【技术实现步骤摘要】
电子烟感测组件及电子烟
[0001]本申请涉及感测
,尤其涉及一种电子烟感测组件及电子烟。
技术介绍
[0002]如图1所示,传统的电子烟感测组件的结构一般是在硅基底的基础上形成两层极板(例如分别包括振膜和背极板)以组成平行板电容,然而,采用这样的结构设计会导致电子烟感测组件的膜层结构数量较多,并且相应的制作成本也会较高。
[0003]因此,需要对现有技术进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种电子烟感测组件及电子烟。
[0005]根据本申请的一方面,本申请提供一种电子烟感测组件,包括:
[0006]基底,所述基底的至少部分第一表面为导电层,所述基底构成第一电极,所述基底具有至少一个第一镂空区域,所述至少一个第一镂空区域环绕所述第一电极,以形成背腔;
[0007]绝缘层,所述绝缘层设置于所述基底的第一表面;
[0008]第一支撑部,所述第一支撑部设置于所述绝缘层远离所述基底的一侧,并且所述第一支撑部设置在所述绝缘层的边缘位置;
[0009]可动电极层,所述可动电极层覆盖在所述第一支撑部上方,并且沿所述第一支撑部的边界被固定,使得所述可动电极层的振动敏感区域悬空于所述绝缘层的上方,所述可动电极层的振动敏感区域构成第二电极;
[0010]其中,在所述基底的厚度方向上,所述第一电极以及所述第二电极二者的投影交叠,以构成可变电容。
[0011]进一步地,所述基底的全部为导电层。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子烟感测组件,其特征在于,包括:基底,所述基底的至少部分第一表面为导电层,所述基底构成第一电极,所述基底具有至少一个第一镂空区域,所述至少一个第一镂空区域环绕所述第一电极,以形成背腔;绝缘层,所述绝缘层设置于所述基底的第一表面;第一支撑部,所述第一支撑部设置于所述绝缘层远离所述基底的一侧,并且所述第一支撑部设置在所述绝缘层的边缘位置;可动电极层,所述可动电极层覆盖在所述第一支撑部上方,并且沿所述第一支撑部的边界被固定,使得所述可动电极层的振动敏感区域悬空于所述绝缘层的上方,所述可动电极层的振动敏感区域构成第二电极;其中,在所述基底的厚度方向上,所述第一电极以及所述第二电极二者的投影交叠,以构成可变电容。2.如权利要求1所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述基底的全部为导电层。3.如权利要求1或2所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述基底还包括:第一支持部,至少一个第一横梁,所述至少一个第一横梁将所述第一电极与所述第一支持部固定连接。4.如权利要求3所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述至少一个第一横梁中的至少一个包含导电介质以传输所述第一电极与外部电路之间的电信号。5.如权利要求1所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述可动电极层还包括:至少一个气孔,所述至少一个气孔设置于所述可动电极层的所述振动敏感区域的边缘。6.如权利要求1所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述电子烟感测组件还包括:第一焊盘和第二焊盘;所述第二焊盘设置在可动电极层背离所述第一支撑部的一侧,并且所述第二焊盘与所述第二电极电连接;所述可动电极层上设置有在厚度方向贯穿所述可动电极层、所述第一支撑部以及所述绝缘层的第一开口,以暴露所述基底上的部分导电层,其中,所述第一焊盘位于所述第一开口内并与所述第一电极电连接。7.如权利要求1所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述可动电极层的振动敏感区域朝向所述绝缘层的一侧设置有第一防粘结构;其中,在所述基底的厚度方向上,所述第一防粘结构的投影位于所述第一电极的投影范围内。8.一种电子烟感测组件,其特征在于,包括:基底,所述基底的至少部分第一表面为导电层,所述基底构成第三电极,所述基底具有至少一个第二镂空区域,所述第三电极环绕所述至少一个第二镂空区域,所述至少一个第二镂空区域构成背腔;绝缘层,所述绝缘层设置于所述基底的第一表面;
第一支撑部,所述第一支撑部设置于所述绝缘层远离所述基底的一侧,并且所述第一支撑部设置在所述绝缘层的边缘位置;可动电极层,所述可动电极层覆盖在所述第一支撑部上方,并且沿所述第一支撑部的边界被固定,使得所述可动电极层的振动敏感区域悬空于所述绝缘层的上方,所述可动电极层的振动敏感区域构成第二电极;其中,在所述基底的厚度方向上,所述第三电极以及所述第二电极二者的投影交叠,以构成可变电容。9.如权利要求8所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述基底的全部为导电层。10.如权利要求8或9所述的电子烟感测组件,其特征在于,所述可动电极层还包括:至少一个气孔,所述至少一个气孔设置于所述可动电...
【专利技术属性】
技术研发人员:荣根兰,
申请(专利权)人:苏州敏芯微电子技术股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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