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本实用新型涉及硅单晶设备技术领域，具体为一种水环泵吸气口防堵装置，包括水环泵，靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气；吸气管，吸气管的一端与水环泵的一端吸气口连接；水管，水管的一端通过进水头与吸气管的顶端连接，用于对吸气口进行冲洗，进水头上...
该专利属于浙江海纳半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江海纳半导体股份有限公司授权不得商用。

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