镀膜设备顶升系统和镀膜设备技术方案

本实用新型专利技术属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种镀膜设备顶升系统和镀膜设备。镀膜设备顶升系统包括：升降平台，用于在镀膜设备的工艺腔体内承载加热器；安装支架，设于升降平台的下方；多个顶升组件，分别连接于安装支架相对的两侧，每个顶升组件均包括驱动机构和能够在竖向上进行升降运动的升降机构，每个升降机构的顶部均与升降平台连接；其中，多个驱动机构之间通信连接。通过本实用新型专利技术的技术方案，可以通过多个升降机构实现对升降平台的多点支撑，且每个升降机构均设有驱动机构，便于安装和调平操作，可以有效减少升降机构的高度偏差，以使升降平台能够准确、平稳地进行升降操作，进而提高硅片镀膜操作的均匀性和准确性。进而提高硅片镀膜操作的均匀性和准确性。进而提高硅片镀膜操作的均匀性和准确性。

【技术实现步骤摘要】
镀膜设备顶升系统和镀膜设备


[0001]本技术属于镀膜设备
，具体涉及镀膜设备顶升系统和镀膜设备。

技术介绍

[0002]在光伏
，光伏电池的生产过程中需要对硅片进行镀膜加工，目前主要采用HJT(Heterojunction Technology，异质结电池片技术)与PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法)设备进行镀膜处理。其中，PECVD设备的顶升装置是实现工艺腔加热器、载板和硅片升降的装置，能够调整硅片与喷淋板之间的距离实现硅片镀膜的最佳工艺间距，因而顶升装置对硅片的镀膜质量起着至关重要的作用。
[0003]现有PECVD设备中，顶升装置的设计存在一些缺陷，与升降平台的连接点布置不合理，多采用单点顶升的方式，不利于安装调平操作，容易产生高度偏差，长期使用过程中容易导致偏差堆积影响正常升降操作，甚至可能导致加热器以及载板损坏。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为改善现有技术中所存在的上述问题中的至少一个，本技术提供了镀膜设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备顶升系统，其特征在于，升降平台(11)，用于在镀膜设备的工艺腔体(21)内承载加热器(22)；安装支架(12)，设于所述升降平台(11)的下方；多个顶升组件(13)，分别连接于所述安装支架(12)相对的两侧，每个所述顶升组件(13)均包括驱动机构(131)和能够在竖向上进行升降运动的升降机构(132)，每个所述升降机构(132)的顶部均与所述升降平台(11)连接；其中，多个所述驱动机构(131)之间通信连接。2.根据权利要求1所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述顶升组件(13)还包括：传动机构(133)，沿竖向设置，所述传动机构(133)的输入端与所述驱动机构(131)传动连接；所述升降机构(132)包括直线滑轨(1321)、滑动件(1322)和顶杆(1323)；所述直线滑轨(1321)沿竖向设置，并与所述安装支架(12)的侧壁连接；所述滑动件(1322)与所述直线滑轨(1321)滑动连接，并与所述传动机构(133)相连接；所述顶杆(1323)设于所述滑动件(1322)上，且所述顶杆(1323)的顶部与所述升降平台(11)的底部连接。3.根据权利要求2所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述驱动机构(131)包括传动连接的伺服电机(1311)和减速机(1313)；其中，每个所述伺服电机(1311)均设有伺服控制器，且多个所述伺服电机(1311)的伺服控制器之间通信连接；所述传动机构(133)包括螺纹配合的滚珠丝杠(1331)和丝杠螺母(1332)，所述滚珠丝杠(1331)的底端与所述减速机(1313)传动连接，所述丝杠螺母(1332)与所述滑动件(1322)连接；所述直线滑轨(1321)为滚珠直线滑轨。4.根据权利要求3所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述顶杆(1323)为中空管状结构，且所述顶杆(1323)的顶端设有连接法兰(1324)，所述顶杆(1323)的内部适于设置所述加热器(22)的导线(221)；所述升降平台(11)上与所述顶杆(1323)对应的位置设有安装板(111)，所述安装板(111)上开设有朝向所述升降平台(11)的几何中心延伸的腰形孔(1111)，所述连接法兰(1324)的顶端设有凸台结构(1325)，所述凸台结构(1325)伸入所述腰形孔(1111)中。5.根据权利要求4所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述升降机构(132)还包括：波纹管(1326)，套设于所述顶杆(1323...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁想，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：