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镀膜设备顶升系统和镀膜设备技术方案
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文档序号:37211987
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本实用新型属于镀膜设备技术领域,具体涉及一种镀膜设备顶升系统和镀膜设备。镀膜设备顶升系统包括:升降平台,用于在镀膜设备的工艺腔体内承载加热器;安装支架,设于升降平台的下方;多个顶升组件,分别连接于安装支架相对的两侧,每个顶升组件均包括驱动机...
该专利属于三一硅能(株洲)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三一硅能(株洲)有限公司授权不得商用。
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