夹具装置及成像装置制造方法及图纸

技术编号:3722371 阅读:124 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种可相对于载置台装卸、且对于产生弯曲的较厚工件仍能够可靠地将其固定在该载置台上的夹具装置以及具备该夹具装置的成像装置。夹具装置(30)具备:基体(32),其载置板状的工件(100),且可装卸地安装在载置台(20)上;夹具部(34),其设置在基体(32)上,且夹紧工件(100)的边缘端部(100A);其中,在基体(32)上穿透设置有使该基体(32)上面侧与载置台(20)侧之间连通的多个连通孔(32A)。并且,形成具备该夹具装置(30)的成像装置(10)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及夹住在载置台上载置的印刷线路基板等工件的夹具装置, 尤其涉及利用基于图像信息所调制的光束对该被夹住的印刷线路板等工 件的绘图区域进行曝光、从而形成图像的成像装置。
技术介绍
以往,例如作为在印刷线路基板(以下也称为"基板"或"基板材料") 等上形成布线图案的成像装置的激光曝光装置为人所知。在该激光曝光装 置中具备载置(装载)作为图像曝光对象的印刷线路基板的载置台部件, 并使该载置台部件沿规定的输送路径移动。具体进行说明,首先,通过从在载置台部件上设有的多个(数个)孔 部吸引空气,从而以吸附在该载置台部件上的状态定位载置印刷线路基 板。在载置台部件上定位载置,被吸附,保持的载置台部件以规定的速度向副扫描方向移动,在规定的测定位置,通过CCD摄像机对在该印刷线 路基板上设置的对位孔(以下称为对准标识)进行摄像。并且,对照由该 摄像得到的印刷线路基板的位置,通过对绘图坐标系中的绘图对象区域进 行坐标变换,执行对于图像信息的对准处理。执行对准处理后,载置台部件上的印刷线路基板在规定的曝光位置利 用基于图像信息调制且通过多角镜向主扫描方向偏转的激光光束扫描并 曝光处理在其上面形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹具装置,其特征在于,具有:基体,其载置板状的工件,并可装卸地安装在载置台上;和夹具部,其设置在所述基体上,并夹紧所述工件的边缘端部;其中,在所述基体上穿透设置有使该基体上面侧与所述载置台侧之间连通的多个连通孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:桥口昭浩福井隆史寺田和广须藤浩树
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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