一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，涉及微波烘干技术领域，包括链式传送机构，链式传送机构包括传送带，传送带用于传送花篮，花篮上设有TOPCon电池硅片，传送带的上侧对应设有微波烘干机构，本发明专利技术的微波烘干TOPCon电池硅片装置，通过磁控管工作，磁控管产生微波，利用微波快速烘干水分，能够对花篮中的TOPCon电池硅片全方位进行烘干，避免了花篮中带齿的地方通过鼓风机工作时难以吹干，存在死角区域，使得TOPCon电池硅片无法完全烘干，影响TOPCon电池硅片的后续制程。影响TOPCon电池硅片的后续制程。影响TOPCon电池硅片的后续制程。

【技术实现步骤摘要】
一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置


[0001]本专利技术涉及微波烘干
，具体为一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置。

技术介绍

[0002]目前市场上的TOPCon清洗制绒槽式设备，工序为去除损伤层+水洗+预清洗+水洗+制绒+水洗+后清洗+水洗+酸洗脱水+水洗+预干燥+烘干，用行车的手臂提着花篮一个槽一个槽的走过去，最后放到烘干槽里面用热风烘干，拿鼓风机来吹硅片；
[0003]现有槽式设备基本是将花篮放在烘干槽里面，但是花篮带齿的地方就难吹干，若想烘干效果够理想则所需的烘干时间变长，会导致TOPCon电池硅片的下一步纯化不够完美。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，用以解决上述提出的现有槽式设备基本是将花篮放在烘干槽里面，但是花篮带齿的地方就难吹干，若想烘干效果够理想则所需的烘干时间变长，会导致TOPCon电池硅片的下一步纯化不够完美的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术公开了一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，包括链式传送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，其特征在于：包括链式传送机构(4)，链式传送机构(4)包括传送带(11)，传送带(11)用于传送花篮，花篮上设有TOPCon电池硅片，传送带(11)的上侧对应设有微波烘干机构。2.根据权利要求1所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，其特征在于：链式传送机构(4)还包括前后对称设置的固定板一(7)，前侧的固定板一(7)左右两端对称设有链轮(8)，左右两端的链轮(8)之间通过链条(9)连接，链轮(8)与固定轴(18)固定连接，固定轴(18)贯穿前侧的固定板一(7)并与后侧的固定板一(7)的转动连接，固定轴(18)与传送筒(10)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，其特征在于：左右两端的传送筒(10)之间通过传送带(11)连接，左端的固定轴(18)固定连接有驱动电机。4.根据权利要求2所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，其特征在于：微波烘干机构包括固定板二(16)，固定板二(16)与前侧的固定板一(7)固定连接，固定板二(16)与固定块(17)固定连接，固定块(17)中安装有磁控管(19)。5.根据权利要求1所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，其特征在于：链式传送机构(4)安装在TOPCon清洗制绒槽式设备(3)和下料设备(5)之间，下料设备(5)通过空花篮回传设备(6)与插片设备(1)连接，插片设备(1)通过上料设备(2)与TOPCon清洗制绒槽式设备(3)连接。6.根据权利要求4所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，其特征在于：固定块(17)中安装有高效烘干机构，高效烘干机构包括烘干腔(20)，烘干腔(20)设置在固定块(17)的内部，烘干腔(20)的内部设有放置座(14)，放置座(14)上设有花篮，烘干腔(20)的侧壁均匀布设有若干磁控管(19)，固定块(17)的下侧左右两端贯穿设有滑孔(22)，滑孔(22)中活动设有挡板(21)，放置座(14)的底部为网状结构。7.根据权利要求6所述的一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，其特征在于：放置板(29)连接有自动化机构，自动化机构包括转动套(23)，转动套(23)贯穿烘干腔(20)的前端与外界的控制电机(15)固定连接，转动套(23)远离控制电机(15)的一端内部设有凹槽(24)，凹槽(24)中固定设有电磁块(30)，电磁块(30)和磁块(32)对应设置，磁块(32)与连接轴一(33)固定连接，连接轴一(33)和凹槽(24)之间设有弹簧一(31)，连接轴一(33)与齿轮一(25)固定连接，且连接轴一...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩美洲，冯志东，胡大鹏，张浩，
申请(专利权)人：苏州港麟微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：