静电消除器制造技术

技术编号:3716415 阅读:160 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种静电消除器,它包括至少一对放电电极,安装在旋转静电消除器主体上以使其间隔开并从其间限定的旋转轴的相对侧平行地向外面对;电源装置,用于给一个放电电极提供用于发射一种极性的离子的直流电压,同时给另一个放电电极提供用于发射相反极性的离子的直流电压;和旋转装置,用于沿所述放电电极之间限定的轴旋转所述静电消除器。在另一个实施例中,静电消除器包括一旋转电离器或旋转离子发射放电电极。在又一个实施例中,静电消除器包括多个三个排列的放电电极,每个放电电极发射的离子极性与相邻放电电极所发射的离子极性相反。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种静电消除器
技术介绍
常用的静电消除器仅具有一段较短的离子飞行距离。特别是,由于正离子和负离子形成后它们立即相互重新结合,交流型静电消除器具有一段非常短的离子飞行距离。因此,离子就必须通过鼓风机吹散。另一方面,直流型静电消除器在某种程度上能够实现较长的飞行距离。然而,它最多仅达到70cm。因此,在实际使用中,由于缺少离子的飞行距离,就不能达到充分实现静电消除的效果。如图1至3所示,交流输入电压被增压升高以能从静电消除器10中的放电电极或针状体14,14进行放电,由此而产生的离子通过风扇70导向本体74以进行静电消除。在此情况下,由于针状体14,14之间的距离相对较短,电极的电场就被加强了。因此,放电针状体最可能产生电晕放电。至于图4所示的实施例,它表示一种由于离放电电极14的飞行距离较短,离子不能到达设置在电源线12,12上的放电电极14,14之间的中心区域,从而就存在不能消除静电的情形。至于图5所示的另一个实施例,它表示在用于半导体制造的清洁室中消除静电的另一种情形。由于设置在天花板22上静电消除器10发射的离子20最多离天花板22达1米,静电就不能从人24本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电消除器,它包括至少一对放电电极,安装在旋转静电消除器主体上以使其间隔开并从其间限定的旋转轴的相对侧平行地向外面对;电源装置,用于给一个放电电极提供用于发射一种极性的离子的直流电压,同时给另一个放电电极提供用于发射相反极性的离子的直流电压;和旋转装置,用于沿所述放电电极之间限定的轴旋转所述静电消除器。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:高柳真
申请(专利权)人:株式会社高柳研究所
类型:发明
国别省市:JP[日本]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1