夹具装置及成像装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可相对于载置台装卸、且对于产生弯曲的较厚工件仍能够可靠地将其固定在该载置台上的夹具装置以及具备该夹具装置的成像装置。夹具装置（３０）具备：基体（３２），其载置板状的工件（１００），且可装卸地安装在载置台（２０）上；夹具部（３４），其设置在基体（３２）上，且夹紧工件（１００）的边缘端部（１００Ａ）；其中，在基体（３２）上穿透设置有使该基体（３２）上面侧与载置台（２０）侧之间连通的多个连通孔（３２Ａ）。并且，形成具备该夹具装置（３０）的成像装置（１０）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及夹住在载置台上载置的印刷线路基板等工件的夹具装置， 尤其涉及利用基于图像信息所调制的光束对该被夹住的印刷线路板等工 件的绘图区域进行曝光、从而形成图像的成像装置。
技术介绍
以往，例如作为在印刷线路基板(以下也称为"基板"或"基板材料") 等上形成布线图案的成像装置的激光曝光装置为人所知。在该激光曝光装 置中具备载置(装载)作为图像曝光对象的印刷线路基板的载置台部件， 并使该载置台部件沿规定的输送路径移动。具体进行说明，首先，通过从在载置台部件上设有的多个(数个)孔 部吸引空气，从而以吸附在该载置台部件上的状态定位载置印刷线路基 板。在载置台部件上定位载置，被吸附，保持的载置台部件以规定的速度向副扫描方向移动，在规定的测定位置，通过CCD摄像机对在该印刷线 路基板上设置的对位孔(以下称为对准标识)进行摄像。并且，对照由该 摄像得到的印刷线路基板的位置，通过对绘图坐标系中的绘图对象区域进 行坐标变换，执行对于图像信息的对准处理。执行对准处理后，载置台部件上的印刷线路基板在规定的曝光位置利 用基于图像信息调制且通过多角镜向主扫描方向偏转的激光光束扫描并 曝光处理在其上面形成的感光性涂膜。由此，在印刷线路基板上的规定区 域(绘图区域)，形成基于图像信息(与布线图案对应)的图像(潜像)。然后，在载置台部件复位移动到初始位置后，从载置台部件中取出(卸 载)形成了图像(潜像)的印刷线路基板，并将取出了印刷线路基板的载 置台部件移动到曝光下一个印刷线路基板的工序(例如参照专利文献1)。专利文献1:日本专利文献特开2000—338432号公报。
技术实现思路
但是，在印刷线路基板的厚度在如1.5mm以下比较薄的情况下，虽然 能够利用空气的吸引力充分地将该基板吸附*保持在载置台部件上，但在 例如3.0mm以上比较厚的情况下，因为基板自身产生弯曲，所以仅由空气 的吸引力存在难以充分地将该基板吸附，保持(固定)在载置台部件上的 不利情况。因此，需要能够辅助性地夹住基板的夹具装置，但印刷线路基板如上 所述因为厚度不同，所以不需要夹具装置总是安装在载置台部件上，反而 希望夹具装置对于载置台部件可装卸。因此，本专利技术的目的在于提供一种对于载置台可装卸、且即使是具有 产生弯曲的厚度的工件(处理对象物)仍能够可靠地固定在该载置台上的 夹具装置及具备该夹具装置的成像装置。本专利技术的第一方式的夹具装置的特征在于，具备基体，其载置板状 的工件，并可装卸地安装在载置台上；和夹具部，其设置在所述基体上， 并夹紧所述工件的边缘端部；其中，在所述基体上穿透设置有使该基体上 面侧与所述载置台侧之间连通的多个连通孔。并且，本专利技术的第二方式的夹具装置的特征在于，在本专利技术的第一方 式的夹具装置中，所述连通孔的至少一部分与在所述载置台上设置的多个 吸附孔的至少一部分的配置相同。根据本专利技术的第一、第二方式，因为设有夹具部的基体可相对于载置 台装卸，所以能够相对于载置台可装卸夹具部，并且，因为在载置工件的 基体上穿透设置有多个与载置台的吸附孔连通的连通孔，所以即使是产生 弯曲的较厚的工件仍能够经由基体可靠地固定在载置台上。此外，因为不 需在载置台上进行工件的夹紧操作(在基体上进行工件的夹紧操作即可)， 所以能够容易地进行夹紧操作。此外，本专利技术的第三方式的夹具装置的特征在于，在本专利技术第一或第 二方式的夹具装置中，所述夹具部具有相对于所述基体的一个边各自设置 多个的夹具部件。根据本专利技术的第三方式，即使变更工件的尺寸，仍能够柔性应对。