制造小型化的容积装置的方法制造方法及图纸

技术编号:3723009 阅读:223 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种制造小型化的异构容积装置的方法,所述装置包括集成到支撑基体内的至少一个元件和它的连接。所述基体通过直写式沉积技术形成,该沉积技术包括选择性地沉积连续的流体形式的材料层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及微技术元件的组装领域。它尤其涉及一种,该装置具有电学功能和/或光学功能和/或流体功能,也就是异构装置(heterogeneous device)。本专利技术还涉及由此而获得的装置。
技术介绍
本专利技术尤其有利地适合于例如文件WO 03/035386中描述的用于化学或生物分析的装置的制造。这种小型化的异构装置被设计为单一或多种用途,例如用于医学诊断或植入人体内。在微
,大多数组装技术的目的是为了在一个或相同的基片上将最大可能数目的元件以最低的成本结合和互连,同时使其最终的整体尺寸最小化。元件的致密化最初是平面内的致密化。当前,它已经逐渐变为空间内的致密化,即元件的堆叠。一个方法包括在最初平的柔性基片上组装所述元件,接下来通过折叠,形成堆叠并获得大致平行六面体形状的模块。另一个方法包括堆叠具有金属化边缘的刚性基片,以在各种层之间获得连接,并接下来将它们层压起来,以形成整体式的组件。然而,这些技术受到导电轨道的最小宽度(当前大约为100微米)的限制,这成为将装置进一步致密化的障碍。此外,基片的生产和元件的组装构成两个独立的操作,在供给和后勤(logistics)方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造小型化的异构容积装置的方法,所述装置包括集成到支撑基体(30,34,36)内的至少一个元件(19,20)和它的连接(10,11,12,13,14,15,16,17,21,22,23,24,25,26),其特征在于,所述基体(30,34,36)通过直写式沉积技术形成,该沉积技术包括选择性地沉积连续的流体形式的材料层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:M罗沙L勒迈尔
申请(专利权)人:沃尔特罗尼克技术瑞士股份有限公司
类型:发明
国别省市:CH[]

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