药液供应装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种药液供应装置。所述药液供应装置可以包括至少两个喷墨头、收容从各个所述喷墨头向基板上提供的药液的储存槽、向各个所述喷墨头供应所述药液的药液供应部件以及取出各个所述喷墨头内残留的药液并收集的药液收集部件。从所述药液供应部件经由所述至少两个喷墨头中的一个到所述药液收集部件的所述药液的一个路径的长度与从所述药液供应部件经由所述至少两个喷墨头中的另一个到所述药液收集部件的所述药液的另一路径的长度可实质上相同。本发明专利技术由于从药液供应部件到药液收集部件的药液的路径的长度实质上相同，因此能够利用药液供应装置在基板上均匀地形成所需像素，能够提高药液供应装置的可靠性。能够提高药液供应装置的可靠性。能够提高药液供应装置的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
药液供应装置
[0001]本申请是请求于2021年8月6日向韩国特许厅提出申请的韩国专利申请第10
‑
2021
‑
0103985号的优先权的申请。


[0002]本专利技术的例示性实施例涉及一种药液供应装置。更具体来讲，本专利技术的例示性实施例涉及一种包括实质上并列排列的至少两个喷墨头的药液供应装置。

技术介绍

[0003]在制造显示装置的工序中，执行将药液提供到基板上以在所述基板上形成像素的工序。通常可利用包括将所述药液喷射到所述基板上的喷墨头、储存所述药液的储存槽、将药液提供给所述喷墨头的药液供应部件等的药液供应装置，以及包括从所述喷墨头收集所述药液的药液收集部件的药液供应装置执行提供所述药液的工序。
[0004]最近的药液供应装置可以包括两个以上的喷墨头，因此所述药液供应部件可以包括两个以上供应管线，并且药液收集部件也可以包括两个以上回收管线。因此，产生不仅所述药液供应装置的结构复杂、所述显示装置的制造费用增加，而且所述药液供应装置的可靠性降低的问题。
[0005]【现有技术文献】
[0006]【专利文献】
[0007]专利文献1：韩国专利申请第10
‑
2019
‑
0080131号
[0008]专利文献2：韩国专利申请第10
‑
2019
‑
0147857号

