镀膜设备顶升系统和镀膜设备技术方案

本实用新型专利技术属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种镀膜设备顶升系统和镀膜设备。镀膜设备顶升系统包括：升降平台，用于在镀膜设备的工艺腔体内承载加热器；安装支架，设于升降平台的下方；多个顶升组件，分别连接于安装支架相对的两侧，每个顶升组件均包括驱动机构和能够在竖向上进行升降运动的升降机构，每个升降机构的顶部均与升降平台连接；其中，多个驱动机构之间通信连接。通过本实用新型专利技术的技术方案，可以通过多个升降机构实现对升降平台的多点支撑，且每个升降机构均设有驱动机构，便于安装和调平操作，可以有效减少升降机构的高度偏差，以使升降平台能够准确、平稳地进行升降操作，进而提高硅片镀膜操作的均匀性和准确性。进而提高硅片镀膜操作的均匀性和准确性。进而提高硅片镀膜操作的均匀性和准确性。

【技术实现步骤摘要】
镀膜设备顶升系统和镀膜设备


[0001]本技术属于镀膜设备
，具体涉及镀膜设备顶升系统和镀膜设备。

技术介绍

[0002]在光伏
，光伏电池的生产过程中需要对硅片进行镀膜加工，目前主要采用HJT(Heterojunction Technology，异质结电池片技术)与PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法)设备进行镀膜处理。其中，PECVD设备的顶升装置是实现工艺腔加热器、载板和硅片升降的装置，能够调整硅片与喷淋板之间的距离实现硅片镀膜的最佳工艺间距，因而顶升装置对硅片的镀膜质量起着至关重要的作用。
[0003]现有PECVD设备中，顶升装置的设计存在一些缺陷，与升降平台的连接点布置不合理，多采用单点顶升的方式，不利于安装调平操作，容易产生高度偏差，长期使用过程中容易导致偏差堆积影响正常升降操作，甚至可能导致加热器以及载板损坏。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为改善现有技术中所存在的上述问题中的至少一个，本技术提供了镀膜设备顶升系统和镀膜设备。
[0005]本技术的第一方面提供一种镀膜设备顶升系统，包括：升降平台，用于在镀膜设备的工艺腔体内承载加热器；安装支架，设于升降平台的下方；多个顶升组件，分别连接于安装支架相对的两侧，每个顶升组件均包括驱动机构和能够在竖向上进行升降运动的升降机构，每个升降机构的顶部均与升降平台连接；其中，多个驱动机构之间通信连接。
[0006]本技术上述技术方案中的有益效果体现在：
[0007]通过对结构进行改进，可以通过多个升降机构实现对升降平台的多点支撑，且每个升降机构均设有驱动机构，驱动机构之间通信连接，便于安装和调平操作，可以有效减少升降机构的高度偏差，以使升降平台能够准确、平稳地进行升降操作，进而提高硅片镀膜操作的均匀性和准确性。
[0008]在一种可行的实现方式中，顶升组件还包括：传动机构，沿竖向设置，传动机构的输入端与驱动机构传动连接；升降机构包括直线滑轨、滑动件和顶杆；直线滑轨沿竖向设置，并与安装支架的侧壁连接；滑动件与直线滑轨滑动连接，并与传动机构相连接；顶杆设于滑动件上，且顶杆的顶部与升降平台的底部连接。
[0009]在一种可行的实现方式中，驱动机构包括传动连接的伺服电机和减速机；其中，每个伺服电机均设有伺服控制器，且多个伺服电机的伺服控制器之间通信连接；传动机构包括螺纹配合的滚珠丝杠和丝杠螺母，滚珠丝杠的底端与减速机传动连接，丝杠螺母与滑动件连接；直线滑轨为滚珠直线滑轨。
[0010]在一种可行的实现方式中，顶杆为中空管状结构，且顶杆的顶端设有连接法兰，顶杆的内部适于设置加热器的导线；升降平台上与顶杆对应的位置设有安装板，安装板上开
设有朝向升降平台的几何中心延伸的腰形孔，连接法兰的顶端设有凸台结构，凸台结构伸入腰形孔中。
[0011]在一种可行的实现方式中，升降机构还包括：波纹管，套设于顶杆的外侧，波纹管的底部与滑动件连接，波纹管的顶部适于与工艺腔体的底部连接。
[0012]在一种可行的实现方式中，顶升组件还包括：第一限位机构，设于与直线滑轨的顶端对应的位置，第一限位机构用于检测滑动件的位置信息，并与伺服控制器通信连接，以向伺服控制器发送滑动件的位置信息；第二限位机构，与滚珠丝杠相连接，第二限位机构用于对滚珠丝杠的转动进行限位。
[0013]在一种可行的实现方式中，第一限位机构包括光电限位开关，光电限位开关朝向设有滑动件的一侧，且光电限位开关的高度可调；第二限位机构包括棘轮机构和电缸，棘轮机构的棘轮套设于滚珠丝杠的顶端，电缸的活塞端与棘轮机构的棘爪相连接，电缸与伺服控制器通信连接，电缸能够根据伺服控制器的控制信号驱动棘爪动作，以与棘轮卡接或解除卡接。
[0014]在一种可行的实现方式中，顶升组件还包括第三限位机构，第三限位机构为柔性缓冲结构，设于直线滑轨的底端；和/或伺服电机内设有抱闸机构。
