静电消除器制造技术

技术编号:3716466 阅读:211 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种静电消除器,它包括一对放电电极。其中一个发射一种极性的离子,而另一个发射相反极性的离子。此外,上述每个放电电极所发射的离子的极性可被改变为相反。极性改变相互同步以便每个放电电极所发射的离子的极性相反。在另一个实施例中,静电消除器包括一旋转电离器或旋转离子发射放电电极。在又一个实施例中,静电消除器包括多于三个排列的放电电极,每个放电电极发射的离子极性与相邻放电电极所发射的离子极性相反。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种静电消除器。常用的静电消除器仅具有一段较短的离子飞行距离。特别是,由于正离子和负离子形成后它们立即相互重新结合,交流型静电消除器具有一段非常短的离子飞行距离。因此,离子就必须通过鼓风机吹散。另一方面,直流型静电消除器在某种程度上能够实现较长的飞行距离。然而,它最多仅达到70cm。因此,在实际使用中,由于缺少离子的飞行距离,就不能达到充分实现静电消除的效果。如附图说明图1至3所示,交流输入电压被增压升高以能从静电消除器10中的放电电极或针状体14,14进行放电,由此而产生的离子通过风扇70导向本体74以进行静电消除。在此情况下,由于针状体14,14之间的距离相对较短,电极的电场就被加强了。因此,放电针状体最可能产生电晕放电。至于图4所示的实施例,它表示一种由于离放电电极14的飞行距离较短,离子不能到达设置在电源线12,12上的放电电极14,14之间的中心区域,从而就存在不能消除静电的情形。至于图5所示的另一个实施例,它表示在用于半导体制造的清洁室中消除静电的另一种情形。由于设置在天花板22上静电消除器10发射的离子20最多离天花板22达1米,静电就不能从人24,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直流型静电消除器,它包括一对放电电极,一个放电电极发射一种极性的离子,而另一个放电电极发射相反极性的离子。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:高柳真
申请(专利权)人:株式会社高柳研究所
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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