静电消除器制造技术

一种静电消除器，它包括至少一对放电电极，安装在旋转静电消除器主体上以使其间隔开并从其间限定的旋转轴的相对侧平行地向外面对；电源装置，用于给一个放电电极提供用于发射一种极性的离子的直流电压，同时给另一个放电电极提供用于发射相反极性的离子的直流电压；和旋转装置，用于沿所述放电电极之间限定的轴旋转所述静电消除器。在另一个实施例中，静电消除器包括一旋转电离器或旋转离子发射放电电极。在又一个实施例中，静电消除器包括多个三个排列的放电电极，每个放电电极发射的离子极性与相邻放电电极所发射的离子极性相反。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种静电消除器。
技术介绍
常用的静电消除器仅具有一段较短的离子飞行距离。特别是，由于正离子和负离子形成后它们立即相互重新结合，交流型静电消除器具有一段非常短的离子飞行距离。因此，离子就必须通过鼓风机吹散。另一方面，直流型静电消除器在某种程度上能够实现较长的飞行距离。然而，它最多仅达到70cm。因此，在实际使用中，由于缺少离子的飞行距离，就不能达到充分实现静电消除的效果。如图1至3所示，交流输入电压被增压升高以能从静电消除器10中的放电电极或针状体14，14进行放电，由此而产生的离子通过风扇70导向本体74以进行静电消除。在此情况下，由于针状体14，14之间的距离相对较短，电极的电场就被加强了。因此，放电针状体最可能产生电晕放电。至于图4所示的实施例，它表示一种由于离放电电极14的飞行距离较短，离子不能到达设置在电源线12，12上的放电电极14，14之间的中心区域，从而就存在不能消除静电的情形。至于图5所示的另一个实施例，它表示在用于半导体制造的清洁室中消除静电的另一种情形。由于设置在天花板22上静电消除器10发射的离子20最多离天花板22达1米，静电就不能从人24，车间26等消除。至于图6所示的又一个实施例，它表示由于离子20不能到达，在设置在栅极28中静电消除器10，10之间的中心部分存在不能消除静电的又一种情形。因此，栅极就应该做得较窄，这样在实际使用中会有不便之处。因此，对于常用静电消除器来说，由于缺少离子的飞行距离，就不能在较大区域内达到充分实现静电消除的效果。图16表示静电消除器的又一个实施例。在图16中，静电消除器是交流型的，它可交替地在正半周内由放电电极14发射正离子15，在下一个负半周内发射负离子17。因此，由放电电极14发射的正离子15和负离子17分别被极性相反的负离子17和正离子15吸回，重新结合而消失。因此，这种类型的静电消除器不能使所发射的离子充分地飞散。接着，如图17所示，一股强气流从放电电极14周围引入以避免正离子15和负离子17相互重新结合。实际上，除非使用压缩空气，或使用鼓风机或风扇以吹风放电电极14，否则所产生的离子就不能被取出。然而，这种静电消除器具有这样的优点如果提供气流，正离子15和负离子17总是以混合状态出现。然后，混合的离子处于良好的状态，离子的分布平衡也处于良好的状态。另一方面，如图18所示，在直流型的静电消除器中，两个放电电极或针状体14a，14b单独地设置以分别发射正离子15和负离子17。每个放电针状体发射极性相反的离子，换句话说，正极针状体14a发射正离子，负极针状体14b发射负离子。由于每个放电电极和由其发射的离子极性相同，离子就被库仑力飞散或排斥开。换句话说，离子15，17自动地飞离以扩散一段较长的距离而无需使用压缩空气，鼓风机或风扇。因此，获得的较长飞行距离就是这类静电消除器的特性。然而，由于正离子和负离子的分布位置不同，离子的分布平衡就不好。为了克服这种缺点，每个放电电极的极性就会顺序地变换以便离子尽可能多地容易混合。然而，在此情况下，由于后来形成的离子具有相反的极性，先形成的离子就会被后来产生的离子吸回，这样就会导致较短的飞行距离。此外，由于极性相反的离子是由物理上位置分离的两个电极发射的，实现离子的混合就比一个电极时差。换句话说，正趋向离子平衡在正电极附近产生，负趋向离子平衡在负电极附近产生。极性改变和极性改变循环周期的时间较长时，离子平衡就会沿时间轴发生变化。为了完全地混合离子，极性改变循环周期的时间就必须缩短。然而，如果这样做，这种静电消除器就会接近于交流型静电消除器。在此情况下，离子就不会飞散。因此，常用系统既有其优点又有其缺点。