一种干式废气处理设备制造技术

本实用新型专利技术属于尾气处理设备技术领域，涉及一种干式废气处理设备，包括吸收桶、进气管和出气管，所述吸收桶内被网板分为上下连通的吸附室和气体缓冲室，所述进气管从高于所述吸收桶的位置连通到所述气体缓冲室，所述出气管连通所述吸附室的顶部，所述吸附室用来放置吸附剂，所述进气管的上设有用来往出气方向吹出氮气的吹扫机构。本干式废气处理设备能够利用吹扫机构，给进气管进行不间断吹扫氮气，起到保护气体和稀释气体的作用，使处理更加安全。使处理更加安全。使处理更加安全。

【技术实现步骤摘要】
一种干式废气处理设备


[0001]本技术涉及尾气处理设备
，特别涉及一种干式废气处理设备。

技术介绍

[0002]半导体、太阳能、液晶面板、LED等行业的工厂在生产制造过程中会使用到很多种类的电子气体，这些气体中大多都是有毒有害的危险气体，可能具有腐蚀性或易燃易爆性等。这些有毒有害的气体在生产工艺过程中有些会被利用到，还有一些残余的气体需要处理后排放。因排放的气体也都是高危险气体，故需要在车间内靠近主工艺设备的地方及时处理，以最大限度的降低安全风险。现在常见的气体处理设备分为干式吸附式、水洗式、电加热水洗式、等离子水洗式等，尤其是最近几年随着芯片和太阳能电池制造中工艺的升级，等离子式尾气处理设备应用越来越普及。
[0003]目前行业内常见的废气治理方式为常规水洗喷淋、电加热裂解、天然气燃烧、等离子燃烧等形式，但这些形式的设备或装置在使用时会用到厂务冷却水或是城市自来水(也就是会产生废水排放)，设备结构相对复杂和繁琐，开机运行条件苛刻(需要配置的厂务需求内容较多)，设备运行成本高，设备需要定期进行维护保养和故障率较高等。而干式废气处理设备采用吸附剂吸附废气中的有害成分，不产生废水，处理难度小，被广泛采用。不过如果废气中的有害成分浓度较高，
[0004]因此有必要需要提供一种干式废气处理设备来解决以上问题。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种干式废气处理设备，能够稀释有害气体，使处理更加安全。
[0006]本技术通过如下技术方案实现上述目的：一种干式废气处理设备，包括吸收桶、进气管和出气管，所述吸收桶内被网板分为上下连通的吸附室和气体缓冲室，所述进气管从高于所述吸收桶的位置连通到所述气体缓冲室，所述出气管连通所述吸附室的顶部，所述吸附室用来放置吸附剂，所述进气管的上设有用来往出气方向吹出氮气的吹扫机构。
[0007]具体的，所述进气管上设有第一手动阀，所述出气管上设有第二手动阀。
[0008]具体的，所述进气管与所述出气管之间连接有一应急支路，所述应急支路上设有气动阀和备用吸附桶。
[0009]进一步的，所述进气管上设有向电控系统传输管内压力信号的电子压力表，所述气动阀在所述进气管内的压力高于预设值时打开。
[0010]具体的，所述吸附室的上部设有颜色指示窗，所述颜色指示窗内设有用来表征有害气体过量的变色球。
[0011]本技术技术方案的有益效果是：
[0012]本干式废气处理设备能够利用吹扫机构，给进气管进行不间断吹扫氮气，起到保护气体和稀释气体的作用，使处理更加安全。
附图说明
[0013]图1为实施例干式废气处理设备的结构简图。
[0014]图中数字表示：
[0015]1‑
吸收桶，11
‑
吸附室，111
‑
颜色指示窗，12
‑
气体缓冲室，13
‑
网板；
[0016]2‑
进气管，21
‑
第一手动阀，22
‑
吹扫机构，23
‑
电子压力表；
[0017]3‑
出气管，31
‑
第二手动阀；
[0018]4‑
吸附剂；
[0019]5‑
应急支路，51
‑
气动阀，52
‑
备用吸附桶。
具体实施方式
