一种恒温速冷高压管式炉制造技术

本发明专利技术涉及一种恒温速冷高压管式炉，包括：加热速冷装置、真空高压装置和炉体钢结构三个部分组成。所述的加热速冷装置由炉墙、炉顶、炉底、炉管、温度传感器、加热丝、制冷管、电源总开关、加热控制装置和速冷控制装置组成。所述的真空高压装置由密封法兰、固定卡扣、稳压堵头、入口气氛管道、出口气氛管道、入口气氛接口、出口气氛接口、抽气接口、真空压力泵和气压表组成。所述的炉体钢结构由炉管托架、万向轮、排气扇、炉体和炉体支撑柜组成。通过对三个装置的控制，实现管式炉在高压环境下逐渐升温，保温和快速降温。本发明专利技术为二维材料的生长提供必要的条件，提高人们多方面的使用需求，具有结构简单、操作可靠、可控制变量等优势。可控制变量等优势。可控制变量等优势。

【技术实现步骤摘要】
一种恒温速冷高压管式炉


[0001]本专利技术涉及一种管式炉，尤其是涉及一种恒温速冷高压管式炉。

技术介绍

[0002]管式炉是工业生产应用的主要供热设备，同时也是半导体材料生长的关键设备，在石墨烯、氮化硼和二硫化钼等二维材料的生长中是不可缺少的。在二维材料生长过程中，因为管式炉没有恒温、快速冷却和高压的条件而导致半导体生长效率和质量较低，为了解决这个问题，本专利技术提供具有恒温、快速冷却和高压等功能的管式炉，实现管式炉恒温、快速冷却和高压等多功能交替使用或者同时使用，提高了二维材料的生长效率和质量。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种恒温速冷高压管式炉，该装置可以提供一种运用于二维材料生长的恒温、快速冷却和高压的管式炉。
[0004]本专利技术的上述技术问题是通过下述方案得以解决的。
[0005]本专利技术的一种恒温速冷高压管式炉，包括：加热速冷装置、真空高压装置和炉体钢结构三个部分。所述的加热速冷装置由炉墙、炉顶、炉底、炉管、温度传感器、加热丝、制冷管、电源总开关、加热控制装置和速冷控制装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种恒温速冷高压管式炉，其特征在于：所述的恒温速冷高压管式炉由加热速冷装置、真空高压装置和炉体钢结构组成，所述的加热速冷装置由炉墙(20)、炉顶(21)、炉底(24)、炉管(9)、温度传感器(23)、加热丝(22)、制冷管(19)、电源总开关(16)、加热控制装置(7)和速冷控制装置(8)组成，所述的真空高压装置由密封法兰(5)、固定卡扣(4)、稳压堵头(25)、入口气氛管道(10)、出口气氛管道(2)、入口气氛接口(11)、出口气氛接口(1)、抽气接口(12)、真空压力泵(15)和气压表(3)组成，所述的炉体钢结构由炉管托架(13)、万向轮(17)、排气扇(18)、炉体(6)和炉体支撑柜(14)组成，万向轮(17)安装在炉体支撑柜(14)上，炉体(6)安装在支撑柜(14)上。2.根据权利要求1所述的一种恒温速冷高压管式炉，其特征在于：所述的炉墙(20)、炉顶(21)与炉底(24)安装在炉体(6)内，温度传感器(23)安装在炉底(24...

【专利技术属性】
技术研发人员：李玲，施宁强，蒋祥倩，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：