【技术实现步骤摘要】
一种SiC MOSFET重复浪涌测试方法
[0001]本专利技术属于功率半导体测试
,具体涉及一种SiC MOSFET重复浪涌测试方法。
技术介绍
[0002]碳化硅(SiC)作为第三代半导体的代表性材料,具有禁带宽度大、击穿电场高、电子饱和速度大等优点,使其在高温、高频、大功率等场合具有令人瞩目的应用前景。
[0003]在大多数大功率变流器应用中,MOS开关器件需要一个续流二极管来处理反向电流。传统硅(Si)MOSFET体内寄生的二极管并不适合此目的,由于少子存储效应导致反向恢复特性较差,引起较大的开关功耗。在实际工程应用中一般会在MOSFET源漏两端反向并联快速恢复二极管(Fast Recovery Diode,简称FRD)抑制寄生体二极管导通,并提供新的续流通路。相同耐压下,SiC MOSFET能够承受更高的电场,漂移区非常薄。因此,其体二极管正向导通时内部存储电荷比Si MOSFET少很多,有助于改善反向恢复特性,使开关功耗极低,该特性使得SiC MOSFET体二极管的使用成为可能。
[0004 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种SiC MOSFET重复浪涌测试方法,其特征在于,包括:选取TO
‑
247封装的SiC MOSFET待测器件;将所述SiC MOSFET待测器件放置于浪涌测试电路中;确定所述浪涌测试电路中栅极偏置电源的幅值和极性,测试所述SiC MOSFET待测器件的沟道开启程度对其体二极管浪涌可靠性的影响,并选择用于浪涌测试电路的栅极偏置电压;确定所述SiC MOSFET待测器件的测试温度,测试温度对所述SiC MOSFET待测器件的体二极管浪涌可靠性的影响,并选择用于浪涌测试电路的测试温度;在上述栅极偏置电压和测试温度下,触发波形发生器,所述浪涌测试电路在第一个浪涌周期内完成一次浪涌电流冲击测试;重复若干周期的浪涌电流冲击测试后,测量所述SiC MOSFET待测器件的静态特性、反向恢复特性和寄生电容,以及所述SiC MOSFET待测器件栅极、源极、漏极之间的短路情况,判断该SiC MOSFET待测器件是否失效或是明显退化,若未发生失效或是明显退化,则继续重复上述若干周期的浪涌电流冲击测试,若发生了失效或是明显退化,则所述浪涌测试电路停止对所述SiC MOSFET待测器件的测试。2.根据权利要求1所述的SiC MOSFET重复浪涌测试方法,其特征在于,所述浪涌测试电路包括第一驱动电路、第二驱动电路、栅极偏置电源、电容阵列、三极管Q1、三极管Q2、电压源V、开关S、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电感L、二极管D和温度控制系统,其中,所述三极管Q1的基极与所述第一驱动电路连接,所述三极管Q2的基极与所述第二驱动电路连接,所述三极管Q1的集电极与所述三极管Q2的发射极、所述开关S的一端、所述电容阵列的一端连接,所述三极管Q1的发射极与所述电压源V的正极连接,所述电压源V的负极与所述电阻R1的一端连接,所述电阻R1的另一端、所述电阻R2的一端、所述电容阵列的另一端和所述电阻R3的一端均接地,所述电阻R2的另一端与所述开关S的另一端连接,所述电阻R3与所述SiC MOSFET待测器件连接,所述三极管Q2的集电极与所述电感L的一端连接,所述电感L的另一端与所述二极管D的正极连接,所述二极管D的负极与所述SiC MOSFET待测器件连接,所述栅极偏置电源与所述SiC MOSFET待测器件连接,所述温度控制系统设置于所述SiC MOSFET待测器件封装的外侧。3....
【专利技术属性】
技术研发人员:何艳静,赖建锟,弓小武,张玉明,
申请(专利权)人:西安电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
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