【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关利用高温等离子体火焰，对半导体洗涤废气体的处 理装置的技术。
技术介绍
地球温暖化主犯中的一个是在尖端产业中所使用的产业气体。其 代表性的气体就是氟化系列气体。比如，这些气体一旦排放到大气中， 就会长期存在于大气中，阻断应该从地表面上排放的红外线，起着提 高地表大气温度的温室气体的效果。所以，国际上正强化对产业中使用的氟化系列气体在排放到大气之前应完全被破坏的国际规制。随着京都议定书从2005年2月16日 开始发效，减少温室气体不仅仅是环境规制，也可以说是经济规制， 对国家经济有很大的影响。在这样的背景下，在很多方面对消除氟化系列气体进行着研究。 其中一个研究就是利用等离子体，把分子离子化生成另一种无害分子 所排放。以有的技术是利用RF Source除去真空中的这些分子。如果在真 空中除去这些分子，即使是一个成功的方法也是，因为附着在真空中 实施的半导体流程线，所以存在着这些RF装备可能会导致阻碍其他 半导体工程装备的顺利进行或者完全瘫痪等问题.以至于，要求与半导体工程流程线无关可在真空外的大气中消除 操作的装置。
技术实现思路
本专利技术所要达到的...
【技术保护点】
氟化气体消除装置，包含： 从电源供应部接受电力而发振电磁波的电磁管； 传送从上述电磁管发振的电磁波，吸收往电磁波反射的反射波的循环器； 监控通过上述循环器传送的电磁波强度为入射波和反射波的方向性结合器； 对从上述方向性结合器流入的电磁波，调节入射波和反射波强度来符合电阻的短线调节器； 从上述短线调节器传送的电磁波流入的导波管； 贯通上述导波管来相结合，被通过上述导波管输入的电磁波及从外部注入的涡流气体来产生等离子体气体的放电管； 连接在上述放电管一端，往上述放电管提供涡流气体的供应部； 布置在放电管内，为了在上述放电管内产生等...
【技术特征摘要】
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