下载一种组合型MEMS压力传感器的技术资料

文档序号:37225079

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本实用新型提供了应用于传感器领域的一种组合型MEMS压力传感器,该传感器包括:机壳、受力机构、阻挡模块和监测模块,通过设置延伸挡片不同的外径尺寸,从而控制延伸挡片与挡块的接触面积,从而产生不同的阻力控制,以控制传感器的各个监测阈值;通过复位...
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