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本发明提供了一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，涉及微波烘干技术领域，包括链式传送机构，链式传送机构包括传送带，传送带用于传送花篮，花篮上设有TOPCon电池硅片，传送带的上侧对应设有微波烘干机构，本发明的微波烘干TOPCon电池硅片...
该专利属于苏州港麟微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州港麟微电子有限公司授权不得商用。

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