【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体激光元件的制造方法、半导体激光元件及半导体激光装置
[0001]本专利技术涉及半导体激光元件的制造方法、半导体激光元件及具备半导体激光元件的半导体激光装置。
技术介绍
[0002]半导体激光元件由于有长寿命、高效率及小型等优点,所以以投影仪等图像显示装置为代表而被用作各种各样的用途的光源,应用范围还扩大到车载用头灯或激光加工装置的光源等。
[0003]近年来,半导体激光元件要求进一步的高输出化。例如,作为在激光加工装置的光源中使用的半导体激光元件,要求光输出超过1瓦特的大输出的元件。
[0004]该情况下,如果从1个发射极(发光部)射出大输出的激光,则有可能射出激光的前端面的光密度变得过高从而前端面发生COD(Catastrophic Optical Damage(光学灾变损伤))。
[0005]因此,为了以大输出从1个半导体激光元件射出激光,提出了具有集成了多个发射极的多发射极构造的半导体激光元件(例如专利文献1)。这种半导体激光元件例如作为具有多个波导的激光条而构成。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开2007-073669号公报
技术实现思路
[0009]专利技术要解决的课题
[0010]具有多个波导的半导体激光元件例如通过将形成有由氮化物类半导体材料等半导体材料构成的半导体层叠构造的基板(晶片)分割而形成。该情况下,通过激光划线(laser scribe)在形成有半导体层叠构造的基板上形 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体激光元件的制造方法,是具有多个波导的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,包括:第1分割工序,将形成有具有多个波导的氮化物类半导体激光层叠构造的基板沿着第1方向分割,从而制作分别具有在与上述第1方向正交且与第1主面平行的第2方向上隔开间隔配置的多个上述波导的多个分割基板,多个上述波导分别在与上述第1主面平行的上述第1方向上延伸;解理工序,将通过上述第1分割工序制作出的上述多个分割基板中的一个沿着上述第2方向进行解理,从而制作分别具有多个上述波导的多个半导体激光元件;以及第2分割工序,将通过上述解理工序制作出的上述多个半导体激光元件中的一个沿着上述第1方向分割,从而至少将该半导体激光元件的上述第2方向上的一个端部除去;上述解理工序包括在上述分割基板上形成在上述第2方向上延伸的解理导入槽的第1解理工序、以及在上述解理导入槽中沿着上述第2方向将上述分割基板进行解理的第2解理工序;在上述第2分割工序中,将包括上述解理导入槽的部分作为上述第2方向上的上述半导体激光元件的一个端部而除去。2.一种半导体激光元件的制造方法,是具有多个波导的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,包括:第1分割工序,将形成有具有多个波导的氮化物类半导体激光层叠构造的基板沿着第1方向分割,从而制作分别具有在与上述第1方向正交且与第1主面平行的第2方向上隔开间隔配置的多个上述波导的多个分割基板,多个上述波导分别在与上述第1主面平行的上述第1方向上延伸;以及解理工序,将通过上述第1分割工序制作出的上述多个分割基板中的一个沿着与上述第1方向正交的平行于上述第1主面的第2方向进行解理,从而制作分别具有多个上述波导的多个半导体激光元件;上述半导体激光元件具有与上述第1方向平行的第1侧面以及与上述第1侧面相反侧的第2侧面;在上述半导体激光元件中,设相邻的两个上述波导的间隔中的最短的间隔为第1间隔,设多个上述波导中的距上述第1侧面最近的波导与上述第1侧面的间隔为第2间隔,上述第2间隔比上述第1间隔宽。3.如权利要求2所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,上述半导体激光元件具有第1区域和第2区域,上述第1区域是形成有多个上述波导的区域,上述第2区域是被上述第1区域和上述第1侧面夹着且具有上述第2间隔的区域;上述第2区域是不作为半导体激光器发挥功能的区域。4.如权利要求3所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,在上述半导体激光元件中,设多个上述波导中的距上述第2侧面最近的波导与上述第2侧面的间隔为第3间隔,上述第3间隔比上述第1间隔宽。5.如权利要求4所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,
上述半导体激光元件具有第3区域,该第3区域是被上述第1区域和上述第2侧面夹着且具有上述第3间隔的区域;上述第3区域是不作为半导体激光器发挥功能的区域。6.如权利要求2~5中任一项所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,上述解理工序包括在上述第2区域中形成在上述第2方向上延伸的解理导入槽的第1解理工序、以及沿着上述解理导入槽的上述第2方向将上述分割基板进行解理的第2解理工序。7.如权利要求6所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,上述解理导入槽没有达到上述第1区域中的多个上述波导中距上述第1侧面最近的上述波导。8.如权利要求1、6、7中任一项所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,上述解理导入槽通过激光划线而形成。9.如权利要求1、6~8中任一项所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,通过上述第2解理工序而形成于上述半导体激光元件的与上述第2方向平行的第3侧面的平坦度,高于通过上述第1分割工序而形成于上述半导体激光元件的与上述第1方向平行的第1侧面的平坦度以及与上述第1侧面相反侧的第2侧面的平坦度。10.如权利要求1~9中任一项所述的半导体激光元件的制造方法,其特征在于,上述基板具有形成有...
【专利技术属性】
技术研发人员:左文字克哉,浅香浩,
申请(专利权)人:新唐科技日本株式会社,
类型:发明
国别省市:
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