下载图案形成方法、电光学装置制造方法和电子机器制造方法的技术资料

文档序号:3719636

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本发明提供一种可以不导致成本上升地形成优质的图案的图案形成方法。在具有相对于功能液来说的亲液部(Pa)及疏液部(H)的基板(P)上涂布功能液而形成图案(W)。具有:向具有亲液部的基板上涂布含有疏液材料的液滴而形成疏液部的第一工序、向疏液部之...
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