一种利用微型器件进行电化学测试方法技术

本发明专利技术涉及一种利用微型器件进行电化学测试方法，该方法包括如下步骤：1)在衬底上制备二维层状材料；2)在材料表面构建微纳器件；3)在衬底上构建微电解池与电极体系；4)将电极与外电路工作站电极一一相连，进行电化学测试。本方法通过选择性暴露活性面积，测量单个催化剂粒子活性的方法，避免常规电化学测试中催化剂粒子分布不均匀，活性位点难以区分的缺点；同时，独特的微纳装置有利于研究粒子的微区结构，方便在施加外场的同时对催化剂活性进行检测，也可以原位检测中间体的光谱信息，这种方法为深入研究催化剂活性位点，探究反应中间体提供了极大的便利。间体提供了极大的便利。间体提供了极大的便利。

【技术实现步骤摘要】
一种利用微型器件进行电化学测试方法
[0001]

[0002]本专利技术涉及催化剂检测领域，具体涉及一种利用微型器件进行电化学测试方法。
[0003]
技术介绍

[0004]目前，常规的电化学方法都是将一定量的催化剂粒子分散在玻碳、碳纸等基底上，对催化剂进行一个综合平均化的测量，往往限制了对单个催化剂如何进行表面反应的研究，难以归属反应活性提高的因素。不仅如此，常规电化学方法难以精确地对催化剂施加外场，多个催化剂粒子往往无法均匀地被施加外场，限制了对外场调控催化剂电子结构的研究。同时，较为大量的电解液，复杂的催化剂负载基底，也限制了一些检测手段，如拉曼、紫外对催化过程的实时检测。
[0005]
技术实现思路

[0006]本专利技术的目的就是为了解决上述问题而提供一种利用微型器件进行电化学测试方法，通过构建微纳器件体系，研究单个粒子的催化活性，研究微区结构的活性电流，从而对催化剂催化过程机理进行进一步的明晰，更进一步的，通过微纳器件原位检测反应过程中的变化，包括催化剂本身结构的变化与反应过程中中间体的检测。
[0007]本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用微型器件进行电化学测试方法，其特征在于，包括如下步骤：1)在衬底上制备二维层状材料；2)在二维层状材料表面构建微纳器件；3)在衬底上构建微电解池与电极体系；4)将电极与外电路工作站电极一一相连，进行电化学测试。2.根据权利要求1所述的一种利用微型器件进行电化学测试方法，其特征在于，步骤1)中所述衬底为Si和SiO2组成的复合衬底，所述二维层状材料为采用CVD方法合成的过渡金属硫属化合物。3.根据权利要求1所述的一种利用微型器件进行电化学测试方法，其特征在于，步骤2)中所述构建微纳器件主要采用的设备为激光直写光刻机与真空热蒸镀仪，方法为光刻与蒸镀。4.根据权利要求3所述的一种利用微型器件进行电化学测试方法，其特征在于，光刻的方法中光刻胶采用正胶S1813，旋涂速率选择低速1000
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2000r/min，旋涂时间为10
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20s，高速4000
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5000r/min，旋涂时间为50
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70s；旋涂后在热台上烘烤，烘烤温度设定为110
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120℃，时间为1.5
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2.5min；光刻胶涂层厚度为1
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1.5um。5.根据权利要求3所述的一种利用微型器件进行电化学测试方法，其特征在于，采用激光直写光刻机，在软件中绘制所需的微纳器件结构，进行曝光时，曝光参数选择150mj/cm2功率、1um线宽和波长为385nm的激光，曝光后的衬底取出后在显影液ZX

【专利技术属性】
技术研发人员：张黎明，童昊楠，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
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