一种组合型MEMS压力传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了应用于传感器领域的一种组合型MEMS压力传感器，该传感器包括：机壳、受力机构、阻挡模块和监测模块，通过设置延伸挡片不同的外径尺寸，从而控制延伸挡片与挡块的接触面积，从而产生不同的阻力控制，以控制传感器的各个监测阈值；通过复位机构可调节挡块与延伸挡片的相互位置，从而切换挡块的作用模式，以进行自动复位；通过设置监测模块进行接收阻挡模块与受力机构不同连接关系信息，同时进行生成和输出反馈信号；本传感器可根据按压力度进行输出不同的监测信号和调节档位，通过将挡块与延伸挡片设置为弹性结构，可提供适当的阻力的同时也提升了本传感器的抗冲击性。当的阻力的同时也提升了本传感器的抗冲击性。当的阻力的同时也提升了本传感器的抗冲击性。

【技术实现步骤摘要】
一种组合型MEMS压力传感器


[0001]本技术涉及传感器领域，尤其涉及一种组合型MEMS压力传感器。

技术介绍

[0002]MEMS是Micro
‑
Electro
‑
MechanicalSystem的缩写，中文名称是微机电系统。MEMS芯片简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号。而在人工智能、自动驾驶、惯性导航以及物联网的进一步发展之下，信号检测显得尤为重要，而与信号检测息息相关的传感器技术也得到了迅速发展。特别是物联网的发展，使得传感器产品需求大幅度增加。经过本团队的海量检索，了解到现有的MEMS压力传感器主要采用压变电阻或者如薄膜式传感器，由于结构和材料特性的原因，这些传感器对冲击性的压力监测的灵敏度和抗作用力的效果较差，导致这类型的压力传感器使用寿命较差，所以需要开发一种耐冲击且压力传感器。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于，针对在所存在的不足，提出了一种组合型MEMS压力传感器。
[0004]为了克服现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种组合型MEMS压力传感器，其特征在于，包括：机壳；受力机构，设置在机壳上，用于接收外部施加的作用力，然后将作用力传递至阻挡模块；阻挡模块，设置在机壳内，用于向受力机构提供阻力；监测模块，设置在机壳内，用于根据受力机构与阻挡模块的状态生成反馈信号；所述机壳包括第一安装室、第二安装室、第一开口，所述第一开口设置在第一安装室远离第二安装室的一侧；所述第一安装室上设置有中板，所述中板的中心设置有第二开口，所述中板与第一安装室之间设置有间隙；所述阻挡模块包括阻挡机构和复位机构，所述阻挡机构被构造成对受力机构提供阻力，所述复位机构用于调整阻挡机构的位置；所述复位机构包括微型马达和转板，所述微型马达固定设置在第二安装室内，所述转板设置在第一安装室且与所述微型马达的主轴连接。2.如权利要求1所述的一种组合型MEMS压力传感器，其特征在于，所述阻挡机构包括竖延伸板和挡块，所述竖延伸板设置在转板上且通过所述间隙向第一开口方向延伸，所述挡块设置在竖延伸板的内侧。3.如权利要求1所述的一种组合型MEMS压力传感器，其特征在于，所述受力机构包括按压杆和延伸挡片，所述按压杆滑动设置在第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏贤冲，颜天宝，
申请(专利权)人：佛山市川东磁电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：