时间、沉积温度、气体稀释程度等。工艺参数的不同取值会影响热敏电阻的性能参数，各性能参数之间又会相互影响，从而导致热敏电阻的使用效果不稳定。因此，需要确定一个最优的工艺参数的数值才制备热敏电阻。
[0034]本申请提供的一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质，旨在解决现有技术的如上技术问题。
[0035]下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法，其特征在于，包括：确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息，包括：在预设的工艺参数取值范围内对所述工艺参数进行取值，得到所述工艺参数的参数值，为第一参数值；根据所述第一参数值，得到热敏电阻的性能参数的参数值，为第二参数值；根据所述第一参数值和所述第二参数值，得到所述工艺参数与每一性能参数之间的函数关系，为相关性信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述第一参数值，得到热敏电阻的性能参数的参数值，为第二参数值，包括：根据预设的热敏电阻的参数测试模型，确定在所述工艺参数为第一参数值时，所述性能参数的参数值，为第二参数值。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述第一参数值和所述第二参数值，得到所述工艺参数与每一性能参数之间的函数关系，包括：根据预设的拟合算法，对所述第一参数值和所述第二参数值进行拟合，得到所述工艺参数与性能参数之间的函数关系。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值，包括：根据预设的性能参数之间的参数值条件，确定各性能参数的取值范围；根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，确定在各性能参数的取值范围下的所述工艺参数的数值，为所述工艺参数的目标值。6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设的性能参数之间的参数值条件为预设的性能参数优值函数，所述性能参数优值函数用于表示在所述性能参数优值函数的函数值为极值时，所对应的性能参数的数值为最优值；根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数5值条件，确定所述工艺参数的目标值，包括：根据所述工艺参数与...

【专利技术属性】
技术研发人员：宁坤奇，钟晓兰，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：