一种水环泵吸气口防堵装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅单晶设备技术领域，具体为一种水环泵吸气口防堵装置，包括水环泵，靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气；吸气管，吸气管的一端与水环泵的一端吸气口连接；水管，水管的一端通过进水头与吸气管的顶端连接，用于对吸气口进行冲洗，进水头上设有水阀。该水环泵吸气口防堵装置中，通过水管能够实时地对吸气管内部进行冲洗，当水环真空泵吸力明显下降时，打开水阀(慢速)，对吸气口进行冲洗1

【技术实现步骤摘要】
一种水环泵吸气口防堵装置


[0001]本技术涉及硅单晶设备
，具体地说，涉及一种水环泵吸气口防堵装置。

技术介绍

[0002]直拉单晶炉在拉制重掺杂硅单晶时，需用到水环真空泵，水环真空泵内装有带固定叶片的偏心转子，是将水(液体)抛向定子壁，水(液体)形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵。公开号为CN105179244A公开号一种水环真空泵，包括泵体、叶轮、泵轴、前盖、后盖、前分配板、后分配板、前轴承体以及后轴承体；泵轴装设于泵体内，叶轮装设于泵轴上，前盖和后盖分别盖设于泵体的前后侧；前分配板安装于泵体的前侧，后分配板安装于泵体的后侧，前分配板和后分配板的结构相同，其一侧具有进气孔，另一侧具有排气孔；前轴承体内部设有前柱子轴承，后轴承体内部设有后柱子轴承和向心轴承，后柱子轴承和向心轴承均安装于泵轴上；前柱子轴承的外侧设有前离心盘，后柱子轴承的外侧设有后离心盘，前离心盘和后离心盘均安装于泵轴的端部。所述水环真空泵具有降低能耗、节约成本等有益效果。
[0003]上述中的方案具有降低能耗、节约成本等有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：包括水环泵(1)，靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气；吸气管(3)，所述吸气管(3)的一端与水环泵(1)的一端吸气口连接；水管(5)，所述水管(5)的一端通过进水头(7)与吸气管(3)的顶端连接，用于对吸气口进行冲洗，所述进水头(7)上设有水阀(8)。2.根据权利要求1所述的水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：所述水环泵(1)的一侧外壁设有水箱(2)，所述水箱(2)的顶部设有支架(6)，所述支架(6)的侧壁设有固定圈(61)，所述水管(5)穿过固定圈(61)，且通过锁紧螺栓(611)锁紧固定。3.根据权利要求1所述的水环泵吸气口...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨国梁，黄卫军，高海军，左凯伦，詹国建，姜志宏，赵亮，徐晖，白超，潘金平，
申请(专利权)人：浙江海纳半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：