【技术实现步骤摘要】
带电粒子显微镜学中的数据采集
技术介绍
[0001]显微镜学是使用显微镜以更好地观察用肉眼难以看到的对象的
显微镜学的不同分支包括例如：光学显微镜学、带电粒子（电子和/或离子）显微镜学和扫描探针显微镜学。带电粒子显微镜学涉及使用加速的带电粒子束作为照明源。带电粒子显微镜学的类型包括例如：透射电子显微镜学、扫描电子显微镜学、扫描透射电子显微镜学和离子束显微镜学。
附图说明
[0002]通过以下结合附图的详细描述，将容易地理解各实施例。为了便于描述，相同的附图标记指示相同的结构元件。各实施例在附图的图中以举例而非限制的方式展示。
[0003]图1示出了根据本文公开的实施例的被配置用于数据采集的带电粒子显微镜（charged particle microscope，CPM）系统。
[0004]图2是根据各种实施例的用于执行数据采集的示例CPM数据采集模块的框图。
[0005]图3A至图3E示出了根据各种实施例的可以由CPM数据采集模块执行的CPM数据采集过程中的各阶段。
[0006]图4A至图4B示出...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子显微镜支持设备，其包含：第一逻辑，所述第一逻辑用于使带电粒子显微镜生成样本的第一部分的单个图像；第二逻辑，所述第二逻辑用于基于由所述单个图像的用户注释提供的一个或多个感兴趣区域来生成第一掩模；以及第三逻辑，所述第三逻辑用于使用所述单个图像和所述一个或多个感兴趣区域来训练机器学习计算模型；其中：所述第一逻辑用于使所述带电粒子显微镜生成所述样本的对应的多个附加部分的多个图像；并且所述第二逻辑用于在使用所述单个图像和所述一个或多个感兴趣区域训练所述机器学习计算模型之后，使用无需再训练的所述机器学习计算模型基于所述样本的所述附加部分的对应的图像生成多个掩模。2.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜支持设备，其中所述第一逻辑用于在生成所述第一掩模之后，使所述带电粒子显微镜根据所述第一掩模生成所述样本的所述第一部分的另一图像。3.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜支持设备，其中所述样本的所述第一部分的所述单个图像的分辨率小于所述样本的所述第一部分的所述另一图像的分辨率。4.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜支持设备，其中所述第一部分的所述单个图像的采集时间小于所述样本的所述第一部分的所述另一图像的采集时间。5.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜支持设备，其进一步包含：第四逻辑，所述第四逻辑用于将所述单个图像和所述另一图像组合成表示所述样本的所述第一部分的组合图像，并提供所述组合图像以便由显示装置进行显示。6.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜支持设备，其中1）所述样本的所述第一部分表示穿过所述样本的平面，并且所述样本的所述多个附加部分表示穿过所述样本的多个平行平面，或者2）所述样本的所述第一部分表示穿过所述样本的平面，并且所述样本的所述多个附加部分表示以不同角度穿过所述样本的多个平面。7.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜支持设备，其中所述第二逻辑用于：提供所述样本的所述第一部分的所述单个图像，以便在显示装置上进行显示；以及从用户接收由所显示的单个图像的用户注释对一个或多个感兴趣区域的指示。8.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜支持设备，其中所述第二逻辑用于比较与所述样本的相邻部分相关联的所述掩模，并且当所述掩模之间的差异满足一个或多个差异标准时，调节所述掩模中的一个或多个。9.一种带电粒子显微镜支持设备，其包含：第一逻辑，所述第一逻辑用于使带电粒子显微镜生成样本的第一部分的单个图像；第二逻辑，所述第二逻辑用于基于由所述单个图像的用户注释指示的一个或多个感兴趣区域生成第一掩模，其中所述感兴趣区域包括所述样本中的感兴趣特征；以及第三逻辑，所述第三逻辑用于使用所述单个图像和所述一个或多个感兴趣区域来训练机器学习计算模型；其中：
所述第一逻辑用于使所述带电粒子显微镜生成所述样本的第二部分的图像，其中所述样本的所述第二部分接近所述样本的所述第一部分；并且所述第二逻辑用于在使用所述单个图像和所述一个或多个感兴趣区域训练所述机器学习计算模型之后，使用所述机器学习计算模型基于所述样本的所述第二部分的所述图像生成第二掩模，其中所述第二掩模指示对所述样本的所述第二部分的包括所述感兴趣特征的区域和所述样本的所述第二部分的不包括所述感兴趣特征的区域成像。10.根据权利要求9所述的带电粒子显微镜支持设备，其...
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