一种光电测高清洁组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种光电测高清洁组件，其特征在于，包括测高组件、清洁组件，所述测高组件与所述清洁组件连接；所述测高组件包括激光发射器、激光接收器、测高座，所述激光发射器与所述激光接受器设置于所述测高座的内侧面，所述激光发射器与所述激光接收器位置对应，所述测高座；所述清洁组件包括清洁管道、进气口、进水口、水汽泵一体装置，所述水汽泵一体装置与所述进气口连通、所述水汽泵一体装置与所述进水口连通，所述清洁管道与所述进气口连通，所述清洁管道与所述进水口连通。所述清洁管道与所述进水口连通。所述清洁管道与所述进水口连通。

【技术实现步骤摘要】
一种光电测高清洁组件


[0001]本技术涉及划片机测量领域，特别涉及一种光电测高清洁组件。

技术介绍

[0002]半导体雕刻需要精准的测量半导体的精度，在有精确的尺寸雕刻的半导体的尺寸才能精准。
[0003]市面上的测量装置采用直接测量，而测量多数采用激光测量，激光测量的数据较精准，导致在雕刻时半导体产生的废渣会影响激光测量，进一步，使激光测量半导体的数据不准确，导致在雕刻时降低其精度。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
的技术问题，本技术提供了一种光电测高清洁组件，其特征在于，包括测高组件、清洁组件，所述测高组件与所述清洁组件连接；
[0005]所述测高组件包括激光发射器、激光接收器、测高座，所述激光发射器与所述激光接受器设置于所述测高座的内侧面，所述激光发射器与所述激光接收器位置对应，所述测高座；
[0006]所述清洁组件包括清洁管道、进气口、进水口、水汽泵一体装置，所述水汽泵一体装置与所述进气口连通、所述水汽泵一体装置与所述进水口连通，所述清洁管道与所述进气口连通，所述清洁管道与所述进水口连通。
[0007]优选地，包括旋转气缸、防水防尘盖，所述防水防尘盖与所述旋转气缸的输出轴连接。
[0008]优选地，所述清洁管道设置有两个或者两个以上。
[0009]优选地，所述旋转气缸的旋转角度在0
°
～180
°
之间。
[0010]本技术提供了一种
[0011]与现有技术相比，本技术提供的一种光电测高清洁组件，具有以下优点：
[0012]激光发射器发出光信号，激光接收器接收光信号，当半导体的部位截断光信号，测高组件便可测出半导体的高度，由于光信号截断灵敏度非常高，使用光信号测高的数据非常精准，同时，水汽泵一体装置通过压力将汽和水分别送入进气口和进水口，使所述清洁管道能够向半导体喷水，水冲刷掉半导体上的废渣，接着所述清洁管道对半导体进行吹气，将残留在半导体上的水滴或废渣进行二次清洗和风干，使半导体上无残留废渣和水渍，使测高的数据更加的精准。
附图说明
[0013]图1是本技术第一实施例提供的一种光电测高清洁组件的结构示意图；
[0014]图2是本技术第一实施例提供的一种光电测高清洁组件的无防水盖的结构示意图；
[0015]图3是本技术第一实施例提供的光电组件的结构示意图。
[0016]附图标记说明：
[0017]光电测高清洁组件1、测高组件11、激光发射器111、激光接收器112、测高座113、清洁组件12、清洁管道121、进气口122、进水口123、水汽泵一体装置124、旋转气缸13、防水防尘盖14。
具体实施方式
[0018]为了使本技术的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0020]请参阅图1，本技术第一实施例提供了一种光电测高清洁组件12，其特征在于，包括测高组件11、清洁组件12，所述测高组件11与所述清洁组件12连接；
[0021]所述测高组件11包括激光发射器111、激光接收器112、测高座113，所述激光发射器111与所述激光接受器设置于所述测高座113的内侧面，所述激光发射器111与所述激光接收器112位置对应，所述测高座113；
[0022]所述清洁组件12包括清洁管道121、进气口122、进水口123、水汽泵一体装置124，所述水汽泵一体装置124与所述进气口122连通、所述水汽泵一体装置124与所述进水口123连通，所述清洁管道121与所述进气口122连通，所述清洁管道121与所述进水口123连通。
[0023]可以理解，激光发射器111发出光信号，激光接收器112接收光信号，当半导体的部位截断光信号，测高组件11便可测出半导体的高度，由于光信号截断灵敏度非常高，使用光信号测高的数据非常精准，同时，水汽泵一体装置124通过压力将汽和水分别送入进气口122和进水口123，使所述清洁管道121能够向半导体喷水，水冲刷掉半导体上的废渣，接着所述清洁管道121对半导体进行吹气，将残留在半导体上的水滴或废渣进行二次清洗和风干，使半导体上无残留废渣和水渍，使测高的数据更加的精准。
[0024]优选地，包括旋转气缸13、防水防尘盖14，所述防水防尘盖14与所述旋转气缸13的输出轴连接。
[0025]可以理解，采用上述方案，所述旋转气缸13带动所述防水防尘盖14旋转，在不使用时，所述旋转气缸13带动所述防水防尘盖14遮住所述测高组件11，起到保护所述测高组件11的目的，进一步，防止尘埃沾上所述激光发射器111与所述激光接收器112，始终保持测高组件11的高精准度。
[0026]优选地，所述清洁管道121设置有两个或者两个以上。
[0027]可以理解，采用上述方案，设置多个所述清洁管道121，提高清洁效率，提高测高速度，进一步，提高生产效率。
[0028]优选地，所述旋转气缸13的旋转角度在0
°
～180
°
之间。
[0029]可以理解，采用上述方案，所述旋转气缸13的旋转角度在0
°
～180
°
，使所述防水防
尘盖14的旋转角度在0
°
～180
°
，当角度在0
°
时，所述防水防尘盖14处于完成打开状态，当角度在180
°
，所述防水防尘盖14处于完成闭合状态，实现所述防水防尘盖14对所述测高组件11的保护作用。
[0030]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光电测高清洁组件，其特征在于，包括测高组件、清洁组件，所述测高组件与所述清洁组件连接；所述测高组件包括激光发射器、激光接收器、测高座，所述激光发射器与所述激光接收器设置于所述测高座的内侧面，所述激光发射器与所述激光接收器位置对应，所述测高座；所述清洁组件包括清洁管道、进气口、进水口、水汽泵一体装置，所述水汽泵一体装置与所述进气口连通、所述水汽泵一体装置与所述进水口连通，所述清洁管道与所述进气口...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊世伟，
申请(专利权)人：深圳市纬迪科技有限公司，
类型：新型
国别省市：