【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子体加速器；更具体地说，涉及在相反方向上缠绕驱动线圈，并使该驱动线圈互相连接，从而减小驱动线圈之间的互感和精确地调节加在该驱动线圈上的电流的电平和相位差，并简化驱动电路的等离子体加速器。
技术介绍
等离子体加速器利用电能和磁能，加速在一个特定空间中产生或存在的等离子体通量，因此称为“电磁加速器”(EMA)。已经开发了航天的火箭发动机的等离子体加速器，并且近来其用在制造半导体过程中的晶片蚀刻中。图1为表示通常的等离子体加速器的横截面图。如图1所示，通常的等离子体加速器为圆柱体形状，具有缠绕在入口周围的一个顶部线圈T。该入口为该等离子体加速器的上面部分。第一线圈S1、第二线圈S2、第三线圈S3、第四线圈S4和第五线圈S5依次从该入口缠绕至出口。线圈T、S1、S2、S3、S4和S5不相互连接，而是独立缠绕的。因此，单个的电流加在线圈T、S1、S2、S3、S4和S5上。在该等离子体加速器中，通过将RF电流加在线圈T、S1、S2、S3、S4和S5上产生等离子体。通过线圈T、S1、S2、S3、S4和S5流动的电流在该等离子体加速器中产生的磁场。根据Max...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朴源泽，瓦西里·帕什科夫斯基，尤里·托尔马切夫，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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