【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料自动旋转升降搓洗装置
[0001]本技术涉及半导体材料生产加工
,具体是一种半导体材料自动旋转升降搓洗装置。
技术介绍
[0002]半导体材料在生产加工过程中需要对其表面进行清理,现有技术中半导体材料采用的清理方式通常是通过人工使用刷子对半导体材料表面进行清理,这种清理方式人工投入成本大,清理效率低,质量差。因此,需要提出一种使用方便,自动化程度高,清理效果好质量高的清洗装置。
技术实现思路
[0003]本技术为了解决上述技术问题,提出一种半导体材料自动旋转升降搓洗装置。该装置采用自动控制清洗结构,具有结构简洁,使用方便,控制灵活,对半导体材料清洗效果好质量高的优点。
[0004]本技术采用如下技术方案:
[0005]一种半导体材料自动旋转升降搓洗装置,设有支架、清洗槽、搓洗刷;其特征在:设有气缸、控制气缸的自控开关,气缸前端设有缸连杆,该缸连杆与设置的四杆机构传动连接,该四杆机构为平行四边形,由四根支杆,首尾相互活动连接构成;所述缸连杆外端与四杆机构中的右侧一支杆驱动连接;所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体材料自动旋转升降搓洗装置,设有支架(5)、清洗槽(2)、搓洗刷(3);其特征在:设有气缸(8)、控制气缸的自控开关,气缸前端设有缸连杆(9),该缸连杆与设置的四杆机构(10)传动连接,该四杆机构为平行四边形,由四根支杆,首尾相互活动连接构成;所述缸连杆外端与四杆机构中的右侧一支杆驱动连接;所述气缸和四杆机构固定在一个连接底板(7)上,在四杆机构内侧设有一个固定轴座(12),该轴座下方设有一根导轨旋转杆(6),该导轨旋转杆上端置入所述固定轴座内;所述四杆机构中间的一个下连接轴能转动地固定在连接底板上,四杆机构中间的一个上连接轴也能转动地固定在所述固定轴座上;在固定轴座下方与连接底板之间设有套在导轨旋转杆上的压簧(11);在连接底板的左端外侧设有减速动力控制器(13),该减速动力控制器与四杆机构的外端轴传动连接;在所述导轨旋转杆的上部所述支架的上横杆上,设有控制该导轨旋转杆转动的旋转传动机构(14),该旋转传动机构由所述减速动力控制器传动连接;导轨旋转杆的下端设有搓洗刷,搓洗刷位于清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁大飞,王云飞,魏守冲,
申请(专利权)人:磐石创新江苏电子装备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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