一种芯片多角度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片多角度检测装置包括：基础座；检测台，安装在所述基础座上；夹持台，与所述检测台连接，且位于所述检测台检测区域；所述夹持台包括：检测固定架，与检测台连接；气缸组，共设计四组，每组包括：检测夹持气缸，安装在检测固定架上，其输出端设有夹持伸缩杆，用于带动检测旋转气缸移动，夹住芯片；检测旋转气缸，安装在夹持伸缩杆上，其输出端设置夹持转动杆。通过设计气缸组完成对芯片的夹持与翻转，通过相对的两组气缸组夹持芯片并带动芯片旋转一周，再由另外两组气缸组夹持芯片，并带动芯片旋转一周，进而完成对芯片两面及边部的全面检测工作，避免芯片出现位置漏检现象，进而避免检测结果出现误差。进而避免检测结果出现误差。进而避免检测结果出现误差。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片多角度检测装置


[0001]本技术涉检测领域，具体是一种芯片多角度检测装置。

技术介绍

[0002]晶片/芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。
[0003]而现在芯片检测一般分为外部损坏检测和内部通路导通性检测；
[0004]现有的外部损坏检测，一般通过夹持件对芯片夹持或者将芯片放置在检测台上，通过视觉传感器检测芯片是否具有损坏特征，而不管是夹持件夹持芯片时，夹持部位受到遮挡，无法检测，而将芯片放置在检测台上时，芯片边部及与检测台接触面无法检测，进而造成检测位置确实，出现检测结果有误现象。

