一种用于晶粒搬运的视觉机构及其形成的晶粒搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于晶粒搬运的视觉机构，包括：对称且平行设置的两个相机，分别位于两个相机前端的两个镜筒；分别位于镜筒前方的两个45

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶粒搬运的视觉机构及其形成的晶粒搬运装置


[0001]本技术涉及晶粒搬运领域，尤其涉及一种用于晶粒搬运的视觉机构及其形成的晶粒搬运装置。

技术介绍

[0002]晶粒的搬运机构用于将一张蓝膜上面同类型晶粒搬运到另外一张蓝膜上面，当同一张蓝膜上待放置的晶粒较多时，需要将多个晶粒按照设定位置进行规则放置，由于搬动晶粒的机构存在机械运动误差，每次晶粒搬运到同一位置时会产生机械误差，以及晶粒吸附于搬运机构的位置偏移都会造成晶粒重复定位精度不够；蓝膜的运动产生的机械误差也会造成晶粒粘附于蓝膜的位置偏差较大，这些偏差都会影响晶粒搬运的排布精度。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本技术的目的在于提供一种用于晶粒搬运的视觉机构，通过对称且平行设置的相机以及45
°
反光镜实现相机左右两侧两个平行面的视野观测，当晶圆从左侧平面搬运至右侧平面时，视觉机构能够监测左侧吸取晶粒过程和右侧放置晶粒过程，减小晶粒对准误差，提高搬运效率。
[0004]为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种用于晶粒搬运的视觉机构，包括：
[0005]对称且平行设置的两个相机，
[0006]分别位于两个相机前端的两个镜筒；
[0007]分别位于镜筒前方的两个45
°
反光镜，其中所述45
°
反光镜的镜面与所述镜筒的轴心线之间的夹角为45
°
；且所述45
°
反光镜的镜面朝向两个镜筒连线中心的外侧。
[0008]进一步的，还包括固定底座，所述固定底座固定在晶粒搬运设备中，所述固定底座上方设置有对称且平行设置的两个相机。
[0009]进一步的，所述相机和固定底座之间设置有调节模组，所述调节模组包括升降调节组件和前后调节组件。
[0010]进一步的，所述升降调节组件包括升降杆，所述升降杆的一端固定在固定底座中，另一端通过螺纹连接相机，所述升降杆能够带动相机在竖直方向上进行升降运动。
[0011]进一步的，所述前后调节组件包括调节滑轨、固定底板和驱动件，所述固定底板与镜筒固定连接，所述调节滑轨与升降调节组件的顶端固定连接，且所述固定底板位于所述调节滑轨中，所述调节滑轨的延伸方向平行于镜筒的轴心线方向，所述驱动件能够驱动固定底板沿着所述调节滑轨进行前后滑动。
[0012]进一步的，所述驱动件为调节螺母，所述调节螺母位于调节板中，所述调节板固定在调节滑轨的后端侧壁或前端侧壁，所述调节螺母平行于所述镜筒的轴心线。
[0013]进一步的，所述驱动件还包括压缩弹簧，所述压缩弹簧的一端与固定底板的侧壁
抵接，另一端与调节板的侧壁抵接。
[0014]进一步的，连个相机顶部设置有气路控制系统，所述气路控制系统用于带动相机进行移动。
[0015]一种晶粒搬运装置，包括如上所述的用于晶粒搬运的视觉机构。
[0016]本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请中相机、镜筒和45
°
反光镜均是对称设置的，目的在于形成两个相互平行的视野平面，这两个视野平面分别对应晶粒的吸取和放置，具体可以在其中一个视野平面内设置晶粒吸取位，在另外一个视野平面内设置晶粒放置位，通过相机和镜筒的观测，可以确保晶粒被吸取和放置的位置无偏差，进而修正搬运装置的机械误差，确保晶粒能够高效准确地从晶粒吸取位搬运至晶粒放置位，减小晶粒对准误差，提高搬运效率。
附图说明
[0017]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]附图中：
[0020]图1为本申请中视觉机构的前侧结构示意图；
[0021]图2为本申请中视觉机构的后侧结构示意图；
[0022]附图标号：101、固定底座；102、升降调节组件；103、调节滑轨；104、固定底板；105、调节螺母；106、调节板；107、相机；108、镜筒；109、45
°
反光镜；110、气路控制系统；111、第一视野面；112、第二视野面。
具体实施方式
[0023]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的机构或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术
人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本技术实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本技术。在其它情况中，省略对众所周知的系统、机构、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本技术的描述。
[0026]请参阅附图1
‑
2，本申请提供的一种用于晶粒搬运的视觉机构，包括：
[0027]对称且平行设置的两个相机107，
[0028]分别位于两个相机107前端的两个镜筒108；
[0029]分别位于镜筒108前方的两个45
°
反光镜109，其中45
°
反光镜109的镜面与镜筒108的轴心线之间的夹角为45
°
；且45
°
反光镜109的镜面朝向两个镜筒108连线中心的外侧。
[0030]本申请中相机1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶粒搬运的视觉机构，其特征在于，包括：对称且平行设置的两个相机，分别位于两个相机前端的两个镜筒；分别位于镜筒前方的两个45
°
反光镜，其中所述45
°
反光镜的镜面与所述镜筒的轴心线之间的夹角为45
°
；且所述45
°
反光镜的镜面朝向两个镜筒连线中心的外侧。2.根据权利要求1所述的一种用于晶粒搬运的视觉机构，其特征在于，还包括固定底座，所述固定底座固定在晶粒搬运设备中，所述固定底座上方设置有对称且平行设置的两个相机。3.根据权利要求2所述的一种用于晶粒搬运的视觉机构，其特征在于，所述相机和固定底座之间设置有调节模组，所述调节模组包括升降调节组件和前后调节组件。4.根据权利要求3所述的一种用于晶粒搬运的视觉机构，其特征在于，所述升降调节组件包括升降杆，所述升降杆的一端固定在固定底座中，另一端通过螺纹连接相机，所述升降杆能够带动相机在竖直方向上进行升降运动。5.根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴礼，
申请(专利权)人：上海福赛特机器人股份有限公司，
类型：新型
国别省市：