技术实现思路

[0009]技术问题
[0010]本专利技术的多个方面提供包括至少两个喷墨头的具有循环结构的药液供应装置。
[0011]技术方案
[0012]根据本专利技术一个方面，提供药液供应装置，所述药液供应装置可以包括并列配置的至少两个喷墨头、收容从各个所述喷墨头向基板上提供的药液的储存槽、向各个所述喷墨头供应所述药液的药液供应部件、以及取出各个所述喷墨头内残留的药液并收集的药液收集部件。该情况下，从所述药液供应部件经由所述至少两个喷墨头中的一个到所述药液收集部件的所述药液的一个路径的长度与从所述药液供应部件经由所述至少两个喷墨头中的另一个到所述药液收集部件的所述药液的另一路径的长度可实质上相同。
[0013]例示性实施例中，药液供应装置还可以包括从所述储存槽向所述药液供应部件泵送所述药液，以及从所述至少两个喷墨头向所述药液收集部件泵送残留的所述药液的泵送部件。
[0014]例示性实施例中，所述药液供应装置还可以包括向所述药液供应部件施加吸引力，以从所述储存槽向所述至少两个喷墨头提供所述药液，以及向所述药液收集部件施加
所述吸引力，以从所述至少两个喷墨头向所述储存槽回收残留的所述药液的吸引部件。
[0015]例示性实施例中，所述药液从所述储存槽提供至所述至少两个喷墨头时，所述吸引部件能够向所述药液供应部件施加所述吸引力，所述药液从所述至少两个喷墨头提供至所述基板上时或者所述药液通过所述药液供应部件、所述至少两个喷墨头以及所述药液收集部件循环时，所述吸引部件可不向所述药液供应部件及/或所述药液收集部件施加所述吸引力。
[0016]例示性实施例中，所述药液供应部件可具有与所述药液收集部件实质上相同的直径。
[0017]例示性实施例中，所述药液供应装置还可以包括用于调整向所述储存槽施加的负压，使得从所述至少两个喷墨头的喷嘴向所述基板上喷射所述药液期间保持所述至少两个喷墨头的所述喷嘴的端部内所述药液的弯月面的压力调节部件。
[0018]根据本专利技术的另一方面，提供药液供应装置，所述药液供应装置可以包括并列配置的至少两个喷墨头、收容从各个所述喷墨头向基板上提供的药液的储存槽、向各个所述喷墨头供应所述药液的药液供应部件以及取出各个所述喷墨头内残留的药液并收集的药液收集部件。该情况下，所述药液供应部件可具有连接于所述储存槽的供应管线及分别连接于所述至少两个喷墨头的分支的供应管线。并且，所述药液回收部件可具有连接于所述储存槽的回收管线及分别连接于所述至少两个喷墨头的分支的回收管线。
[0019]例示性实施例中，从所述分支的供应管线中的一个经由所述至少两个喷墨头中的一个到所述分支的回收管线中的一个的所述药液的第一路径的长度与从所述分支的供应管线中的另一个经由所述至少两个喷墨头中的另一个到所述分支的回收管线中的另一个的所述药液的第二路径的长度可实质上相同。
[0020]例示性实施例中，所述药液供应装置还可以包括从所述储存槽向所述药液供应部件泵送所述药液，以及从所述至少两个喷墨头向所述药液收集部件泵送残留的所述药液的泵送部件。
[0021]例示性实施例中，所述药液供应装置还可以包括向所述药液供应部件施加吸引力，以从所述储存槽向所述至少两个喷墨头提供所述药液，以及向所述药液收集部件施加所述吸引力，以从所述至少两个喷墨头向所述储存槽回收残留的所述药液的吸引部件。
[0022]例示性实施例中，所述吸引部件可以包括连接于所述药液供应部件的第一部分及连接于所述药液收集部件的第二部分，所述吸引部件的第一部分可以包括用于向所述药液供应部件提供所述吸引力的第一连接管线及用于开闭所述第一连接管线的第一阀门，所述吸引部件的第二部分可以包括用于向所述药液收集部件提供所述吸引力的第二连接管线及用于开闭所述第二连接管线的第二阀门。
[0023]例示性实施例中，从所述储存槽向所述至少两个喷墨头提供所述药液时，所述吸引部件的所述第一部分能够向所述药液供应部件施加所述吸引力，所述药液从所述至少两个喷墨头提供至所述基板上时或者所述药液通过所述药液供应部件、所述至少两个喷墨头以及所述药液收集部件循环时，所述吸引部件的所述第一部分及第二部分可不向所述药液供应部件及/或所述药液收集部件施加所述吸引力。
[0024]例示性实施例中，所述药液供应部件可具有与所述药液收集部件实质上相同的长度。
[0025]例示性实施例中，所述药液供应装置还可以包括用于调整向所述储存槽施加的负压，使得从所述至少两个喷墨头的喷嘴向所述基板上喷射所述药液期间保持所述至少两个喷墨头的所述喷嘴的端部内所述药液的弯月面的压力调节部件。