技术实现思路

[0005]技术目的：提供一种芯片多角度检测装置，以解决现有技术存在的上述问题。
[0006]技术方案：一种芯片多角度检测装置，包括：
[0007]基础座；
[0008]检测台，安装在所述基础座上；
[0009]夹持台，与所述检测台连接，且位于所述检测台检测区域；
[0010]所述夹持台包括：
[0011]检测固定架，与检测台连接；
[0012]气缸组，共设计四组，每组包括：
[0013]检测夹持气缸，安装在检测固定架上，其输出端设有夹持伸缩杆，用于带动检测旋转气缸移动，夹住芯片；
[0014]检测旋转气缸，安装在夹持伸缩杆上，其输出端设置夹持转动杆，用于带动芯片转动。
[0015]通过设计气缸组完成对芯片的夹持与翻转，通过相对的两组气缸组夹持芯片并带动芯片旋转一周，再由另外两组气缸组夹持芯片，并带动芯片旋转一周，进而完成对芯片两面及边部的全面检测工作，避免芯片出现位置漏检现象，进而避免检测结果出现误差，残次品流出市场。
[0016]在进一步实施例中，所述检测台包括安装在所述基础座上的检测架，安装在所述检测架上的视觉传感器，以及设置在所述视觉传感器下方且与所述基础架连接的补光灯。
[0017]通过设计补光灯进行对芯片打光，使得视觉传感器的检测效果更为精准。
[0018]在进一步实施例中，所述检测固定架与检测架固定连接。
[0019]在进一步实施例中，所述基础座上还安装有运料部；
[0020]所述运料部包括：
[0021]移动机构，安装在所述基础座上，用于带动吸取机构往复运动；
[0022]吸取机构，与所述移动机构连接，用于吸取芯片，并将芯片移动至预定位置。
[0023]在进一步实施例中，所述移动机构包括安装在所述基础座上的移动架，安装在所述移动架端部的移动电机，设置在所述移动电机输出端的移动输出轴，与所述移动输出轴连接且插接于所述移动架的移动丝杆，以及套接于所述移动丝杆且与移动架适配的移动滑块；
[0024]所述移动滑块上开有槽口与移动架卡接。
[0025]通过设计移动机构带动吸取机构完成往复运动，进而完成上下料芯片的工作。
[0026]在进一步实施例中，所述吸取机构包括与移动滑块固定连接的吸取柱，与所述吸取柱固定连接的吸取旋转气缸，与吸取旋转气缸连接的吸取升降气缸，设置在吸取升降气缸输出端的吸取升降轴，以及与所述吸取升降轴连接的吸盘；
[0027]所述吸取旋转气缸的输出端设有吸取旋转轴，所述吸取旋转轴与吸取柱连接。
[0028]有益效果：本技术公开了一种芯片多角度检测装置，本技术通过设计气缸组完成对芯片的夹持与翻转，通过相对的两组气缸组夹持芯片并带动芯片旋转一周，再由另外两组气缸组夹持芯片，并带动芯片旋转一周，进而完成对芯片两面及边部的全面检测工作，避免芯片出现位置漏检现象，进而避免检测结果出现误差，残次品流出市场。
附图说明
[0029]图1是本技术的结构示意图。
[0030]图2是本技术的检测台示意图。
[0031]图3是本技术的夹持台示意图。
[0032]图4是本技术的移动机构示意图。
[0033]图5是本技术的吸取机构示意图。
[0034]附图标记为：
[0035]1、基础座；
[0036]2、移动机构；21、移动架；22、移动电机；23、移动丝杆；24、移动滑块；
[0037]3、吸取机构；31、吸取柱；32、吸取旋转气缸；33、吸取升降气缸；34、吸盘；
[0038]4、检测台；41、检测架；42、视觉传感器；43、补光灯；
[0039]5、夹持台；51、检测固定架；52、检测夹持气缸；53、检测旋转气缸。
具体实施方式
[0040]本申请涉及一种芯片多角度检测装置，下面通过具体实施方式进行详细解释。
[0041]一种芯片多角度检测装置，包括：
[0042]基础座1；所述基础座1上还设有放置位、卸出位和损坏位；
[0043]所述放置位用于放置未检测芯片；
[0044]所述卸出位用于放置检测后未损坏芯片；
[0045]所述损坏位用于放置检测后损坏芯片；
[0046]检测台4，安装在所述基础座1上；
[0047]夹持台5，与所述检测台4连接，且位于所述检测台4检测区域；
[0048]所述夹持台5包括：
[0049]检测固定架51，与检测台4连接；
[0050]气缸组，共设计四组，每组包括：
[0051]检测夹持气缸52，安装在检测固定架51上，其输出端设有夹持伸缩杆，用于带动检测旋转气缸53移动，夹住芯片；
[0052]检测旋转气缸53，安装在夹持伸缩杆上，其输出端设置夹持转动杆，用于带动芯片转动。
[0053]通过设计气缸组完成对芯片的夹持与翻转，通过相对的两组气缸组夹持芯片并带动芯片旋转一周，再由另外两组气缸组夹持芯片，并带动芯片旋转一周，进而完成对芯片两面及边部的全面检测工作，避免芯片出现位置漏检现象，进而避免检测结果出现误差，残次品流出市场。
[0054]所述检测台4包括安装在所述基础座1上的检测架41，安装在所述检测架41上的视觉传感器42，以及设置在所述视觉传感器42下方且与所述基础架连接的补光灯43。
[0055]通过设计补光灯43进行对芯片打光，使得视觉传感器42的检测效果更为精准。
[0056]所述检测固定架51与检测架41固定连接。
[0057]所述基础座1上还安装有运料部；
[0058]所述运料部包括：
[0059]移动机构2，安装在所述基础座1上，用于带动吸取机构3往复运动；
[0060]吸取机构3，与所述移动机构2连接，用于吸取芯片，并将芯片移动至预定位置。
[0061]所述移动机构2包括安装在所述基础座1上的移动架21，安装在所述移动架21端部的移动电机22，设置在所述移动电机22输出端的移动输出轴，与所述移动输出轴连接且插接于所述移动架21的移动丝杆23，以及套接于所述移动丝杆23且与移动架21适配的移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片多角度检测装置，包括：基础座(1)；检测台(4)，安装在所述基础座(1)上；夹持台(5)，与所述检测台(4)连接，且位于所述检测台(4)检测区域；其特征在于，所述夹持台(5)包括：检测固定架(51)，与检测台(4)连接；气缸组，共设计四组，每组包括：检测夹持气缸(52)，安装在检测固定架(51)上，其输出端设有夹持伸缩杆，用于带动检测旋转气缸(53)移动，夹住芯片；检测旋转气缸(53)，安装在夹持伸缩杆上，其输出端设置夹持转动杆，用于带动芯片转动。2.根据权利要求1所述的一种芯片多角度检测装置，其特征是：所述检测台(4)包括安装在所述基础座(1)上的检测架(41)，安装在所述检测架(41)上的视觉传感器(42)，以及设置在所述视觉传感器(42)下方且与所述检测架(41)连接的补光灯(43)。3.根据权利要求2所述的一种芯片多角度检测装置，其特征是：所述检测固定架(51)与检测架(41)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种芯片多角度检测装置，其特征是：所述基础座(1)上还安装有运料部；所述运料部包括：移动机构(2)，安装在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘锡淮，
申请(专利权)人：无锡泽芯微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：