能够抑制横向模式的声表面波谐振器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种能够抑制横向模式的声表面波谐振器，包括：压电基板、叉指电极以及一个或多个凸块；所述叉指电极设置于所述压电基板上，所述凸块设置于所述叉指电极的假指上，所述凸块的质量密度大于所述假指。在叉指电极的假指上设置至少一个高质量密度的金属凸块，金属凸块的质量密度大于假指，凸块与凸块之间设置了一定的间距。通过改变金属凸块尺寸、凸块间间距调节假指区域的声阻抗和声速，从而抑制谐振器的寄生杂散模式。从而抑制谐振器的寄生杂散模式。从而抑制谐振器的寄生杂散模式。

【技术实现步骤摘要】
能够抑制横向模式的声表面波谐振器


[0001]本技术涉及电子元器件领域，具体地，涉及一种能够抑制横向模式的声表面波谐振器。

技术介绍

[0002]声表面波谐振器(surface
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acoustic
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wave)的主要作用原理是利用压电材料的压电特性，利用输入与输出换能器(Transducer)将电波的输入讯号转换成机械能，经过处理后，再把机械能转换成电的讯号，以达到过滤不必要的讯号及杂讯，提升收讯品质的目标。被广泛应用在各种无线通讯系统、电视机、录放影机及全球卫星定位系统接收器上。
[0003]如图1、图2所示，现有技术中，声表面波谐振器采用Piston结构，既在指条激励区末端进行加宽或加厚，以形成低声速区，抑制声场向汇流条区域的辐射。但为了有效抑制横向模式，Piston结构有时会需要在孔径方向具有比较长的尺寸，这样，Piston区域在激励区区域就会激发低声速的杂散模式，造成谐振峰的劈裂，影响最终产品性能。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种能够抑制横向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能够抑制横向模式的声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电基板(110)、叉指电极以及一个或多个凸块(141)；所述叉指电极设置于所述压电基板(110)上，所述凸块(141)设置于所述叉指电极的假指(140)上，所述凸块(141)的质量密度大于所述假指(140)。2.根据权利要求1所述的能够抑制横向模式的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指电极包括：汇流条(120)、电极指(130)和所述假指(140)；所述电极指(130)和所述假指(140)一一对应连接在两个汇流条(120)之间，相互对应的所述电极指(130)和所述假指(140)之间具有间隙区域。3.根据权利要求1所述的能够抑制横向模式的声表面波谐振器，其特征在于，所述凸块(141)的厚度为所述叉指电极的厚度的0.5
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1.5...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建敏，高安明，姜伟，
申请(专利权)人：浙江星曜半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：