除非使用鼓风机等吹出的气流，否则就不会存在具有较长飞行距离和良好离子平衡的完善静电消除器。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个目的就是提供一种能够延长离子飞行距离和较宽范围内获得充分实现静电消除效果的静电消除器。为了实现上述目的，本专利技术提供一种静电消除器，它包括至少一对放电电极，安装在旋转静电消除器主体上以使其间隔开并从其间限定的旋转轴的相对侧平行地向外面对；电源装置，用于给一个放电电极提供用于发射一种极性的离子的直流电压，同时给另一个放电电极提供用于发射相反极性的离子的直流电压；和旋转装置，用于沿所述放电电极之间限定的轴旋转所述静电消除器。附图说明本专利技术的其它目的和方案从下面参考附图描述的实施例中将会变得更清楚，其中图1表示常用静电消除器的大致示图，图2表示作用于图1所示静电消除器电极上的电压波形图，图3表示图1所示静电消除器的透视图， 图4表示解释常用静电消除器用的示图，图5表示解释常用静电消除器用的示图，图6表示解释常用静电消除器用的示图，图7表示解释根据本专利技术推挽式静电消除器用的示图，图8表示解释根据本专利技术推挽式静电消除器用的示图，图9表示解释常用静电消除器用的示图，图10表示解释根据本专利技术推挽式静电消除器用的示图，图11表示解释根据本专利技术推挽式静电消除器用的示图，图12表示解释根据本专利技术推挽式静电消除器用的示图，图13表示根据本专利技术静电消除器的方框图，图14表示作用于图13所示静电消除器电极上电压的波形图，图15表示图13所示静电消除器的透视图，图16表示解释常用静电消除器缺点用的大致示图，图17表示解释常用静电消除器缺点用的大致示图，图18表示解释常用静电消除器缺点用的大致示图，图19表示根据本专利技术静电消除器的透视图，图20表示静电消除器主体结构的透视图，图21表示主体内部结构的剖视图，图22表示一个改进实施例的侧视图和剖视图，图23表示另一个改进实施例的透视图，图24表示又一个改进实施例的透视图，图25表示根据本专利技术一放电电极阵列的平面示图，图26表示根据本专利技术另一个实施例的一放电电极阵列的平面示图，图27表示根据本专利技术又一个实施例的一放电电极阵列的平面示图，图28表示根据本专利技术再一个实施例的一放电电极阵列的平面示图，图29表示根据本专利技术还一个实施例的一放电电极阵列的平面示图。具体实施例方式现在参考图7，用A和B表示一对放电电极。例如放电电极A发射正离子，放电电极B发射负离子。下次，放电电极A发射负离子，放电电极B发射正离子。以同样的方式，离子的极性被次序改变为相反的极性以便不同放电电极所发射的离子的极性相互是相反的。由于极性相反的离子相互吸引，放电电极A和B所发射的离子就相互吸引，飞向其它的区域60，60。在图7中，常用类型的放电电极占有的离子区横向扩展，不能获得较长的距离，而在根据本专利技术的推挽式静电消除器中，离子区20，20纵向扩展。因此，就不会在放电电极之间产生非离子区。在时间轴上，由于在下一时刻，放电电极A和B所发射的离子的极性被改变为相反的极性，正离子和负离子就作用在位于放电电极之间的将被静电消除的目标上，以便去除目标上所带有的静电。图8表示沿时间轴放电电极A和B之间区域中的空间电位。图8a表示时间T1时放电电极A和B之间区域中的空间电位。正离子由放电电极A飞向中心区域，同时负离子由放电电极B飞向中心区域。在中心区域极性相反的离子重新结合而消失。图8b表示时间T2时放电电极A和B之间区域中的空间电位。负离子由放电电极A飞向中心区域，同时正离子由放电电极B飞向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电消除器，它包括至少一对放电电极，安装在旋转静电消除器主体上以使其间隔开并从其间限定的旋转轴的相对侧平行地向外面对；电源装置，用于给一个放电电极提供用于发射一种极性的离子的直流电压，同时给另一个放电电极提供用于发射相反极性的离子的直流电压；和旋转装置，用于沿所述放电电极之间限定的轴旋转所述静电消除器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高柳真，
申请(专利权)人：株式会社高柳研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]