[0026]根据本专利技术的另一方面，提供药液供应装置，所述药液供应装置可以包括并列配置的第一至第五喷墨头、收容从所述第一至所述第五喷墨头向基板上提供的药液的储存槽、向所述第一至所述第五喷墨头供应所述药液的药液供应部件、以及取出各个所述第一至所述第五喷墨头内残留的药液并收集的药液收集部件。该情况下，所述药液供应部件可以具有连接于所述储存槽的一个供应管线以及分别连接于所述第一至所述第五喷墨头的五个分支的供应管线。并且，所述药液回收部件可以具有连接于所述储存槽的一个回收管线以及分别连接于所述第一至所述第五喷墨头的五个分支的回收管线。
[0027]在部分例示性实施例中，从所述五个分支的供应管线中的一个经由所述第一喷墨头到所述五个分支的回收管线中的一个的所述药液的第一路径的长度与从所述五个分支的供应管线中的一个经由所述第二喷墨头到所述五个分支的回收管线中的一个的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种药液供应装置，其特征在于，包括：并列配置的至少两个喷墨头；收容从各个所述喷墨头向基板上提供的药液的储存槽；向各个所述喷墨头供应所述药液的药液供应部件；以及取出各个所述喷墨头内残留的药液并收集的药液收集部件，从所述药液供应部件经由所述至少两个喷墨头中的一个到所述药液收集部件的所述药液的一个路径的长度与从所述药液供应部件经由所述至少两个喷墨头中的另一个到所述药液收集部件的所述药液的另一路径的长度相同。2.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：泵送部件，用于从所述储存槽向所述药液供应部件泵送所述药液，以及从所述至少两个喷墨头向所述药液收集部件泵送残留的所述药液。3.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：吸引部件，用于向所述药液供应部件施加吸引力，以从所述储存槽向所述至少两个喷墨头提供所述药液，以及向所述药液收集部件施加所述吸引力，以从所述至少两个喷墨头向所述储存槽回收残留的所述药液。4.根据权利要求3所述的药液供应装置，其特征在于：所述药液从所述储存槽提供至所述至少两个喷墨头时，所述吸引部件向所述药液供应部件施加所述吸引力，所述药液从所述至少两个喷墨头提供至所述基板上时或者所述药液通过所述药液供应部件、所述至少两个喷墨头以及所述药液收集部件循环时，不向所述药液供应部件及/或所述药液收集部件施加所述吸引力。5.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：所述药液供应部件与所述药液收集部件具有相同的直径。6.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：压力调节部件，用于在从所述至少两个喷墨头的喷嘴向所述基板上喷射所述药液期间，调整向所述储存槽施加的负压，以保持所述至少两个喷墨头的所述喷嘴的端部内的所述药液的弯月面。7.一种药液供应装置，其特征在于，包括：并列配置的至少两个喷墨头；收容从各个所述喷墨头向基板上提供的药液的储存槽；向各个所述喷墨头供应所述药液的药液供应部件；以及取出各个所述喷墨头内残留的药液并收集的药液收集部件，所述药液供应部件具有连接于所述储存槽的供应管线及分别连接于所述至少两个喷墨头的分支的供应管线，所述药液回收部件具有连接于所述储存槽的回收管线及分别连接于所述至少两个喷墨头的分支的回收管线。8.根据权利要求7所述的药液供应装置，其特征在于：从所述分支的供应管线中的一个经由所述至少两个喷墨头中的一个到所述分支的回收管线中的一个的所述药液的第一路径的长度与从所述分支的供应管线中的另一个经由所述至少两个喷墨头中的另一个到所述分支的回收管线中的另一个的所述药液的第二路
径的长度相同。9.根据权利要求7所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：泵送部件，用于从所述储存槽向所述药液供应部件泵送所述药液，以及从所述至少两个喷墨头向所述药液收集部件泵送残留的所述药液。10.根据权利要求7所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：吸引部件，用于向所述药液供应部件施加吸引力，以从所述储存槽向所述至少两个喷墨头提供所述药液，以及向所述药液收集部件施加所述吸引力，以从所述至少两个喷墨头向所述储存槽回收残留的所述药液。11.根据权利要求10所述的药液供应装置，其特征在于：所述吸引部件包括连接于所述药液供应部件的第一部分及连接于所述药液收集部件的第二部分，所述吸引部件的第一部分包括用于向所述药液供应部件提供所述吸引力的第一连接管线及用于开闭所述第一连接管线的第一阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：于蔷薇，崔基训，丁永勋，金明珍，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：