此外，本专利技术的第四方式的夹具装置的特征在于，在本专利技术的第一方 式至第三方式中的任一种方式的夹具装置中，所述夹具部具有引导部， 其设置在所述基体上，并形成有防脱部；夹具部件，其穿透设置有所述引 导部游嵌的安装孔，并形成有与所述边缘端部抵接的抵接部；卡止部件， 其设置在所述夹具部件上，并与所述防脱部卡合，使该夹具部件不能从所 述引导部脱落；支承部，其不可脱落地插通于在所述夹具部件的与所述抵 接部相反侧的基部上穿透设置的贯通孔中；推压部件，其插嵌在所述支承 部上，并向下方推压该支承部；以及设置在所述基体上并支承所述支承部 的支承部。并且，本专利技术的第五方式的夹具装置的特征在于，在本专利技术的第一方 式至第三方式中的任一种方式的夹具装置中，所述夹具部具有支柱，其 设置在所述基体上，并在头部形成有突缘；夹具部件，其穿透设置有所述 支柱游嵌的安装孔，并形成有从上方与所述边缘端部抵接的爪部；卡止板， 其可滑动地设置在所述夹具部件的上表面上，并与所述突缘卡合，使该夹 具部件不能从所述支柱脱落；支承杆，其不可脱落地插通于在所述夹具部 件的与所述爪部相反侧的基部上穿透设置的贯通孔中；螺旋弹簧，其插嵌 在所述支承杆上，并向下方推压该支承杆；以及支承部，其设置在所述基 体上，并支承所述支承杆的下端部。根据本专利技术的第四或第五方式，对于基体，能够容易地安装夹具部件。 此外，通过从下向上顶夹具部件的基部，设置在基部相反侧的抵接部(爪 部)夹住(按压)工件，由此能够实现夹具部的薄型化。此外，本专利技术的第六方式的成像装置的特征在于，具有输送机构， 其沿着规定的输送路径输送安装有本专利技术第一至第五方式中任一项所述 的夹具装置中的基体的载置台；测定部，其检测由所述输送机构输送的载 置台上的工件的对准标识；以及绘图部，其对基于所述测定部的检测结果 对准后的工件进行成像。并且，本专利技术的第七方式的成像装置的特征在于，具有输送机构， 其沿规定的输送路径输送安装有本专利技术的第一方式至第五方式中的任一 种方式的夹具装置的基体的载置台；测定部，其检测由所述输送机构输送 的载置台上的工件的对准；曝光部，其利用基于图像信息所调制的光束来对基于所述测定部的检测结果对准后的工件的绘图区域进行曝光，并在该 绘图区域形成图像。根据本专利技术的第六或第七方式，即使是生成弯曲的较厚工件，仍能够 可靠地固定在载置台上。从而能够在该工件上适当地形成图像。专利技术效果如上所述，根据本专利技术能够提供对于载置台可装卸，且即使是产生弯 曲的较厚工件仍能够可靠地固定在该载置台上的夹具装置以及具备该夹 具装置的成像装置。附图说明图1是示出激光曝光装置的简要立体图。 图2是示出夹具装置的简要俯视图。图3是示出设置在基体部件上的滑动部件和夹具部件的简要立体图。 图4是示出设置在基体部件上的滑动部件的简要俯视图。 图5 (A)是示出夹具部件的卡止板滑动前的简要俯视图。 图5 (B)是示出夹具部件的卡止板滑动后的简要俯视图。 图6 (A)是示出定位部的结构的简要立体图。 图6 (B)是示出定位部的结构的简要立体图。 图7 (A)是说明利用定位部的定位方法的简要俯视图。 图7 (B)是说明利用定位部的定位方法的简要俯视图。 图7 (C)是说明利用定位部的定位方法的简要俯视图。 图7 (D)是说明利用定位部的定位方法的简要俯视图。 图8 (A)是示出由可动型的夹具部夹紧厚度不同的基板材料后的情 形的简要侧视图。图8 (B)是示出由可动型的夹具部夹紧厚度不同的基板材料后的情 形的简要侧视图。图8 (C)是示出由可动型的夹具部夹紧厚度不同的基板材料后的情 形的简要侧视图。图9 (A)是示出由固定型的夹具部夹紧厚度不同的基板材料后的情 形的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹具装置，其特征在于，具有：基体，其载置板状的工件，并可装卸地安装在载置台上；和夹具部，其设置在所述基体上，并夹紧所述工件的边缘端部；其中，在所述基体上穿透设置有使该基体上面侧与所述载置台侧之间连通的多个连通孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥口昭浩，福井隆史，寺田和广，须藤浩树，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]