[0020]下面结合具体实施例对本技术作进一步详细说明。
[0021]实施例：
[0022]如图1所示，本技术的一种干式废气处理设备，包括吸收桶1、进气管2和出气管3，吸收桶1内被网板13分为上下连通的吸附室11和气体缓冲室12，进气管2从高于吸收桶1的位置连通到气体缓冲室12，出气管3连通吸附室11的顶部，吸附室11用来放置吸附剂4，进气管2的上设有用来往出气方向吹出氮气的吹扫机构22。待处理废气从进气管2一直通到气体缓冲室12，透过网板13向上遇到吸附剂4进行反应，最后从出气管3离开。需要处理的废气在气体缓冲室12内得到有效缓冲，降低气体进入吸附室11的流速，可以让气体在吸附剂4充填区域内得到充分时间的反应，达到有效处理废气的效果；气体缓冲室12还有一个作用是进入装置的废气若携带有杂质或粉尘的话可以有效得到缓冲并由于重力原因，落在缓冲腔体的底部位置，这样粉尘或杂质就不会堵后面干式颗粒吸附剂4上面，从而延长了装置的保养周期，节约了成本。吸附室11内充填了相应的吸附剂4颗粒。吸附剂4的规格型号需根据前方需处理废气的种类而定，一般分为酸性气体、碱性气体、烷类气体等。气体流经吸附室11时会与对应的吸附剂4产生化学反应，生成物一般为盐类物质，达到净化气体的效果。吹扫机构22能给进气管2进行不间断吹扫氮气，起到保护气体和稀释气体的作用，使处理更加安全。
[0023]如图1所示，进气管2上设有第一手动阀21，出气管3上设有第二手动阀31。在吸附桶1需要更换吸附剂4或保压测试时需要拆下，此时需要关闭第一手动阀21和第二手动阀31，防止废气泄漏。
[0024]如图1所示，进气管2与出气管3之间连接有一应急支路5，应急支路5上设有气动阀51和备用吸附桶52，进气管2上设有向电控系统传输管内压力信号的电子压力表21，气动阀51在进气管内的压力高于预设值时打开。吸附桶1一般为容积50L、80L、100L、200L、500L等的大桶。而备用吸附桶52的容积一般为5L。备用吸附桶52中也有吸附剂4，但在设备平时处理废气时不使用，只有当吸附桶1饱和后临时应急使用，这样就不会耽误设备的使用和生产。同时，电子压力表21可以监控进气管2内是否有异常的压力升高。如果发现问题，也可以利用应急支路5来泄压，又防止废气不经处理就直接排放。
[0025]如图1所示，吸附室11的上部设有颜色指示窗111，颜色指示窗111内设有用来表征有害气体过量的变色球(未画出)。颜色指示窗111位于吸附剂4的填料区域上方。在吸附剂4未达到饱和时，有害气体会被完全吸收，变色球颜色不变；而到吸附剂4饱和以后，多余的有
害气体就会与变色球反应使其变色，这样工人就能透过颜色指示窗111直接看到，并判断出吸附剂4需要更换，避免了处理过早引起吸附剂4利用不充分和处理延迟导致废气排放过量问题。
[0026]以上所述的仅是本技术的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式废气处理设备，包括吸收桶、进气管和出气管，所述吸收桶内被网板分为上下连通的吸附室和气体缓冲室，所述进气管从高于所述吸收桶的位置连通到所述气体缓冲室，所述出气管连通所述吸附室的顶部，所述吸附室用来放置吸附剂，其特征在于：所述进气管的上设有用来往出气方向吹出氮气的吹扫机构。2.根据权利要求1所述的干式废气处理设备，其特征在于：所述进气管上设有第一手动阀，所述出气管上设有第二手动阀。3.根据权利要求1所述的干...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帅，
申请(专利权)人：苏州新耀环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：