【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及图案形成方法及电光学装置制造方法以及电子机器制造 方法。
技术介绍
在使用液滴喷出法(喷墨方式)形成图案的情况下，通过将液状体的 液滴(墨水)喷出，使之命中基板上的给定位置而形成图案。在像这样将 液滴喷出而命中基板的情况下，有可能因基板表面的特性而使所命中的液 滴过度浸润展开或分离。该情况下，就会产生无法获得所需的配线图案的 问题。所以，专利文献1中，公布有如下的技术，即，对基板的成为图案形 成面的面进行疏液加工，在向该疏液加工面照射穿过了光催化剂的紫外光 激光束的同时，进行亲液图案形成。另外，专利文献2中，公布有如下的技术，即，在要形成图案的基板 上涂布了含有光催化剂的疏水性的基底后，通过夹隔着掩模进行曝光，而 仅将曝光部分亲水化。专利文献1 日本特开2004—200244号公报 专利文献2 日本特开平11一344804号公报 但是，如上所述的以往技术中，存在如下所示的问题。 上述专利文献中所记载的技术由于使用昂贵的曝光机或光掩模、激光 源，因此会造成导致成本升高的问题。另外，由于将仅对非图案面是必需 的疏液材料涂布于基板全面，因此从节省材料的观...
【技术保护点】
一种图案形成方法，它是在具有相对于功能液的亲液部及疏液部的基板上涂布所述功能液而形成图案的图案形成方法，其特征在于， 包括：向具有所述亲液部的基板上涂布含有疏液材料的液滴而形成所述疏液部的第一工序，以及，向所述疏液部之间的所述亲液部涂布所述功能液的第二工序， 所述疏液材料包含有硅烷化合物、具有氟烷基的化合物、含氟树脂的至少一种。
【技术特征摘要】
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