[0015]本技术的第二方面还提供了一种镀膜设备，包括：工艺腔体，工艺腔体的底部设有多个升降孔；上述任一项中的镀膜设备顶升系统，其中，升降平台设于工艺腔体内，升降机构由对应的升降孔伸入工艺腔体内，并与升降平台相连接；加热器，设于工艺腔体内，并位于升降平台上。
[0016]在一种可行的实现方式中，升降平台的顶面设有多个支撑柱，加热器通过多个支撑柱与升降平台相连接；其中，多个支撑柱在升降平台上均匀设置，且任意相邻的两个支撑柱之间的间距在260mm至320mm的范围内。
附图说明
[0017]图1所示为本技术一个实施例提供的一种镀膜设备顶升系统的主视图。
[0018]图2所示为本技术一个实施例提供的一种镀膜设备的局部剖切状态的主视图。
[0019]图3所示为本技术一个实施例提供的一种镀膜设备顶升系统的左视图。
[0020]图4所示为本技术一个实施例提供的镀膜设备的局部剖切状态的立体示意图。
[0021]图5所示为本技术一个实施例提供的镀膜设备的局部剖切状态的主视图。
[0022]图6所示为本技术一个实施例提供的顶杆的立体示意图。
[0023]图7所示为本技术一个实施例提供的镀膜设备顶升系统的俯视图。
[0024]图8所示为本技术一个实施例提供的镀膜设备顶升系统的仰视图。
[0025]图9所示为本技术一个实施例提供的第二限位机构的示意图。
[0026]图10所示为本技术一个实施例提供的镀膜设备的立体示意图。
具体实施方式
[0027]本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具
体的限定。本申请实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、顶、底
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0028]另外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0029]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备顶升系统，其特征在于，升降平台(11)，用于在镀膜设备的工艺腔体(21)内承载加热器(22)；安装支架(12)，设于所述升降平台(11)的下方；多个顶升组件(13)，分别连接于所述安装支架(12)相对的两侧，每个所述顶升组件(13)均包括驱动机构(131)和能够在竖向上进行升降运动的升降机构(132)，每个所述升降机构(132)的顶部均与所述升降平台(11)连接；其中，多个所述驱动机构(131)之间通信连接。2.根据权利要求1所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述顶升组件(13)还包括：传动机构(133)，沿竖向设置，所述传动机构(133)的输入端与所述驱动机构(131)传动连接；所述升降机构(132)包括直线滑轨(1321)、滑动件(1322)和顶杆(1323)；所述直线滑轨(1321)沿竖向设置，并与所述安装支架(12)的侧壁连接；所述滑动件(1322)与所述直线滑轨(1321)滑动连接，并与所述传动机构(133)相连接；所述顶杆(1323)设于所述滑动件(1322)上，且所述顶杆(1323)的顶部与所述升降平台(11)的底部连接。3.根据权利要求2所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述驱动机构(131)包括传动连接的伺服电机(1311)和减速机(1313)；其中，每个所述伺服电机(1311)均设有伺服控制器，且多个所述伺服电机(1311)的伺服控制器之间通信连接；所述传动机构(133)包括螺纹配合的滚珠丝杠(1331)和丝杠螺母(1332)，所述滚珠丝杠(1331)的底端与所述减速机(1313)传动连接，所述丝杠螺母(1332)与所述滑动件(1322)连接；所述直线滑轨(1321)为滚珠直线滑轨。4.根据权利要求3所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述顶杆(1323)为中空管状结构，且所述顶杆(1323)的顶端设有连接法兰(1324)，所述顶杆(1323)的内部适于设置所述加热器(22)的导线(221)；所述升降平台(11)上与所述顶杆(1323)对应的位置设有安装板(111)，所述安装板(111)上开设有朝向所述升降平台(11)的几何中心延伸的腰形孔(1111)，所述连接法兰(1324)的顶端设有凸台结构(1325)，所述凸台结构(1325)伸入所述腰形孔(1111)中。5.根据权利要求4所述的镀膜设备顶升系统，其特征在于，所述升降机构(132)还包括：波纹管(1326)，套设于所述顶杆(1323...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁想，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：